Металлические порошки, полученные восстановлением оксидов газообразным магнием
Реферат
Изобретение относится к получению металлического порошка для производства электролитических конденсаторов. В предложенном способе получают порошок с высоким показателем площади поверхности, выбранный из группы, состоящей из тантала, ниобия и из их сплава, в чистом виде или с одним или более металлов, выбранных из группы, состоящей из титана, молибдена, вольфрама, гафния, ванадия и циркония, добавленных в них или полученных совместно с ними, при этом предварительно получают оксид или смесь оксидов получаемого(ых) металла(ов) в виде оксидной пористой массы, имеющей форму, через которую может быть пропущен газ, в качестве восстанавливающего агента используют газ, который получают вне оксидной массы, и восстановление ведут путем пропускания газообразного восстанавливающего агента через эту массу при повышенной температуре, при этом выбор реагентов, пористости оксида, температуры и времени реакции восстановления осуществляют таким образом, чтобы получить по существу полное восстановление оксида(ов) с высвобождением его металлической части и получением остаточного оксида восстанавливающего агента, образовавшегося при реакции, который может быть легко удален. В предложенном порошке ниобия в виде агломерированных первичных частиц размер первичных частиц составляет от 100 до 1000 нм, а агломераты имеют определенный по АСТМ-В822 размер D10, D50 и соответственно D90 частиц, составляющий от 3 до 80 мкм, от 20 до 250 мкм и соответственно от 30 до 400 мкм. Обеспечивается повышение технологических свойств металлического порошка. 4 с. и 64 з.п.ф-лы, 33 ил., 17 табл.
Изобретение относится к области производства электролитических конденсаторов, более конкретно к способу получения металлического порошка (его вариантам), порошку ниобия из агломерированных первичных частиц и способу производства порошка, содержащего ниобий и тантал. Известен способ получения металлического порошка, выбранного из группы, состоящей из тантала, ниобия и из их сплава, включающий восстановление исходного порошка восстанавливающим агентом при температуре ниже 0,7 температуры плавления порошка (см. патент US 5242481, кл. В 22 F 9/20, опубл. 04.09.1993 г.) Недостатком известного способа является то, что технологические свойства получаемого порошка не удовлетворяют все растущим требованиям к современным электролитическим конденсаторам. Известен порошок из группы VB в виде агломерированных первичных частиц (см. заявку WO 94/25971, кл. Н 01 G 9/05, опубл. 10.11.1994 г.) Недостатком известного порошка является то, что технологические свойства получаемого порошка не удовлетворяют все растущим требованиям к современным электролитическим конденсаторам. Известен способ производства порошка тантала, включающий гидрирование слитка сплава электронно-лучевой плавки, измельчение гидрированного слитка сплава, дегидрирование измельченного сплава, формование измельченного сплава в хлопья, агломерацию полученных хлопьев сплава в присутствии щелочно-земельного металла в качестве восстанавливающего агента, выщелачивание и промывку агломерированных хлопьев сплава для удаления каких-либо остатков и остаточного продукта восстанавливающего агента (см. заявку WO 93/03191, кл. С 22 С 1/04, Н 01 G 9/05, опубл. 18.02.1993 г.) Недостатком известного способа является то, что технологические свойства получаемого порошка не удовлетворяют все растущим требованиям к современным электролитическим конденсаторам. Задачей изобретения является повышение технологических свойств металлического порошка. Поставленная задача решается в способе получения металлического порошка, выбранного из группы, состоящей из тантала и/или ниобия и из их сплава, включающем восстановление за счет того, что предварительно получают оксид или смесь оксидов получаемых металла(ов) в виде оксидной пористой массы, имеющей форму, через которую может быть пропущен газ, пропускают газ, содержащий водород, через оксидную пористую массу при повышенной температуре, при этом выбирают пористость оксида, температуру и время реакции восстановления таким образом, чтобы удалить, по крайней мере, 20% кислорода, содержащегося в оксиде, с получением субоксида и дальнейшее восстановление субоксида на второй стадии с восстанавливающими агентами, выбранными