Способ электроннолучевого напыления

Способ электроннолучевого напыления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ о (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлено14.09.66 (21) 1101360/25-27 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.08.765юллетень № 31 (45) Дата опубликования описания18,11,76,51) М. Кл.

В 23 К 23/00

Гоеударственный комитет

Совета Министров СССР оо делам иэооретений и открытий (53) УДК 621.791.72 (088. 8) М. М. Никитин, Г. H. Клебанов, Н. Н. Рыкалнн, М. Х. Шоршоров, Е. П: Демин и Б. А. Попович (72) Авторы изобретения (71) Заявители Институт металлургии им. А, А. Байкова и Научно-исследовательский институт электронной техники (54} СПОСОБ ЗЛЕКТРОННОь-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ

Формула изобретения

Известен способ электронно-лучевого напыления металлических пленок, при котором напыляемый металл испаряется электронным, лучом, создаваемым между анодом и катодом. 5

Предлагаемый способ электронно-лучевого напыления более производителен благойаря тому, что между анодом и катодом дополнительно создают дуговой разряд.

Сущность способа заключается в следую- ð

I шем. В начальной стадии процесса при бомбардировке испаряемого материала электронами над его поверхностью создается облаzo пара, состояшего из нейтральных атомов, положительных ионов и вторичных электро- д нов, образовавшихся при ионизации в результате столкновений первичных электронов, эмитируемых на вольфрамовом катоде, с атомами пара.

Положительные ионы благодаря их малой подвижности и длительному пребыванию в обьеме нейтрализуют отрицательный прост ранственньтй заряд катода, который размешается вблизи испаряемого материала, анода.

В результате появляется еше больше элек- тронов. 11авттнообразное развитие этого процесса повышает степень ионизации B межэлектродном промежутке; создаются условия для образования в нем дугового разряда, характеризующегося большим током и малым падением напряжения в разрядном промежутке. Так, например, при испарении меди предложенным способом ток в разряде равнялся

1,2 а, а напряжение 0,3 кв.

Под действием дугового разряда, поддерживаемого электронной бомбардировкой, скорость испарения возрастает на несколько порядков.

Способ электронно»лучевого напыления металлических пленок, при котором осушест влятот испарение напыляемого металла электронным лучом, создаваемым между анодом икатодом, отличаюшийс я тем, что, с целью повышения производительности, межйу анодом и катодом дополнительно создают дуговой разряд.