Лазерная система

Лазерная система

Реферат

 

Изобретение относится к области лазерной техники, а именно к щелевым газоразрядным лазерам, и может быть использовано при создании мощных технологических лазеров. Лазерная система содержит N+1 лазерных идентичных модулей, каждый из которых выполнен в виде установленных по замкнутому контуру пластинчатых электродов с разрядными каналами щелевой формы и резонатора, включающего оптически сопряженные через разрядные каналы вогнутое и выпуклое зеркала, установленные напротив соседних торцов пластинчатых электродов со смещением относительно последних для прохода выходного пучка лазерного излучения модуля, две группы плоских зеркал по N зеркал в каждой группе и компактор апертуры выходных пучков излучения. Лазерные модули установлены поярусно и сформированы в блок призматической формы, вогнутые зеркала резонаторов лазерных модулей сформированного блока, начиная со второго яруса, выполнены с выборками в области оптических осей резонаторов, плоские зеркала первой группы размещены за вогнутыми зеркалами резонаторов напротив вышеуказанных выборок, а зеркала второй группы установлены в лазерных модулях, начиная с первого яруса блока, с возможностью частичного перекрывания выходного пучка лазерного излучения модуля, причем каждое зеркало второй группы одного яруса блока оптически сопряжено с выпуклым зеркалом в следующем ярусе блока через разрядные каналы лазерного модуля и плоское зеркало первой группы в этом же ярусе. Компактор апертуры выходных пучков излучения размещен за выпуклыми зеркалами лазерных модулей. Обеспечено повышение мощности выходного лазерного излучения системы и улучшение пространственных характеристик излучения. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Предлагаемое изобретение относится к области лазерной техники, а именно к щелевым газоразрядным лазерам, и может быть использовано при создании мощных технологических лазеров.

Известна лазерная система, содержащая, по крайней мере, два одинаковых неустойчивых резонатора, каждый из которых включает вогнутое и выпуклое конфокальные зеркала, и равное числу резонаторов число активных сред, каждая из которых расположена между вогнутым и выпуклым зеркалами соответствующего резонатора, при этом между выходами резонаторов установлена оптическая связь для обеспечения ввода части выходного пучка одного резонатора в другой параллельно оптической оси этого другого резонатора и наоборот, результатом чего должна быть синхронизация основных мод резонаторов /1/.

Недостатком данной лазерной системы является практическая трудность строгого согласования направления вводимого в резонатор синхронизирующего пучка излучения с направлением оптической оси этого резонатора, которое, вообще говоря, заранее неизвестно.

Если направление пучка, вводимого со стороны выхода резонатора, лежит в одной плоскости с оптической осью резонатора и составляет с ней угол , то после k двойных проходов в резонаторе направление пучка составит с осью резонатора угол М^k, в связи с чем в зависимости от знака угла пучок может не достигнуть приосевой области резонатора и вернуться назад, либо он может пересечь приосевую область и выйти с другой стороны резонатора, не трансформировавшись в основную моду. Поэтому коллективная мода генерации системы может оказаться целиком внутри замкнутой оптической системы из резонаторных и поворотных зеркал, а генерация резонаторов на основной моде будет происходить независимо, то есть, без фазовой синхронизации. Если направления введенного во второй резонатор пучка и оптической оси резонатора не будут лежать в одной плоскости, путь распространения пучка внутри резонатора получит азимутальную составляющую, что также препятствует совмещению введенного пучка с приосевой областью резонатора в процессе многократных проходов в резонаторе. Таким образом, практическая невозможность точного совмещения направления вводимого со стороны выхода второго резонатора пучка части излучения первого резонатора с направлением оптической оси второго резонатора ставит под сомнение реализуемость работоспособной системы на предложенном принципе.

Известны системы волноводных лазеров, в которых оптический путь внутри резонатора разделен на множество прямолинейных участков, оптически связанных между собой поворотными зеркалами, причем расположение этих участков может быть разнообразным, в том числе взаимно параллельное, в виде сложных фигур с пересекающимися участками оптического пути, расположенных в параллельных плоскостях, оптически связанных между собой зеркальными "мостиками", в виде биконических структур, в виде пространственных спиральных структур /2-4/.

Основной недостаток указанных систем - ограничение возможности наращивания мощности лазерного излучения вследствие чрезмерных лучевых нагрузок на зеркалах.