из группы восстанавливающих металлов и гидридов восстанавливающих металлов, для практически полного восстановления оксида с высвобождением его металлической части, при этом получают порошок, выбранный из группы, состоящей из тантала и/или ниобия и из их сплава, в чистом виде или с одним или более металлов, выбранных из группы, состоящей из титана, молибдена, вольфрама, гафния, ванадия и циркония, добавленных в них или полученных совместно с ними. Кроме того, поставленная задача решается предлагаемым порошком ниобия в виде агломерированных первичных частиц за счет того, что размер первичных частиц составляет от 100 до 1000 нм, а агломераты имеют определенный по АСТМ В822 размер D10, D50 и соответственно D90 частиц, составляющий от 3 до 80 мкм, от 20 до 250 мкм и соответственно от 30 до 400 мкм. Предпочтительный размер D10, D50 и D90 соответственно агломератов составляет соответственно 3-7 мкм, 70-250 мкм, в частности 130-180 мкм и 230-400 мкм, в частности 280-350 мкм. Кроме того, поставленная задача также решается в способе производства порошка, включающем гидрирование слитка сплава электронно-лучевой плавки, измельчение гидрированного слитка сплава, дегидрирование измельченного сплава, формование измельченного сплава в хлопья, агломерацию полученных хлопьев сплава в присутствии щелочно-земельного металла в качестве восстанавливающего агента, выщелачивание и промывку агломерированных хлопьев сплава для удаления каких-либо остатков и остаточного продукта восстанавливающего агента за счет того, что производят порошок ниобия в виде агломерированных первичных частиц, в котором размер первичных размер первичных частиц составляет от 100 до 1000 нм, а агломераты имеют определенный по АСТМ В822 размер D10, D50 и соответственно D90 частиц, составляющий от 3 до 80 мкм, от 20 до 250 мкм и соответственно от 30 до 400 мкм, при этом он дополнительно содержит до 40 ат.% тантала по отношению к общему содержанию ниобия и тантала. При осуществлении восстановления по обоим вариантам предлагаемого способа предпочтительно применяют восстанавливающий агент, выбранный из группы, содержащей магний, кальций, алюминий, литий, барий, стронций и их гидриды. Давление пара некоторых из восстанавливающих агентов дано в следующих таблицах: Температура восстановления значительно варьируется в зависимости от используемого восстанавливающего агента. Интервал температуры для восстановления оксида (Та, Mb) следующий: с Мg(газ) - 800-1100С, Al(газ) - 1100-1500С, Li(газ) - 100-1400С, Ва(газ) -1300-1900С. Предпочтительно температура восстановления составляет ниже 0,5 ТМ, в частности ниже 0,4 ТМ, где ТМ означает температуру плавления металлического порошка. Различные физические свойства так же, как и морфология металлических порошков, полученных восстановлением, могут быть достигнуты изменением температуры и других условий процесса в пределах интервала значений для эффективного восстановления. Предпочтительными восстанавливающими агентами, используемыми в способе восстановления по первому варианту и на второй стадии восстановления в способе по второму варианту, являются Мg, Са и/или их гидриды. Особенно предпочтителен Мg. Температура восстановления предпочтительно (для Мg) составляет от 850С до нормальной температуры кипения (1150С). Восстановление оксидов газообразными восстанавливающими агентами, по крайней мере, во время начальной стадии восстановления позволяет легко контролировать температуру во время реакции для избежания избыточного предварительного спекания. При контролируемом восстановлении газообразными восстанавливающими металлами практически не имеет место загрязнения восстановленного металла восстанавливающим металлом посредством его включения в решетку восстановленного металла. Было обнаружено, что такое загрязнение в основном имеет место только во время начального восстановления (для Nb) Nb2O5 до NbO2. На первый взгляд это удивительно, так как субоксид ниобия (NbО2) содержит только на 20% меньше кислорода, чем пентоксид ниобия (NbO2,5). Этот эффект может быть отнесен на счет того, что субоксид образует значительно более плотные кристаллы по сравнению с пентоксидом. Плотность NbO2,5 составляет 4,47 г/см3, в то время как плотность NbO2 составляет 7,28 г/см3, т.