Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика
Иллюстрации
Показать всеИзобретение относится к магнитному датчику, использующему магниторезистивный элемент. Магнитный датчик 10 включает в себя СМР-элементы 11-18 и нагревательные катушки 21-24, служащие в качестве тепловыделяющих элементов. Элементы 11-14 и 15-18 соединяются между собой в виде моста, составляя датчики оси Х и оси Y соответственно. Нагревательные катушки 21, 22, 23 и 24 располагаются рядом с элементами 11 и 12, элементами 13 и 14, элементами 15 и 16 и элементами 17 и 18 соответственно. Нагревательные катушки 21-24 при электрическом возбуждении нагревают главным образом соседние элементы. Поэтому элементы могут нагреваться и охлаждаться в течение короткого периода времени, во время которого может обеспечиваться постоянный геомагнетизм. Данные для компенсации зависящей от температуры характеристики (отношение изменения выходного значения датчика к изменению температуры элемента) получают на основе температур элементов до и после нагревания и выходных значений магнитного датчика до и после нагревания. Затем компенсируются температурные характеристики элементов на основе этих данных. 2 н.п. ф-лы, 18 ил.
Реферат
Текст описания приведен в факсимильном виде.
1. Магнитный датчик, содержащий единственную подложку, множество магниторезистивных элементов, секцию разводки, соединяющую между собой в виде моста упомянутое множество магниторезистивных элементов, и секцию схемы управления для получения при помощи упомянутой секции разводки физической величины, определяемой на основе значений сопротивления упомянутого множества магниторезистивных элементов, и обработки физической величины так, чтобы генерировать выходной сигнал, подлежащий выводу наружу, в котором упомянутый магнитный датчик дополнительно включает в себя множество слоев, наложенных на упомянутую подложку; упомянутые магниторезистивные элементы формируются на верхней поверхности одного из упомянутого множества слоев; упомянутая секция разводки и упомянутая секция схемы управления формируются в упомянутой подложке и упомянутом множестве слоев; и упомянутые магниторезистивные элементы, упомянутая секция разводки и упомянутая секция схемы управления соединяются между собой в упомянутом множестве слоев при помощи секции соединений, сформированной из проводящего материала и проходящей по направлению, пересекающему поверхности слоев упомянутых слоев.
2. Магнитный датчик, содержащий подложку, множество магниторезистивных элементов, расположенных на верхней части упомянутой подложки, секцию разводки, расположенную на верхней части упомянутой подложки и соединяющую между собой упомянутое множество магниторезистивных элементов, и секцию схемы управления для получения при помощи упомянутой секции разводки физической величины, определяемой на основе значений сопротивления упомянутого множества магниторезистивных элементов, и обработки физической величины так, чтобы генерировать выходной сигнал, подлежащий выводу наружу, в котором упомянутое множество магниторезистивных элементов располагается на периферийной части упомянутой подложки, если смотреть сверху; упомянутая секция разводки располагается так, чтобы образовывать, по существу, замкнутую кривую, если смотреть сверху; и упомянутая секция схемы управления располагается, по существу, внутри упомянутой замкнутой кривой, если смотреть сверху.