Патент ссср 233393

Патент ссср 233393

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 233393

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48а, 3/12

Заявлено 07.Х11.1965 (№ 1042996/25-8) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

ЧП1; С 23Ь Д1; 621.357,8.002.52 (088.8) Опубликовано 18.Xll.1968. Бюллетень ¹ 2 за 1969 г.

Дата опубликования описания 14. IV.1969

Авторы изобретения В. А. Брыксин, Ю. М. Ильин, И, П. Коровин и В. П.

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ

Предмет изобретения

Известны установки для электролитического полирования полупроводниковых пластин, содержащие анодный и катодный диски, а также узел подсветки.

В предложенной установке для более равномерного освещения полируемой поверхности изделия катодный диск имеет клиновидные щели, а в качестве осветителя в узле подсветки использована лампа с ультрафиолетовым спектром излучения.

На фиг. 1 схематически изображена описываемая установка; на фиг. 2 — вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез по Б — Б на фиг. 1; на фиг. 4 — узел В на фиг. 1.

Установка для электролитического полирования полупроводниковых пластин состоит из каркаса 1, анодного 2 и катодного 8 дисков, узла 4 подсветки и привода 5.

Полупроводниковые пластины 6, подлежащие обработке, приклеивают токопроводящими клеями к анодному диску 2, изготовленному из коррозионностойкого материала с дополнительным покрытием для защиты от растворения.

Полирование проводят в процессе вращения катодного диска 8 с одновременной подсветкой от лампы 7 узла 4, имеющей ультрафиолетовьш спектр излучения, через клнновидныс щели 8 диска 8. Э 1ектролит к поли руемым образцам подводят по каналам 9 в анодном

5 диске 2. Для подбора необходимой интенсивности освещения при полировании пластин 6 пз различных материалов используют щелевую диафрагму 10 и сменный фильтр 11 в узле 4 подсветки.

10 Такая установка обеспечивает равномерное распределение электрического тока по поверхности полпруемых пластин, непрерывную подачу свежего электролита и улучшение качества обрабатываемых поверхностей.

Установка для электролнтического полирования полупроводниковых пластин, состоящая

20 нз анодного и катодного дисков н узла подсветки, отлича/о цаяся тем, что, с целью обеспечcíèÿ более равномерного освещения полируемой поверхности изделия, катодный диск имеет клиновидные щели, а в качестве освети25 теля в узле подсветки применена лампа с ультрафиолетовым спектром излучения.

233393

Угеп В

Составитель В. Бродский

Редактор И. С. Грузова Техред T. П. Курилко Корректор О. Б. Тюрина

Заказ 498/17 Тираж 427 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2