е. плотность увеличивается в 1,6 раза при удалении только 20% кислорода. Принимая во внимание различные атомные веса ниобия и кислорода, снижение объема на 42% связано с восстановлением NbO2,5 до NbO2. Вышеописанный эффект может быть объяснен тем, что во время восстановления пентоксида магния в контакте с оксидом последний может относительно легко диффундировать в решетку, где он имеет высокую подвижность, в то время как подвижность магния в решетке субоксида значительно снижается. Следовательно, во время восстановления субоксида магний по существу остается на поверхности и является легкодоступным для контакта с промывочными кислотами. Данный эффект имеет место даже при контролируемом восстановлении газообразным магнием. Очевидно, в этом случае восстановление происходит во время критического начального восстановления до субоксида только на поверхности оксида, и оксид магния, образованный во время восстановления, не проникает в порошок оксида или субоксида. Предпочтительная температура во время восстановления газообразным магнием составляет от 900 до 1100С, особенно предпочтительно от 900 до 1000С. Температура может быть повышена вплоть до 1200С после того, как, по крайней мере, 20% кислорода будет удалено для способствования предварительному спеканию. Восстановление пентоксида водородом дает субоксид, который уже спечен с образованием агломератов, содержащих стабильные спеченные мостиковые связи, которые имеют благоприятную структуру для использования в качестве материала для конденсатора. Более низкие температуры обуславливают более долгие периоды времени для восстановления. Более того, степень спекания получаемых металлических порошков может регулироваться по предварительно определенной методике выбором температуры восстановления и времени восстановления. Реакторы предпочтительно облицованы молибденовыми или керамическими пластинами, которые не восстановлены H2, для того, чтобы предотвратить загрязнение. Более того, время восстановления и температуру восстановления следует выбирать таким образом, чтобы удалять, по крайней мере, 20% кислорода из пентоксида. Более высокие степени восстановления не вредны. Однако обычно невозможно восстановить более чем 60% кислорода в пределах осуществимых временных рамок и приемлемых температур. После того, как будет достигнуто 20% или более восстановление, образуется субоксид. Согласно данному варианту способа, продукт восстановления предпочтительно выстаивают (после отжига) в течение некоторого времени, более предпочтительно в течение от 60 до 360 минут, при температуре свыше 1000С. Похоже, что такое выстаивание обеспечивает образование и стабилизацию новой, плотной, кристаллической структуры. Так как скорость восстановления значительно понижается вместе со степенью восстановления, достаточно нагревать субоксид при температуре восстановления в атмосфере водорода, необязательно с легким снижением температуры. Время восстановления и отжига от 2 до 6 часов при температуре от 1100 до 1500С обычно является достаточным. Более того, восстановление водородом имеет то преимущество, что доля примесей, таких как F, Cl и С, которые являются критическими для применения в конденсаторах, снижается до менее чем 10 чнм, предпочтительно до менее чем 2 чнм. Субоксид далее охлаждают до комнатной температуры (<100С) в аппарате для восстановления, порошок субоксида смешивают с тонкоизмельченными порошками восстанавливающих металлов или гидридов металлов и смесь нагревают в атмосфере инертного газа до температуры восстановления второй стадии. Восстанавливающие металлы или гидриды металлов предпочтительно используют в стехиометрическом количестве по отношению к остаточному кислороду кислого субоксида щелочно-земельного металла и, более предпочтительно, используют в количестве, которое слегка превышает стехиометрическое количество. Одна из наиболее предпочтительных форм осуществления изобретения включает использование перемешиваемого слоя на первой стадии и проведение второй стадии, без промежуточного охлаждения, в том же реакторе, вводя в него восстанавливающие металлы или гидриды металлов. Если в качестве восстанавливающего агента используют магний, его предпочтительно вводят в реактор в виде газообразного магния, так как при этом реакция образования металлического порошка может легко контролироваться. После завершения восстановления металла в обоих способах металл охлаждают и инертный газ последовательно пропускают через реактор с постепенным повышением содержания кислорода для дезактивации металлического порошка. Оксиды восстанавливающих металлов удаляют по методике, известной в данном уровне техники, промыванием кислотами. Пентоксиды тантала и ниобия предпочтительно используют в виде тонкоизмельченных порошков. Размер первичных крупинок порошков пентоксидов должен приблизительно соответствовать 2- или 3-кратному размеру первичных крупинок металлических порошков, которые получают. Частицы пентоксида предпочтительно состоят из свободносыпучих агломератов со средним размером частиц от 20 до 1000 нм, отдавая определенное предпочтение более узкому диапазону размера частиц, наиболее предпочтительно от 50 до 300 нм. Восстановление оксида ниобия газообразными восстанавливающими агентами может проводиться в перемешиваемом или неподвижном слое, таком как вращающаяся печь, псевдоожиженный слой, подвесная печь или в туннельной малогабаритной печи с выкатным подом. Если используется неподвижный слой, глубина слоя не должна превышать 5-15 см таким образом, чтобы восстанавливающий газ мог проникать через слой. Большие толщины слоев могут быть возможны, если используется насадка слоя, через которую газ пропускается снизу. Для тантала предпочтительное оборудование описано в примере 2 и абзаце между примерами 2 и 3, ниже, со ссылкой на Фиг.1-4. Предпочтительно порошок ниобия согласно данному изобретению содержит кислород в количестве от 2500 до 4500 частей на миллион (далее: "чнм")/м2 поверхности и, в остальном, имея низкое содержание кислорода, до 10000 чнм азота и до 150 чнм углерода и, не принимая во внимание содержание легирующих металлов, имеет максимальное содержание 350 чнм других металлов, где другие металлы в основном являются восстанавливающим металлом или металлическим катализатором гидрирования. Общее содержание других металлов составляет не более чем 100 чнм. Общее содержание F, Cl, S составляет менее чем 10 чнм. Конденсаторы могут быть получены из порошков ниобия, которые являются предпочтительными согласно данному изобретению, сразу же после дезактивации и просеивания через сита с размером отверстий 400 мкм. После спекания при плотности спрессованного материала 3,5 г/см3 при температуре 1100С и формования при 40 В эти конденсаторы имеют удельное емкостное сопротивление от 80000 до 250000 мкФВ/г (измеренное в фосфорной кислоте) и удельную плотность тока утечки менее чем 2 нА/мкФВ. После спекания при температуре 1150С и формовании при 40 В удельное емкостное сопротивление составляет от 40000 до 150000 мкФВ/г и удельная плотность тока утечки составляет менее чем 1 нА/мкФВ. После спекания при температуре 1250С и формовании при 40 В получают конденсаторы, которые имеют удельное емкостное сопротивление (измеренное в фосфорной кислоте) от 30000 до 80000 мкФВ/г и удельную плотность тока утечки менее чем 1 нА/мкФВ. Порошок ниобия предпочтительно имеет удельную BET поверхность от 1,5 до 30 м2/г, в частности от 2 до 10 м2/г. С помощью простой линейной интерполяции обнаружено, что конденсаторы из порошков Nb/Ta сплава имеют заметно более высокие показатели удельного емкостного сопротивления, чем показатели конденсаторов, сделанных из порошков чистого Nb или чистого Та, или ожидаемые для сплава. Емкостные сопротивления (мкФВ) конденсаторов со спеченными анодами из порошка Nb и спеченными анодами из порошка Та, имеющими одинаковые площади поверхности, приблизительно равны. Причиной является то, что более высокая диэлектрическая проницаемость изолированного слоя оксида ниобия (41 по сравнению с 26 оксида тантала) компенсируется большей толщиной слоя оксида на вольт (анодное напряжение), образованного во время анодирования. Толщина слоя оксида на вольт Nb почти вдвое больше, чем толщина, образованная на Та (около 1,8 нм/В для Та и около 3,75 нм/В для Nb). Данное изобретение обеспечивает емкостное сопротивление по отношению к площади (мкФВ/м2) конденсаторов на основе порошка сплава, составляющее вплоть до 1,5-1,7 раз выше, чем ожидаемое значение при линейной интерполяции между конденсаторами на основе порошка Nb и конденсаторами на основе порошка Та. Это означает, что толщина слоя оксида на вольт анодного напряжения порошков сплава данного изобретения ближе к этому показателю Та, в то время как диэлектрическая проницаемость слоя оксида ближе к этому показателю Nb. Упомянутое выше неожиданно высокое емкостное сопротивление сплава может быть связано с различными структурными формами оксида компонентов сплава по сравнению со структурой оксидов на поверхностях чистых порошков Nb. В самом деле, предварительные измерения показали, что увеличение слоя оксида 15 ат.