Известна лазерная система, содержащая три или более узких щелевых разрядных каналов, смонтированных радиально относительно основной оси /5/.

Возбуждение разрядных объемов может быть радиочастотным, постоянным током или фотоиндуцированным импульсным электрическим сигналом с магнитной стабилизацией. Разрядные каналы могут быть вмонтированы в обычный нестабильный оптический резонатор, тороидальный резонатор с обратной связью и без нее. Пара соседних каналов может быть объединена для формирования кольцевого микроволнового резонатора в виде гребенчатого волновода, оптимально возбуждаемого магнетроном.

Указанная лазерная система имеет ряд недостатков:

а) радиальное расположение разрядных каналов не обеспечивает возможности получения возбужденной активной среды в области, непосредственно прилегающей к основной оси лазерной системы, в связи с чем применение обычного нестабильного резонатора из двух зеркал неэффективно;

б) в случае использования тороидального резонатора с обратной связью и без нее излучающая апертура лазерной системы состоит из набора малых субапертур, размещенных по кольцу значительного диаметра с азимутальным шагом 2/N, где N - число субапертур. Такая структура апертуры лазерной системы даже в случае фазовой синхронизации пучков излучения приводит к многолепестковой диаграмме направленности излучения в дальней зоне, что нежелательно для многих приложений. Кроме того, изготовление точной тороидальной оптики требует наличия уникального оборудования для оптической обработки, а резонаторы на тороидальных зеркалах имеют высокую чувствительность к разъюстировке.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению (прототипом) является лазерная система, содержащая лазерный модуль в виде установленных по замкнутому контуру пластинчатых электродов с разрядными каналами щелевой формы и резонатора, включающего оптически сопряженные через разрядные каналы вогнутое и выпуклое зеркала, установленные напротив соседних торцов пластинчатых электродов со смещением относительно последних для прохода выходного пучка лазерного излучения модуля /6/.

Недостатком прототипа является ограниченная мощность выходного лазерного излучения, обусловленная предельными лучевыми нагрузками на зеркалах, что не позволяет развивать систему за счет увеличения числа секций активной среды.

Технический результат от использования предлагаемого технического решения заключается в повышении мощности выходного лазерного излучения системы и улучшении пространственных характеристик излучения.

Технический результат достигается тем, что лазерная система, содержащая лазерный модуль в виде установленных по замкнутому контуру пластинчатых электродов с разрядными каналами щелевой формы и резонатора, включающего оптически сопряженные через разрядные каналы вогнутое и выпуклое зеркала, установленные напротив соседних торцов пластинчатых электродов со смещением относительно последних для прохода выходного пучка лазерного излучения модуля, дополнительно содержит N лазерных модулей, идентичных имеющемуся, две группы плоских зеркал по N зеркал в каждой группе и компактор апертуры выходных пучков излучения, при этом лазерные модули установлены поярусно и сформированы в блок призматической формы, вогнутые зеркала резонаторов лазерных модулей сформированного блока, начиная со второго яруса, выполнены с выборками в области оптических осей резонаторов, плоские зеркала первой группы размещены за вогнутыми зеркалами резонаторов напротив вышеуказанных выборок, а зеркала второй группы установлены в лазерных модулях, начиная с первого яруса блока, с возможностью частичного перекрывания выходного пучка лазерного излучения модуля, причем каждое зеркало второй группы одного яруса блока оптически сопряжено с выпуклым зеркалом в следующем ярусе блока через разрядные каналы лазерного модуля и плоское зеркало первой группы в этом же ярусе, а компактор апертуры выходных пучков излучения размещен за выпуклыми зеркалами лазерных модулей.

Кроме того, компактор апертуры выходных пучков излучения выполнен в виде набора из N устройств коллинеарного переноса.

Кроме того, каждое устройство коллинеарного переноса выполнено из входного и выходного зеркал, оптически сопряженных между собой и выходом соответствующего лазерного модуля.

Кроме того, плоские зеркала первой группы оптически сопряжены с выпуклыми зеркалами лазерных модулей под углом h/L к оптическим осям резонаторов модулей, где h - глубина выборки в вогнутом зеркале относительно оптической оси резонатора, L - длина резонатора лазерного модуля, при этом плоскость угла параллельна пластинчатым электродам, напротив торцов которых расположено вогнутое зеркало резонатора.

