Способ изготовления игольчатых автоэмиттеров
Патент 213200
Классы МПК
Способ изготовления игольчатых автоэмиттеров
Иллюстрации
Реферат
2I3 200 ьоюз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21д, 13/20
Заявлено 08.VI.1966 (¹ 1081717/26-25) с присоединением заявки №
МПК Н 011
УДК 621.385.032.212 (088.8) Приоритет
Опубликовано 12.lll.1968. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 22.V,1968
Комитет по делаю изобретении и открытий прн Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Р. И.-Г, Гарбер, В. И. Афанасьев и И. М. Михайловский
Физико-технический институт АН УССР
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИГОЛЬЧАТЫХ АВТОЭМИТТЕРОВ
Изобретение предназначено для изготовления автокатодов для ряда электронных приборов: рентгеновских труоок, инжекторов— группирователей линейных ускорителей, а также для BBTOHoHHbIx и автоэлектронных микроскопов.
Известны способы изготовления игольчатых автоэмиттеров путем удаления металла с участка проволочной заготовки до ее разрыва химическим или электрохимическим травлением. Однако при таком изготовлении эмиттеров на их поверхности образуется устойчивая пленка, которую не удается удалить нагревом эмиттера до высокой температуры.
Кроме того, большинство материалов, обла.дающих малой адсорбционной способностью (Та, Ir, Pt, Rh), электрополируется только в расплавках МаКОе, NaC1, КОН при высокой температуре или в крайне токсичном растворе цианистого калия. При этом повышается коэффициент диффузии, что приводит к существенным объемным загрязнениям образца, сопровождающимся неконтролируемыми изменениями работы выхода.
Предлагаемый способ изготовления автоэмиттеров отличается от известных тем, что проволочную заготовку помещают перпендикулярно поверхности электропроводящей пластины внутри двух изолирующих цилиндров с конусообразными раструбами на концах, обращенных друг к другу, и с кольцевым зазором между ними и прикладывают между заготовкой и пластиной разность потенциалов, достаточную для возникновения катодного распыления материала заготовки в области зазора между раструбами.
На чертеже представлено устройство для изготовления автоэмиттеров по предлагаемо10 му способу.
Оно содержит проволочную заготовку 1, электропроводящую пластину 2, изолирующие цилиндры 8 с раструбами.
Заготовка в виде проволоки из необходи15 мого материала распыляется ионами инертных газов при давлении последних 10
10 в .ил рт. ст. Давление остаточных газов в системе — 10 о — 10 мл рт. ст. Конусообразные изолирующие экраны позволяют по20 лучать расг ыление, неравномерное по длине распыляемого участка проволоки и, таким образом, получать острия-иголки с заданным углом конуса при вершине.
В процессе распыления центральная часть
25 распыляемого участка становится настолько тонкой, что не выдерживает веса свисающей части проволоки и обрывается. Нижняя часть заготовки, падающая в специальный держатель, используется как автоэмиттер. Средний
30 радиус кривизны его острия определяется
213200
Предмет изобретения
Составитель Г. А. Жукова
Редактор Н. А. Джарагетти Техред р. М, Новикова Корректоры: Н. И. Быстрова и С. А. Башлыкова
Заказ 1036/11 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типографии, пр. Сапунова, 2 прочностью материала и весом нижней части
"-аготовки.
Предлагаемый способ позволяет избежать загрязнений автоэмиттеров в процессе их изготовления, а также необходимости работать с токсичными травителями.
Способ изготовления игольчатых автоэмиттеров путем удаления металла с участка проволочной заготовки до ее разрыва, отличаюбийся тем, ITo, с целью уменьшения объемных и поверхностных загрязнений автоэмиттеров, проволочную заготовку помещают перпендикулярно поверхности электропрово5 дящей пластины внутри двух изолирующих цилиндров с конусообразными раструбами на концах, обращечных друг к другу, и с кольцевым зазором между раструбами и прикладывают между заготовкой и пластиной pa;l0 ность потенциалов, достаточную для возникновения катодного распыления материала заготовки в области зазора между раструбами.