% Та - 85 ат.% Nb сплава составляет почти 2,75 нм/В. Содержание Та в предлагаемом порошке составляет, по крайней мере, 2 ат.% тантала, особенно предпочтительно, по крайней мере, 5 ат.% тантала, в частности 12 ат.% тантала по отношению к общему содержанию Nb и Та. Предпочтительно содержание тантала в порошках сплава данного изобретения составляет менее чем 34 ат.% тантала. Эффект повышения емкостного сопротивления достигается постепенным повышением соотношения атомов Nb к Та до около 3. Более чем 25 ат.% Та по отношению к общему содержанию Nb и Та увеличивает эффект только в незначительной степени. Порошки сплава данного изобретения предпочтительно имеют умноженную на плотность сплава BET поверхность от 8 до 250 (м2/г)(г/см3), особенно предпочтительно от 15 до 80 (м2/г)(г/см3). Плотность сплава может быть рассчитана из соответствующего атомного отношения Nb и Та, умноженного на плотности Nb и Та соответственно. Эффект повышения емкостного сопротивления при получении сплава не ограничен порошками, имеющими структуру агломерированных сферических частиц. Следовательно, сплавы порошков данного изобретения могут иметь морфологию в виде агломерированных хлопьев, предпочтительно имеющих произведение BET поверхности и плотности от 8 до 45 (м2/г)(г/см3). Особенно предпочтительными порошками сплава являются агломераты практически сферических первичных частиц, имеющие произведение BET поверхности и плотности от 15 до 60 (м2/г)(г/см3). Первичные порошки сплава (частицы) могут иметь средний диаметр от 10 до 1500 нм, предпочтительно от 100 до 300 нм. Предпочтительное отклонение диаметра первичных частиц от среднего диаметра составляет менее чем коэффициент 2 в обоих направлениях. Агломерированные порошки могут иметь определенный по стандарту ASTM-В 822 тот же средний размер частиц, что и описанный выше для порошков ниобия размер. Особенно предпочтительные порошки сплава имеют соотношение плотности Скотта и плотности сплава от 0,09 до 0,18 (г/см3)/(г/см3), в частности 0,09-0,14 (г/см3)/(г/см3). Согласно изобретению, для получения используемого для конденсаторов порошка используется предшественник, который представляет собой сплав предшественника, содержащий ниобий и тантал приблизительно в атомном соотношении Nb к Та, желательном в металлическом порошке сплава, вместо предшественника, содержащего только один тантал. Полезные предшественники сплава могут быть получены совместным осаждением (Nb, Та) соединений из водных растворов, содержащих растворимые в воде соединения Nb и Та, например совместным осаждением (Nb, Та)-оксигидрата из водного раствора гептафтор-комплексов добавлением аммиака и последующим кальцинированием оксигидрата до оксида. Особенно предпочтительные порошки Nb-Ta-сплава, имеющие морфологию агломерированных сферических частиц, получают из смешанных (Nb-Ta) оксидов восстановлением газообразным восстанавливающим агентом как описано выше. Металлический порошок согласно изобретению может использоваться не только в электронных конденсаторах, но и в других областях, включающих, например, получение комплекса электрооптических, суперпроводящих и других металлов и керамических соединений, таких как PMN структуры, и высокотемпературных модификаций металлов и оксидов. Использование конденсатора может сопровождаться другими известными модификациями получения конденсаторов, такими как легирование агентами для замедления уплотнения при спекании или какого-либо другого улучшения емкостного сопротивления конечного продукта, тока утечки и электрического пробоя. Изобретение далее поясняется следующими примерами, в которых имеется ссылка на Фиг.1-16. При этом на Фиг.1-4 показаны схематические чертежи оборудования для технологической обработки, используемого в практике данного изобретения; на Фиг.5А - 12С представлены микрофотографии, полученные на сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) порошков, полученных согласно данному изобретению, включая некоторые СЭМ примеров известного