На фиг.1 представлена оптическая схема предлагаемой лазерной системы (компактор апертуры выходных пучков излучения не показан); на фиг.2 - оптическая схема компактора апертуры выходных пучков излучения; на фиг.3 - оптическая схема компактора апертуры выходных пучков излучения с устройствами коллинеарного переноса, выполненными, например, по телескопической схеме; на фиг.4 - развертка осевого сечения резонатора одного из лазерных модулей.

Система содержит N+1 лазерных модулей, каждый в виде установленных по замкнутому контуру пластинчатых электродов 1, 2 с разрядными каналами Р щелевой формы и резонатора, включающего оптически сопряженные через разрядные каналы Р вогнутое 3.i и выпуклое 4.i зеркала, установленные напротив соседних торцов пластинчатых электродов 1, 2 со смещением относительно последних для прохода выходного пучка лазерного излучения модуля. Оптическое сопряжение зеркал 3.i и 4.i осуществляется плоскими поворотными зеркалами, показанными на фиг.1 в поз. 5.i, 6.i и 7.i. Лазерные модули установлены поярусно и сформированы в блок призматической формы, каждому ярусу сформированного блока присвоен номер i(i=1, 2,..., N+1).

Лазерная система содержит также две группы плоских зеркал 8.i и 9.i по N зеркал в каждой группе, причем вогнутые зеркала 3.i резонаторов лазерных модулей сформированного блока, начиная со второго яруса, выполнены с выборками h в области оптических осей резонаторов (см. фиг.1 и 4), плоские зеркала 9.i (i=2, 3..., N+1) первой группы размещены за вогнутыми зеркалами 3.i резонаторов напротив вышеуказанных выборок h, а зеркала 8.i (i=1, 2,..., N) второй группы установлены в лазерных модулях, начиная с первого яруса блока, с возможностью частичного перекрывания выходного пучка лазерного излучения модуля, причем каждое зеркало 8.i второй группы одного яруса блока оптически сопряжено с выпуклым зеркалом 4.i+1 в следующем ярусе блока через разрядные каналы Р лазерного модуля и плоское зеркало 9.i+1 первой группы в этом же ярусе с номером i+1.

Оптические оси резонаторов лазерных модулей в ярусах с номерами i обозначены на фиг.1 символом O.i, оси пучков излучения на участках оптического пути между зеркалами 8.i и 9.i+1 - символом C.i. Стрелками на осях показано направление излучения, большими стрелами на фиг.1 показаны пучки излучения на выходе лазерных модулей, выходы лазерных модулей пронумерованы в соответствии с номерами ярусов сформированного блока призматической формы. На фиг.1 и 4 величина h - глубина выборки в вогнутом зеркале 3.i относительно оптической оси резонатора O.i, L - длина резонатора лазерного модуля, h/L - угол направления оптического сопряжения зеркала 9.i с выпуклым зеркалом 4.i по отношению к оптической оси O.i резонатора любого лазерного модуля.

Лазерная система содержит также компактор апертуры 10 выходных пучков излучения, размещенный за выпуклыми зеркалами 4.i лазерных модулей (см. фиг.2). Компактор апертуры выходных пучков излучения выполнен в виде набора из N устройств коллинеарного переноса, каждое из которых включает входное зеркало 11.i и выходное зеркало 12.i, оптически сопряженные между собой и выходом соответствующего лазерного модуля с номером i. Здесь 13 - апертура излучения на выходе компактора апертуры выходных пучков.

На фиг.3 показан компактор апертуры выходных пучков, выполненный, например, в виде набора из N+1 устройств коллинеарного переноса телескопического типа, каждое из которых включает выпуклое входное зеркало 14.i и вогнутое выходное зеркало 15.i. Здесь 16 - апертура излучения на выходе компактора с устройствами коллинеарного переноса, например, телескопического типа.

Лазерная система работает следующим образом.

