Устройство для непрерывного контроля и регулирования процесса напыления пленок

Устройство для непрерывного контроля и регулирования процесса напыления пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16.1 l.1967 (№ 1134228/23-5) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.XI.1971. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания Iб,III.1972

Л1ПК б 01Ь 9/00

G 01Ь 11/06

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 678-416:531.717 (088.8) Авторы изобретения

А. Е; Лихтман, А. П. Толдов, Н. А. Колобов, В. В. Чижов и Л, А. Максимова

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НЕПРЕРЫВНОГО КОНТРОЛЯ

И РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК

Известны устройства для непрерывного контроля процесса напыления пленок, содержащие заключенные в камеру напылители, контрольный образец, экран и фотометрическую измерительную систему. Известные устройства не обеспечивают высокой точности контроля процесса напыления пленок.

Предлагаемое устройство для повышения точности контроля снабжено расположенным над контрольным образцом эталонным образцом в виде вращающегося прозрачного диска, связанного с датчиком углового перемещения, и фотометрической измерительной системой, содержащей механический модулятор и образующую два параллельных световых луча диафрагму.

На чертеже показана принципиальная схема устройства.

Устройство для непрерывного контроля и регулирования процесса напыления пленок состоит из заключенных в камеру 1 напылителей 2, контрольного образца 3, экрана 4 и обрабатываемых деталей 5, эталонного образца б, вращающегося от реверсивного электродвигателя 7, на валу которого установлен пот нциометр 8, подающий выходной сигнал на усилитель 9, и фотометрической измерительной системы, содержащей источник света 10, объектив ll, диафрагму 12, механический модулятор 13, призму 14, а также объектив 15 фотодиода 16 и подающего сигнал иа электродвш.атель 7 усилителя 17.

Непрерывный контроль и регулирование процесса напыления пленок происходит сле5 дующим образом.

В камере 1 напылителями 2 наносится пленка на обрабатываемые детали 5 и одновременно через экран 4 на контрольный вращающийся образец 3. Источник света 10 через объек10 тив 11 и диафрагму 12 направляет два параллельных световых луча на эталонный образец б, модулируемых с частотой 50 гц механическим модулятором 13. Одич из лучей проходит через прозрачную часть эталонного образца б, 15 напыленпую часть контрольного образца 3, призму 14, объектив 15 на фотодиод 16, а другой луч проходит через напыленную часть эталонного образца 6, прозрачную часть контрольного образца 3, призму 14, объектив 15

20 па тот же фотодиод 16. При эдентичности наносимой и эталонной пленок сигнал на выходе фотодиода 16 равен нулю. При разбалансе между контрольным и эталонным сигналами сигнал разбаланса через усилитель 17 по25 дается на электродвигатель 7, поворачивающий эталонный образец до тех пор, пока сигнал не будет равен нулю. Таким образом, угол поворота эталонного образца б, который фиксируется патенциометром 8, пропорциона30 лен толщине покрытия. Используя дифферен235339

Составитель М. Каляева

Текред T. Ускова

Корректоры: Е. Миронова и И. Шматова

Редактор Л. Новожилова

Заказ 444!4 Изд. № 147 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раув окая паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 цирующую цепь и усилитель 9, можно не только осуществить измерение скорости, но и ее регулирование, подавая управляюгциi сигнал на нагревательный элемент, нанылнтеля 2.

Предмет изобретения

Устройство для непрерывного контроля и регулирования процесса напыления пленок, включающее заключенные в камеру напылители, контрольный образец, экран и фотометрическую измерительную систему, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено расположенным над контрольным образцом эталонным образцом в виде вращающегося прозрачного диска, связанного с датчиком углового перемещения, и фотометрической измерительной системой, содержащей механический модулятор и образующую два параллельных световых луча диаф10 рагму.