уровня техники или сравнительных примеров металлических порошков, полученных по способам, отличным от способа данного изобретения; на Фиг.13 и 14 показаны схемы последовательности операций, иллюстрирующие разнообразное использование порошка и производных; на Фиг.15 показано схематическое изображение конечного изделия в соответствии с использованием в качестве конденсатора (одного из нескольких форм конденсаторов); на Фиг.16 представлены кривые емкостного сопротивления и площади поверхности порошков Ta-Nb сплава относительно композиции сплава. Пример 1 (сравнительный) Смесь Ta2O5 и магния загружают в танталовую тарелку и накрывают танталовой фольгой. Стехиометрия магния составляет 109% от требуемой для полного восстановления оксида тантала. Смесь нагревают до температуры 1000С в течение 6 часов в атмосфере аргона. Смесь не перемешивают во время реакции восстановления. После охлаждения продукты пассивируют запрограммированным добавлением кислорода. Результат реакции восстановления представляет собой черный губчатый материал, который трудно разбивается. Продукт выщелачивают разбавленной минеральной кислотой для удаления оксида магния, сушат и просеивают. Выход крупного (+40 меш) материала высок, до 25%. Содержание каждой примеси (в % или чнм) и площади поверхностей (ПП, см2/г) +40 и -40 фракций даны в табл. 1.1 ниже. Содержание как магния, так и кислорода высокое. Большой процент крупного материала и плохое качество продукта делают его неприменимым для использования в конденсаторах. Пример 2 Согласно Фиг.1 слой (3) 200 г пентоксида тантала помещают на пористую танталовую пластинку 4, подвешенную над стружками металла магния (5), содержащимися в танталовой лодочке. Контейнер закрывают танталовой крышкой и помещают в запечатанную реторту с аргоном (Аr), пропускаемым через запечатанный сосуд через отверстия (6). Лодочку нагревают до температуры 1000°С и выдерживают при этой же температуре в течение 6 часов в атмосфере аргона/газообразного магния, используя слой (5) твердых стружек магния, находящийся в части сосуда, полностью отделенной от слоя оксида. После охлаждения до комнатной температуры смесь продукта пассивируют, подавая аргон-кислородные смеси, содержащие 2, 4, 8, 15 дюймов (5,08, 10,16, 20,32, 38,1 см) (рт.ст., парциальное давление) O2 (г), соответственно, в печь. Каждая смесь контактирует с порошком в течение 30 мин. Время выдержки для последней пассивации воздухом составляет 60 минут. Оксид магния отделяют от порошка тантала выщелачиванием разбавленной серной кислотой и затем споласкивают водой с высокой степенью чистоты для удаления остатков кислоты. Продукт представляет собой свободно-сыпучий порошок. Образцы продукта (обозначенные как Та GR-2D) показаны на микрофотографиях, полученных на сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) на Фиг.5А, 5В, 5С при 15700, 30900 и 60300 увеличении, соответственно, полученных на электронном микроскопе, работающем при 15 кВ. Сравнительный пример дан на Фиг.5D и 5Е, которые представляют собой увеличенные в 70000 раз (х) СЭМ порошка тантала, полученного восстановлением натрием. Свойства порошков тантала, представленных на Фиг.5А, 5В, 5С, даны в табл. 2.1 ниже. Соотношение концентрации кислорода к площади поверхности соответствует только площади кислорода, что означает полное восстановление оксида тантала. Формы реакторов, альтернативные тому, что показан на Фиг.1 (и описан в примере 2), показаны на Фиг.2-4. На Фиг.2 показан реактор для обжига во взвешенном состоянии 20 с вертикальной трубой, окруженной нагревательным элементом 24, источником исходного сырья 25 оксида металла, источником 26 восстанавливающего агента (например, Мg) в виде пара (смешанного с аргоном), выпускного отверстия для аргона 26' и устройством сбора 28 для металла и оксида восстанавливающего агента. Также имеются клапаны V1 и V2. Частицы оксида падают через трубу и восстанавливаются обжигом во взвешенном состоянии. На Фиг.3 показана вращающаяся печь 30 с наклоненной вращающейся трубой 32, нагревательным элементом 34, загрузочной воронкой с оксидом 35, источником газа (восстанавливающий агент и разбавитель, например аргон) и выходным отверстием 36, 36' и устройством сбора 38 для металла и оксида восстанавливающего агента. На Фиг.4 показана многоподовая печь 40 с ретортой 42, содержащей вращающиеся