При подаче на электроды 1, 2 напряжения от питающего электрогенератора (в графических материалах условно не показано) в газовой среде, заполняющей разрядные каналы Р между электродами, возникает электрический разряд, энергия которого поглощается газом с образованием возбужденной активной среды с инверсной населенностью энергетических уровней. Активная среда заполняет разрядные каналы во всех лазерных модулях. Неустойчиво-волноводный резонатор лазерного модуля в первом ярусе блока (зеркала 3.1, 4.1 и три показанных на фиг.1 поворотных плоских зеркала 5.1, 6.1, 7.1) формирует моду вынужденного (лазерного) излучения, соответствующую низшей волноводной моде в плоскостях, перпендикулярных электродам 1, 2, и основной моде неустойчивого резонатора в плоскостях, параллельных электродам 1, 2. Мода имеет форму, определяемую конфигурацией размещения пар электродов 1, 2 в ярусе (квадрат на фиг.1).

Для получения на выходе лазерного модуля одного пучка излучения целесообразно оптическую ось O.1 резонатора сместить к периферии щелевых разрядных каналов модуля. Часть лазерного излучения зеркалом 8.1 отбирается из выходного пучка путем частичного перекрывания апертуры и направляется вдоль оси C.1 на зеркало 9.2. Последнее направляет отобранный пучок через выборку h в зеркале 3.2 (см. фиг.1 или 4), вдоль оптической оси O.2 резонатора лазерного модуля во втором ярусе блока. Инжектированный таким образом пучок проходит в приосевой области, отражаясь поворотными зеркалами 5.2, 6.2, 7.2 (см. фиг.1), и после усиления в разрядных каналах лазерного модуля второго яруса блока попадает на зеркало 4.2. Отраженный от него пучок расширяется при обратном проходе, и часть его попадает на вогнутое зеркало 3.2, возвращающее эту часть к выпуклому зеркалу 4.2. Далее процесс прохождения излучения в резонаторе повторяется с усилением излучения аналогично процессу в обычном неустойчивом резонаторе без инжекции.

Часть инжектированного пучка, не попавшая на вогнутое зеркало 3.2, продолжая расширяться, возвращается по пути 9.2-8.1 в резонатор лазерного модуля в ярусе 1 блока, что может вызвать нежелательные возмущения модового состава излучения в этом модуле. Для уменьшения доли излучения, отраженного в обратном направлении из резонатора модуля в ярусе 2, целесообразно направлять инжектируемый пучок не строго вдоль оси O.2, а под небольшим углом к ней вовнутрь резонатора (см. фиг.4). Минимальный угол наклона направления оптического сопряжения плоского зеркала 9.2 с выпуклым зеркалом 4.2, вдоль которого распространяется указанный инжектируемый пучок, относительно оси резонатора O.2 составляет величину h/L, где h - глубина выборки в вогнутом зеркале 3.2 относительно оптической оси резонатора O.2, L - длина резонатора лазерного модуля. При этом весь пучок, введенный в резонатор зеркалом 9.2 и отраженный зеркалом 4.2, принимается зеркалом 3.2 и остается в резонаторе. Получаемое в результате изменение направления излучения на выходе резонатора при этом будет незначительным при достаточно большом числе проходов пучка внутри резонатора.

Зеркало 8.2 отбирает часть пучка на выходе лазерного модуля во втором ярусе блока и через зеркало 9.3 инжектирует его в резонатор лазерного модуля в ярусе 3 блока. Процесс продолжается до лазерного модуля в ярусе с номером N+1, в выходном пучке излучения которого зеркало отбора части излучения отсутствует.

Предлагаемая схема обеспечивает синхронизацию излучения всех лазерных модулей, входящих в систему, по опорному излучению лазерного модуля в первом ярусе блока.

Если вогнутое зеркало 3.1 резонатора лазерного модуля в первом ярусе блока выполнить с выборкой h, как все остальные вогнутые зеркала 3.i, и добавить еще по одному зеркалу 1-й и 2-й групп, причем зеркало 1-й группы установить за вогнутым зеркалом 3.1 напротив выборки h в нем, а зеркалом 2-й группы перекрыть часть пучка излучения на выходе лазерного модуля в ярусе с номером N+1 и через добавленное зеркало 1-й группы и разрядные каналы лазерного модуля в ярусе 1 обеспечить его оптическое сопряжение с выпуклым зеркалом 4.1, источник опорного излучения обезличивается, и в системе устанавливается коллективная мода генерации (в графических материалах условно не показано).

