Травильная наста для локального травления двойного слоя

Травильная наста для локального травления двойного слоя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

2I7I75

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Свае Свеетвкил

Социалистически»

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06.IV.1967 (№ 1146855/22-1) Кл, 48d2, 1/06 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.IV.1968. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 12Л 11,1968

МПК С 23g

УДК 621.794.427:621. .921.24 (088.8) Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. Д. Цырлин, А. Л. Николаев и А, В. Климкович

Заявитель

ТРАВИЛЬНАЯ ПАСТА ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ

ДВОЙНОГО СЛОЯ

Предмет изобретения

Известна травильная паста для двуокиси кремния на основе травителя, содержащего фтористый аммоний и плавиковую кислоту, так называемый буферный травитель. Процесс локального травления двойного слоя (фосфорно-силикатное стекло †двуоки кремния) осложняется тем, что скорости травления фосфорно-силикатного стекла и двуокиси кремния резко отличаются. Технологический процесс травления состоит в том, что перед проведением локального травления двойного слоя фосфорно-силикатное стекло частично удаляют с поверхности в специальном травителе, оставляя лишь слой толщиной 0,07—

0,1 ик, а затем проводят локальное травление в обычном буферном травителе, Для уменьшения клина травления путем сведения до минимума подтекания травителя под защитную маску фоторезистивного слоя по краям травящего элемента увеличивают вязкость травителя, вводя в него загуститель.

Предложенная травильная паста отличается от известной тем, что в роли загустителя в нее вводят декстрин. Это улучшает качество локального травления двойного слоя.

Травильная паста для двойного слоя (фосфорно-силикатное стекло — двуокись кремния) содержит в своем составе следующие компоненты, лл: декстрин 20 глицерин (жидкий) 3

10 травитель 7,5.

Травильная паста для локального травления двойного слоя, состоящего из фосфорно-силикатного стекла — двуокиси кремния, на основе загустителя и жидкого травителя, содержащего фтористый аммоний и плавиковую кислоту, отличаюи1аяся тем, что, с целью улучшения качества локального травления двойного слоя, в роли загустителя в травильную пасту вводят декстрин.