Патент ссср 221274

Патент ссср 221274

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

221274

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М

Заявлено 21.1.1965 (№ 939330/23-5) Кл. 39Ь, 22/10 с присоединение«м заявки

Приоритет

Опубликовано 03.11.1969. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 8Л П.1969

МПЬ; С 08

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министрое

СССР

УДK 771.516:678.682 32 22:574.586.5 (088.8) Авторы изобретения Г. С. Колесников, И. И. Юкельсон, В. С. Глуховской и А. М. Романихин

Заявитель

Воронежский технологический институт

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ПОЛИЛтЕРА

Известно, что при введении в молекулу полимера, например в эпоксидную смолу, остатков коричной кислоты образуются светочувствительные полимеры.

Целью настоящего изобретения является расширение ассортимента светочувствительных полимеров с высокой разрешающей спосо оно стью.

Согласно изобретению сульфидированный полифенпленэтпл обрабатывают соединениями, содержащими остаток коричной кислоты, например хлористым циннамоилом, Реакцию ведут в присутствии хлористого алюминия в среде хлористого метилена. Полученный полимер — полифениленэтил-л-циннамоил представляет собой порошок желтого цвета с т. пл. 160 С, растворимый в бензоле, ацетоне, диоксане.

На его основе на подложке получены пленки толщиной от десятых долей микрона до нескольких микрон. Пленки плотные, обладают хорошей адгезией к поверхности металлов. Под действием ультрафиолетового излучения пленки переходят в нерастворимое состояние и выдерживают без заметных изменений нагревание при 300 С. Фотосоставы на основе полученного полимера можно применять на тонких пленках (0,5 — 1 лк) металлов, таких как алюминий, хром, золото илп ни кель, прп изготовлении полупроводниковых приборов.

Разрешающая способность пленок на основе полученного светочувствительного полиме5 ра не менее 100 линий на 1 лл.

Защитный рисунок, полученный с помощью указанного фотосостава, устойчив прп селектпвном травлении металлов в концентрированных щелочах, а в смеси соляной и азотной

10 кислот устойчив до 6 лии при толщине защитного рисунка 0,6 — 0,8 лк.

Время образования нерастворимого слоя пленки светочувствительного полимера при облучении УФ-лучамп в присутствии сенспбп15 лизатора — кетона Чпхлера (5 ) QT сухого остатка полимера) зависит от толщины нерастворимого слоя и составляет прп его толщине 0,8; 3,1; 4,3 и 4,5 лк соответственно 3;

5; 10 и 15 лин. Снятие рисунка с подложки

20 после травления ввиду его высокой стойкости к кислотам, щелочам II органическим растворам осуществляют выдерживанпем подложки в растворе xëoðèñòoãо алюминия в нптробензоле при 80 С в течение 5 лин.

25 11 р и м е р. Получение сульфпдпрованного полифениленэтпл-л-цпннамопла.

В трсхгорлую колбу с мешалкой помещают

10 г сульфпдированного полпфенпленэтпла и

100 л.t iëoðèñòîãî метплена. Затем в нее при

30 перемешпвании постепенно дооавляют 16,2 г

221274

Пр(лмст изобретения

Тскрсд Л. К. 51алoвa

Корректоры В Петрова и М. Коробова

Рсдкк<ор А. Петрова

Заказ 78(i!2 1 при<к 480 П<>ди Ic><ос

11НИИПИ Комитета по делам изобрстсиий» отары>и>< ири Совстс Мииистров ССС1

Москва, Цси>р, »1). С(рова, д. 4

Тип<>< р<><1>и>», >1). (<><0<3<>, 2. (ЛОJ)1IСТОГО «11!1Н!!(1 1, J>

40 .<1.! х.lористОГО 31(Til, lеklllcT01 алю;ill il 3«» течение 45 лпи. Температура б IIIII .>>- 8 С, «ре.;:я реакции 35 час.

П 0 0 к 0 е! ч Я н и и р с 51 к ц и и к Я т Я л и 3 а т 0 р и «1 и комплекc разрушают ш)чкисленной во;!ой, после I(го промывают (н)л lilll)l коан!пест!)ом во, II1сili IT,, !»а )кд>я п(<1)< О(а )к !(1ют i 1 i;!Иоксаиа Bo.I. Io-спиртовой смесью (1: 1) и снова сушат в темноте при комнатной температуре.

Получение от»ер)кленной пленки. Из бензо ° >ьнÎГО растворя полимера по Iучяioт пленк на металле и облучают ее УФ-лучами в

25000 люкс (лампа ДРШ-5001 через шаблон определенным рисунком» течение 5 <>!ин.

ДЛ5! IIP05113.1(Н!1Я PIIС<> III< .

«раст»<)<)!IT<. и (наи(>имер, бе!33<>il(, 13 кото()<)31 ра T»o,)5110T участки пл(11!(Il, ис облученные

У(1)-лу Iа;I и. Получеины(! Il;i мст lilac рисунок тра»ят» см(си кис, п)т» случае золота, хрО5 ма, никеля и в концентрированны (щелочах

» сл Г ае алюминия.

10 CIIoco<> получения св(TO÷óâñòâiiòåльногO полимера путем обработки исходного полимера

cn(линсниями, соцерхкащими остаток коричной кислоты, например хлористым циннамоилом, отличаюи(ийсл тем, что, с целью расши15 рения ассортимента светочувствительных пол)!меро» с высокой разрешающей способностью, в качест»с исходного полимера прим(и я ю т с м, ь <1) I 1,, 11 J) 0 13