Лучевые нагрузки на всех зеркалах системы не превышают лучевых нагрузок, действующих в резонаторе индивидуального лазерного модуля в ярусе 1. Увеличение длины активной среды каждого лазерного модуля путем использования нескольких последовательно оптически сопряженных в одном резонаторе разрядных каналов (четыре на фиг.1) повышает коэффициент усиления за проход и позволяет выбирать более высокие значения коэффициента увеличения резонатора. При этом размер апертуры выходного излучения лазерного модуля вдоль координаты неустойчивости резонатора увеличивается, что снижает долю мощности лазерного излучения модуля, отбираемую для инжекции в резонатор лазерного модуля в следующем ярусе блока.

Расположение вогнутых и выпуклых зеркал резонаторов лазерных модулей напротив торцов соседних пар электродов, образующих один угол блока призматической формы, максимально упрощает двухзеркальную схему передачи излучения из одного яруса в следующий.

Рассмотрим работу лазерной системы с компактором апертуры выходных пучков.

Центры отдельных апертур (субапертур) выходных пучков лазерных модулей системы расположены на одной прямой, причем длинные стороны субапертур ориентированы вдоль этой прямой. Шаг между субапертурами равен шагу между ярусами блока и он в несколько раз (до 10) больше размера длинной стороны субапертуры. Выходящие пучки зеркалами 11.i направляются на зеркала 12.i, расположенные вплотную друг к другу и отражающие падающие на них пучки излучения в направлении, параллельном первоначальному. При этом пучок одного из лазерных модулей может не перемещаться в пространстве, в связи с чем число устройств коллинеарного переноса, состоящих из зеркал 11.i и 12.i, может быть на одно меньше, чем число лазерных модулей. Апертура 13 на выходе компактора состоит из близко расположенных субапертур (четырех на фиг.2), конкретная конфигурация положения которых выбирается исходя из их числа, требований к диаграмме направленности излучения или требований практического применения излучения. Например, при числе лазерных модулей больше трех возможно как однорядное, так и многорядное расположение субапертур. В некоторых технологических задачах может оказаться полезным расположение субапертур вдоль одной прямой вплотную друг к другу (например, для термообработки протяженных участков поверхности).

Устройства коллинеарного переноса, входящие в состав компактора апертуры выходных пучков излучения, могут быть выполнены по телескопической схеме на основе оптически сопряженных входного выпуклого зеркала 14.i и выходного вогнутого зеркала 15.i. При этом апертура 16 пучка излучения на выходе компактора состоит из субапертур, площади которых в М²_т раз больше, чем у исходных, благодаря чему осевая интенсивность излучения в дальней зоне возрастает во столько же раз, а ширина диаграммы направленности уменьшается в М_т раз при сохранении оптимального соотношения в энергетическом распределении между ее центральным и боковыми лепестками, соответствующего принятой конфигурации расположения субапертур в суммарной выходной апертуре 16 компактора апертуры выходных пучков излучения. Здесь М_т - коэффициент увеличения телескопа.

Для реализации преимуществ предлагаемой системы в полном объеме требуется выполнение дополнительного условия: синхронизированные выходные пучки излучения системы должны быть синфазны в некоторой выходной опорной плоскости. Это означает, что оси лазерных пучков на выходе компактора апертуры пучков излучения должны быть параллельны с высокой точностью, а фазы излучения в пучках для любой плоскости, перпендикулярной направлению их распространения, должны совпадать с точностью не хуже /10, то есть, /20. Задача эта решается известными методами адаптивной оптики, например, /7/.

На основании вышеизложенного следует, что предлагаемая лазерная система имеет преимущества по сравнению с известными:

1) повышается мощность лазерного излучения системы за счет включения в ее состав дополнительно N лазерных модулей, идентичных имеющемуся, при этом лазерные модули установлены поярусно и сформированы в блок призматической формы;