тарелки 43 и лопасти со шпоночными канавками, нагревающий элемент 44, источник оксида 45, источник газа и выходное отверстие 46, 46' и устройство сбора 48. Могут быть использованы другие возможные формы реакторов, такие как обычно употребляемые сами по себе реакторы с печью для обработки в кипящем слое или реакторы типов Contop, KIVCET. Пример 3 Порошок тантала с площадью поверхности 57000 см2/г, полученный по методике примера 2, дезоксигенируют смешиванием порошка с 2 об/об% Мg и нагреванием при температуре 850С в течение 2 часов в атмосфере аргона. Разделение источника восстанавливающего агента и оксида в данном случае не обязательно на данной последующей стадии дезоксигенирования. Дезоксигенированный порошок охлаждают и затем пассивируют, выщелачивают и сушат. СЭМ (увеличение 100000) дезоксигенированного (конечного) порошка показана на Фиг.7А и СЭМ (увеличение 70000) конечного порошка, восстановленного натрием, показана на Фиг.7В. Очевидна разница морфологии. После легирования 100 чнм Р добавлением соответствующего количества NH4H2PO4 порошок прессуют в гранулы весом 0,14 г при плотности прессования 5,0 г/см3. СЭМ дополнительно дезоксигенированного порошка показана на Фиг.6. Гранулы спекают в вакууме при температуре 1200С в течение 20 мин. Гранулы анодируют до 30 В в 0,1 об.% (об/об%) растворе Н3РO4 при температуре 80С. Плотность электрического тока при формовании составляет 100 мА/г и время выдержки при напряжении формования составляет 2 часа. Среднее емкостное сопротивление анодированных гранул составляет 105000 мкФ (В)/г и ток утечки, измеренный после 5 минут применения напряжения 21 В, составляет 0,1 нА/мкФ (В). Пример 4 Порошок с площадью поверхности 133000 см2/г и объемной плотностью 27,3 г/м3, полученный по методике примера 2, обрабатывают по методике примера 3. СЭМ (увеличение 56600) конечного порошка показана на Фиг.7С. Гранулы, полученные из дезоксигенированного порошка, анодируют до 16 В, используя условия примера 3. Среднее емкостное сопротивление анодированных гранул составляет 160000 мкФ (В)/г. Пример 5 900 г Ta2O5 восстанавливают газообразным магнием при температуре 900С в течение 2 часов. Оксид магния удаляют из продукта восстановления выщелачиванием разбавленной серной кислотой. Полученный порошок имеет площадь поверхности 70000 см2/г и его дезоксигенируют при температуре 850С в течение 2 часов, используя 8 об/об% магний. Один (1,0) об/об% NH4Cl добавляют к загрузке для азотирования тантала. Дезоксигенированный порошок обрабатывают по методике примера 3. Уровень легирования Р составляет 200 чнм. Порошок снова дезоксигенируют, используя то же время и температуру, 2,0 об/об% Мg и без NH4Cl. Остаточный магний и оксид магния удаляют выщелачиванием разбавленной минеральной кислотой. Химические свойства порошка даны в табл. 5.1 ниже. Порошок имеет площадь поверхности 9000 см2/г и превосходную сыпучесть. Спрессованные гранулы спекают при температуре 1350С в течение 20 минут и анодируют до 16 В в 0,1 об/об% Н3РO4 при температуре 80С. Емкостное сопротивление анодированных гранул составляет 27500 мкФ (В)/г и ток утечки составляет 0,43 нА/мкФ (В). Пример 6 500 г Та2O5 восстанавливают при температуре 1000С в течение 6 часов газообразным магнием. Свойства полученного таким образом первичного порошка даны в таблице 6.1 ниже. Первичный порошок дезоксигенируют при температуре 850°С в течение 2 часов. Добавляют 4 об/об% Mg и 1 об/об% NH4Cl. МgО выщелачивают минеральной кислотой. Затем порошок легируют при 200 чнм Р, добавляя эквивалентное количество NH4H2PO4. Порошок дезоксигенируют второй раз при температуре 850С в течение 2 часов и затем азотируют при температуре 325С добавлением газообразной смеси, содержащей 80% аргона и 20% азота. Некоторые свойства конечного порошка показаны в табл. 6.2 ниже. Гранулы получают из порошка при плотности давления 5,0 г/см3. Спеченные гранулы анодируют при температуре 80°С до 16 В в 0,1 об/об% растворе H3PO4. Емкостные сопротивления и токи утечки в зависимости от температуры даны в табл. 6.3 ниже. Пример 7 (сравнительный) Гептафторниобат калия (K2NbF7) восстанавливают натрием с использованием методики обработки в расплавленной соли в реакторе с перемешиванием, такой как описана у Hellier et al. и Hildteth et al. патент США 5,442,978. Разбавленная соль представляет собой хлорид