Халькогенидное стекло

Халькогенидное стекло

Реферат

Изобретение относится к составам халькогенидных стекол, используемых в микроэлектронике.

Известно халькогенидное стекло состава, мас.%: GeS₂ 55,0-75,0; NaCl 10,0-20,0; Ga₂S₃ 15,0-25,0 /1/.

Целью изобретения является повышение термической устойчивости халькогенидного стекла.

Цель достигается тем, что в состав стекла, содержащего GeS₂, NaCl, Ga₂S₃, дополнительно вводят In₂S₃ и GaAs, при следующем соотношении, мас.%: GeS₂ 35,0-45,0; NaCl 10,0-15,0; Ga₂S₃ 15,0-25,0; In₂S₃ 15,0-25,0; GaAs 5,0-10,0.

В таблице приведены составы стекла.

Таблица
Состав	Компоненты, мас %:	Сохранение твердого состояния до температуры, °С
GeS2	NaCl	Ga2S3	In2S3	GaAs
1	35,0	15,0	25,0	15,0	10,0	450-500
2	40,0	13,0	20,0	20,0	7,0	450-500
3	45,0	10,0	15,0	25,0	5,0	450-500

Халькогенидное стекло получают при медленном подъеме температуры до 1000-1100°С в герметичных вакуумированных сосудах.

Источники информации

1. Авторское свидетельство СССР №1135726, С03С 3/12, 1985.

Халькогенидное стекло, содержащее GeS₂, NaCl, Ga₂S₃, отличающееся тем, что дополнительно содержит In₂S₃ и GaAs, при следующем соотношении компонентов, мас.%:

GeS2	35,0-45,0
NaCl	10,0-15,0
Ga2S3	15,0-25,0
In2S3	15,0-25,0
GaAs	5,0-10,0