Способ определения толщины металлическойпленки
Патент 217654
Классы МПК
Способ определения толщины металлическойпленки
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ изоь витания
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Советскими
Социалистическим
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 13.1.1967 (№ 1127416/25-8) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 07.Ч.1968. Бюллетень № 16
Дата опубликования описания 5Х11.1968
Кл. 42Ь, 11
МПК G 01b
УДК 531.754.6 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Ыииистров
СССР
Авторы изобретения
В. К. Войтовецкий, И. Л. Корсунский и Н. С. Толмачева
Заявитель
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЬ1 МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ
ПЛЕНКИ
Известны различные способы определения толщины металлической пленки, нанесенной на подложку из другого материала. Однако эти способы недостаточно надежны, например, вследствие влияния краевых эффектов при оптических методах или влияния структурных факторов при определении толщины монокристаллических пленок по рассеянию электронов.
Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, с целью повышения эффективности и надежности, толщину пленки определяют взвешиванием готового образца (пленка с подложкой) в жидкости с плотностью, равной плотности материала подложки.
В предварительных измерениях материал годложки произвольных формы и веса взвешивается в жидкости, удельный вес которой подбирается смешиванием компонентов различной плотности или добавлением соответствующего растворителя так, что выталкивающая сила точно компенсирует вес, Если этч условия достигнуты, то и при непосредственном взвешивании образца вес подложки полпостыл компенсирован, показания весов дают величину
Р=- (;,—;2) . . с1, где с, — уд. вес. материала пленки; с, — уд. вес жидкости, равный уд. весу материала подложки; $ —; гу — определяемая толщина пленки.
Предмет изобретения
Способ определения толщины металлической пленки, в частности монокристаллической пленки, нанесенной на подложку нз другого материала, отличающийся тем, что, с
15 целью повышения эффективности и надежности, толщину пленки определяют взвешиванием готового образца в жидкости с плогностью, равной плотности подложки, так что выталкивающая сила, действующая на обра20 зец, точно компенсирует вес подложки, причем подбор условий компенсации осуществляется смешиванием компонентов различной плотности при предварительном взвешивании в компенсирующей жидкости материала под25 ложки произвольных веса и формы,