Патент ссср 218378
Иллюстрации
Реферат
2)ВЗУЗ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 10.1.1967 (№ 1126901/29-33) с присоединением заявки М
Приоритет
Опубликовано 17.Ч.1968. Бюллетень № 17
Дата опубликования описания 19ХП1.1968
Кл. 32Ь, 3/08
МПК С 03с
УДК 666.112,7(088.8) Котвмтет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Ф. К. Алейников, P. Б. Паулавичюс, И. И. Житкявичюте, P.-С. М. Жукаускас и Ю. П. Вайткус
Заявитель
СТЕКЛО
50,5 — 52,1
29,3 — 30
3 — 3,3
9,9 — 10,1
3,4 — 3,6
2,3 — 2,5
Предлагаемый состав стекла можно использовать в стекольной промышленности для защиты поверхности монокристаллов кремния и кремниевых полупроводниковых структур.
Известно стекло, включающее SiO, ВзОз
А1зО,„ZnO, ХазО, КзО.
Предлагаемое стекло, по сравнению с известным, имеет более низкую температуру плавления и повышенную химическую устойчивость и термостойкость. Это достигается тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующих соотношениях в Я>. по весу:
SiO2
ВзОз
А)еОз
ZnO
Na О
КО
Стекло варят из соответствующих капбонятов или нитратов и окиси кремния в силитовой или пламенной печи при 1350 †14"C.
Отжиг стекла производят в муфельной печи при 500 — 550 С в течение 3 — 4 час.
Полученное стекло имеет следующие свойства.
Коэффициент термического расширения азов = 39 10 град-т; а4оо = 44 10 град т.
Химическая стойкость соответствует второму гидролитическому классу.
Микротвердость Н, кг/ял- 500
Модуль упругости Е, кг/.Кл- 5750
Модуль сдвига G, кг/.я,я- 2300
Коэффициент Пуассона М 0,250
Удельный вес у, г/слз 2,34
Удельное объемное элект|росопротивление, отт см резво- =3,6 10тв
Тангенс угла диэлектрических потерь tg б 37 10з
Диэлектрическая проницаем остb Е 5,1
Электрическая прочность кв сл ек 3,5
Пленки из стекла изготовляют методом выдуванпя. Стеклянную пленку толщиной
5 — 25 лтклт на поверхность монокристалла кремния или кремниевые структуры наносят в
20 вакуумной установке. Разогрев образца и стеклянной пленки производят в печке, вмонтированной в вакуумной установке, которая состоит из кварцевого цилиндра, обмотанного нагрева Tсльным элcìåíTом. Температуру на25 грева контролируют две термопары. После закрепления образцов и пленки в печи вакуумирования не ниже 10 4,лая рт. ст. печь сначала нагревают до 640 — 650-"С в течение
15 — 30 лтин, а затем в течение 2 — 5 лин. до
30 температуры 660 — 670 С.
218378
Составитель И. Чернявская
Редактор С. Хейфиц Техред А. А. Камышннкова Корректорьн A. П. Васильева и О. Б. Тюрина
Заказ 2134,.12 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типограф, пр. Сапунова, 2
После этого в вакуумную установку пускают воздух или инертный газ, который резко повышает давление до атмосферного. Благодаря этому происходит прочное сцепление стеклянной пленки с образцом.
Предмет изобретения
Стекло, включающее $10з, ВвОз, А1вОз, ZnO, NaO и К О, отличающееся тем, что, с целью снижения температуры плавления, повышения химической устойчивости и термостойкости, оно содержит указанные компоненты в следующих соотношениях в о/о по весу:
5 SiOz
ВO;, А1. Оз
ZnO
Naз0
10 КвО
50,5 — 52,1
29,3 — 30
3 — 3,3
9,9 — 10,1
3,4 — 3,6
2,3 — 2,5