натрия, и реактор сделан из сплава Inconel. Металлический порошок ниобия отделяют от матрицы соли выщелачиванием разбавленной азотной кислотой (НNО3) и затем промыванием водой. Отдельные физические и химические свойства показаны в табл. 7.1 ниже. Очень высокие концентрации металлических элементов, никеля, железа и хрома, делают порошки неприменимыми для использования в качестве материала, пригодного для использования в конденсаторах. Такое загрязнение является результатом свойственной коррозийной природы K2NbF7. Это свойство делает способ восстановления натрием неприменимым для получения порошков ниобия, пригодных для использования в конденсаторах. Пример 8 200 г пентоксида ниобия восстанавливают по методике примера 2. Полученный продукт представляет собой свободнотекучий черный порошок и имеет площадь поверхности 200800 см2/г. Пассивированный продукт выщелачивают разбавленным раствором азотной кислоты для удаления оксида магния и остаточного магния и затем промывают водой с высокой степенью чистоты для удаления остаточной кислоты. Этот материал смешивают с десятью (10,0) об/об% Мg и дезоксигенируют при температуре 850С в течение 2 часов. Физические и химические свойства порошка показаны в табл. 8.1 ниже. Порошок легируют 100 чнм Р по методике примера 3. СЭМ (увеличение 70000) показаны на Фиг.8А и 8В, соответственно, для порошков ниобия, полученных восстановлением жидким натрием (пример 7) и газообразным магнием (пример 8). Примечательно, что кластерообразование небольших частиц в виде наростов на больших частицах гораздо более отчетливо видно на Фиг.8В, чем на Фиг.8А. На Фиг.8С и 8D представлены СЭМ (увеличение 2000), соответственно, порошка ниобия, полученного восстановлением натрием и восстановлением газообразным магнием. Порошок ниобия, полученный восстановлением жидким натрием, имеет большие (>700 нм) объединенные (300 нм+) выделяющиеся крупинки и внешние грани, которые придают продукту блокообразную форму, и тонкоизмельченные крупинки материала (порядка 10 нм, но некоторые достигают 75 нм) в виде наростов, в то время как порошок ниобия, полученный восстановлением газообразным магнием, имеет основной размер крупинок около 400 нм и более мелкие крупинки, диаметром около 20 нм, на них, причем многие из этих мелких крупинок сами по себе являются агломератами размером вплоть до 100 нм. Пример 9 Гранулы, весящие 0,14 г, получают из порошка ниобия, полученного в примере 8. Гранулы анодируют в 0,1 об/об% растворе Н3РO4 при температуре 80С. Плотность тока составляет 100 мА/г и время выдержки при напряжении формования составляет 2 часа. Электрические результаты по отношению к плотности прессования гранул, напряжению формования и температуре спекания показаны в табл. 9.1 ниже. Пример 10 Оксид ниобия восстанавливают газообразным магнием по методике примера 8. Полученный порошок дважды подвергают дезоксигенированию. Во время первого дезоксигенирования к загрузке добавляют 2,0 об/об% NH4Cl для азотирования порошка. Условия дезоксигенирования включают обработку при температуре 850С в течение 2 часов с 7,0 об/об% Mg. После выщелачивания и сушки порошок легируют 200 чнм Р. Второе дезоксигенирование проводят при температуре 850С в течение 2 часов, используя 2,5 об/об% Мg. Конечный порошок имеет площадь поверхности 22000 см2/г и хорошую сыпучесть. Химические свойства даны в табл. 10.1 ниже. Гранулы анодируют до 16 В в 0,1 об/об% растворе Н3РO4 при температуре 80С, используя плотность тока 100 мА/г и двухчасовую выдержку. Электрические свойства даны в табл. 10.2 ниже. Пример 11 a) Используемый Nb2O3 имеет размер частиц 1,7 мкм, определенный с помощью классификатора Фишера (далее: "FSSS" = Fisher Sub Sieve Sizer) и содержит следующие доли примесей: Общее количество (Na, К, Са, Мg) 11 чнм Общее количество (Al, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, Mn, Mo, Ni, Pb, Sb, Sn, Ti, V, W, Zn, Zr) 19 чнм Та 8 чнм Si 7 чнм С <1 чнм Cl <3 чнм F 5 чнм S <1 чнм Nb2O5 пропускают в молибденовой лодочке через туннельную малогабаритную печь с выдвижным подом в атмосфере медленно поступающего водорода и выдерживают в горячей зоне печи в течение 3,5 часов. Полученный субоксид имеет композицию, соответствующую NbO2. b) Продукт помещают на решетку с мелкими отверстиями, под которой находится тигель, который содержит магний в 1,1 больше ст