Устройство для напыления л1икросхем
Иллюстрации
Реферат
218262
Составитель Н. Давыдов
Редактор Н. Л. Корченко Техред А. А. Камышнмкова Корректоры: И. Л. Кириллова и С. А. Башлыкова
Заказ 2108/6 Тираж 530 Подписное
ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Сеоова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 которых расположен внутри другого, испаритель напыляемого материала и держатели подложек микросхем, от.гипающееся тем, что, с целью повышения качества микросхем, испаритель установлен в наружном колпаке, держатели подложек и масок размещены во внутреннем колпаке, а опорная плита этого колпака снабжена перекрываемой скользящей заслонкой диафрагмой, служащей для прохода потока напыляемого материала из наруж5 ного колпака во внутренний.