2) улучшаются пространственные характеристики лазерного излучения системы за счет включения в ее состав двух групп плоских зеркал по N зеркал в каждой группе и компактора апертуры выходных пучков излучения, при этом вогнутые зеркала резонаторов лазерных модулей сформированного блока, начиная со второго яруса, выполнены с выборками в области оптических осей резонаторов, плоские зеркала первой группы размещены за вогнутыми зеркалами резонаторов напротив вышеуказанных выборок, а зеркала второй группы установлены в лазерных модулях, начиная с первого яруса блока, с возможностью частичного перекрывания выходного пучка лазерного излучения модуля, причем каждое зеркало второй группы одного яруса блока оптически сопряжено с выпуклым зеркалом в следующем ярусе блока через разрядные каналы лазерного модуля и плоское зеркало первой группы в этом же ярусе, а компактор апертуры выходных пучков излучения размещен за выпуклыми зеркалами лазерных модулей; кроме того, компактор апертуры выходных пучков излучения выполнен в виде набора из N устройств коллинеарного переноса, каждое устройство коллинеарного переноса выполнено из входного и выходного зеркал, оптически сопряженных между собой и выходом соответствующего лазерного модуля; кроме того, плоские зеркала первой группы оптически сопряжены с выпуклыми зеркалами лазерных модулей под углом h/L к оптическим осям резонаторов модулей, где h - глубина выборки в вогнутом зеркале относительно оптической оси резонатора, L - длина резонатора лазерного модуля, при этом плоскость угла параллельна пластинчатым электродам, напротив торцов которых расположено вогнутое зеркало резонатора.

Следовательно, предложенное техническое решение при использовании дает технический результат, а именно - повышается мощность и улучшаются пространственные характеристики излучения лазерной системы.

В настоящее время на предприятии изготовлен действующий макет предложенной лазерной системы, испытания которой подтвердили достижение вышеуказанного технического результата.

Источники информации

1. Патент США № 4682339, МПК H 01 S 3/08, 1987.

2. Европейский патент № 0427229 А2, МПК H 01 S 3/07, 1990.

3. Европейский патент № 0292277 А1, МПК H 01 S 3/03, H 01 S 3/081, Н 01 S 3/07, 1988.

4. Европейский патент № 0305893 В1, МПК H 01 S 3/03, 1994.

5. Патент США № 5029173, МПК Н 01 S 3/10, 1991.

6. Патент США № 5373528, МПК H 01 S 3/097, 1994 (прототип).

7. М.А.Воронцов, В.И.Шмальгаузен. Принципы адаптивной оптики. М., Наука, 1985.

8. Патент РФ № 2190910, МПК H 01 S 5/183, 3/16, 1998.

Формула изобретения

1. Лазерная система, содержащая лазерный модуль в виде установленных по замкнутому контуру пластинчатых электродов с разрядными каналами щелевой формы и резонатора, включающего оптически сопряженные через разрядные каналы вогнутое и выпуклое зеркала, установленные напротив соседних торцев пластинчатых электродов со смещением относительно последних для прохода выходного пучка лазерного излучения модуля, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит N лазерных модулей, идентичных имеющемуся, две группы плоских зеркал по N зеркал в каждой группе и компактор апертуры выходных пучков излучения, при этом лазерные модули установлены поярусно и сформированы в блок призматической формы, вогнутые зеркала резонаторов лазерных модулей сформированного блока, начиная со второго яруса, выполнены с выборками в области оптических осей резонаторов, плоские зеркала первой группы размещены за вогнутыми зеркалами резонаторов напротив вышеуказанных выборок, а зеркала второй группы установлены в лазерных модулях, начиная с первого яруса блока, с возможностью частичного перекрывания выходного пучка лазерного излучения модуля, причем каждое зеркало второй группы одного яруса блока оптически сопряжено с выпуклым зеркалом в следующем ярусе блока через разрядные каналы лазерного модуля и плоское зеркало первой группы в этом же ярусе, а компактор апертуры выходных пучков излучения размещен за выпуклыми зеркалами лазерных модулей.

2. Лазерная система по п.1, отличающаяся тем, что компактор апертуры выходных пучков излучения выполнен в виде набора устройств коллинеарного переноса.

3. Лазерная система по п.2, отличающаяся тем, что каждое устройство коллинеарного переноса выполнено из входного и выходного зеркал, оптически сопряженных между собой и выходом соответствующего лазерного модуля.

4. Лазерная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что плоские зеркала первой группы оптически сопряжены с выпуклыми зеркалами лазерных модулей под углом h/L к оптическим осям резонаторов модулей, где h - глубина выборки в вогнутом зеркале относительно оптической оси резонатора, L - длина резонатора лазерного модуля, при этом плоскость угла параллельна пластинчатым электродам, напротив торцев которых расположено вогнутое зеркало резонатора.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4