Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 235900

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Coes Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 25.Х11.1967 (№ 1207467124-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 24 1.1969. Бюллетень № 6

Л,ата опубликования описания ЗОВ!.1969

Кл, 27с, 2

Комитет по делам

МПК F 04с

УД!х 621.527.8(088,8) изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

Л. A. Беляев

Заявитель

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЪ|Й ВАКУУМНЪ|Й НАСОС

Известны турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и размещенный в нем на валу роторный барабан с рабочими ,чопатками, чередующимися с укрепленными на внутренней поверхности корпуса направляющими лопатками.

Г!редлагаемый насос отличается от известных тем, что барабан выполнен полым с радиальными внутренними перегородками и ооразует с валом отсеки серповидного сечения.

В каждом отсеке расположена подпружиненная пластина, перемещаемая в косом пазу вала.

С торцов барабан снабжен заборниками чашеобразной формы, открытыми навстречу вращеншо, для подачи газов с лопаток в отсеки.

Вал имеет радиальные отверстия с клапанами, подключенные к выхлопному отсеку, и выполнен полым для отвода газов в атмосферу. При этом вал может быть установлен неподвижно или с возможностью вращения в направлении вращения барабана с иным числом оборотов или в противоположном направлении.

Зтс обеспечивает откачку объема от атмосферного давления.

На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый насос; на фиг. 2 — насос с овальной внутренней полостью барабана, поперечное сечение.

Насос имеет корпус 1, подключенный при помощи патрубка 2 к откачиваемому объему.

При этом насос может быть как двухпоточного, так и однопоточного исполнения.

В корпусе размещен роторный барабан 8 с рабочими лопатками 4, чередующимися с направляющими лопатками 5. Барабан установлен на валу 6 и вращается в подшипниках 7 ст приводной передачи 8. Барабан выполнен

N полым. Полость барабана может иметь форму цилиндра, эксцентрично размещенного относительно оси вала и барабана или форму овала с центральной осью, совпадающей с .осью вала. В последнем варианте обеспечи13 вается лучшая балансировка барабана. Барабан с помощью радиальных перегородок образует с валом отсеки 9 серповидного сечения. В каждом отсеке расположена продольная подпружиненная пластина 10, перемещае20 мая в косом пазу вала. Пластина делит серповидное пространство отсека на две части, одна из которых периодически увеличивающегося, а другая периодически уменьшающегося объема.

25 Откачиваемые газы с лопаток подаются в отсеки с помощью заборников 11 чашеобразной формы, открытых навстречу вращению и расположенных по торцам барабана.

Вал также выполнен полым и имеет ради30 альные отверстия 12 с клапанами 13, соединенные с выхлопным отсеком. Через полость

2359ÎÎ тв тг. т .

15 Фъ„, r

1Z

Ф

Б юг. Г

Тииогрл(1»111, Hp. Слиуиоил, >>

Л зал 11 сжать!с газы Вhlорась1В310Tся В атмосферу. Газы из одного отсска В другой перепус«аются через отверстия И в барабане и каналы 15. Отсеки отделены один от другого унлотиениями 16. Для оптимального подбора и р с г 77 и р 0 в >ч н и я c I(o p o c T I I c ê 0.7 ü æ c H I I ÿ п л а ст и и но зеркалу внутренней повепхности оараоана вал также установлен в подшишшках 17 и приводится во вращение в ту или шгую сторону в зависимости ог потребности увеличения или уменьшения скорости сколь;«ения п73стин при помощи передачи 18. Движение от«11ч !Ваемых газОВ показано на чертежах стрелками.

Предмет изобретения

1. Турбомолекулярныгг вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем на залу роториый барабан с рабочими лопатками, черсдукнцимися с укрепленными на внут!

)СII IIЕЙ ИOВСР ИОCTII ICÎPIIУC3 H3IIP3ВЛSIIOLUIIМИ лопат«ами, отяи гаюгггийся тем, что, с целью обеспечения откачки обтема от атмосферного давления, оарабан Выполнен полым с радиальными внутренними перегородками II образует с валом отсеки серповидного сечения, в каждом из которых расположена продольна»

5 подпружинегшая пластина, перемещаемая г> косом паз вала.

2. Насос по и. 1, от.гичагоа1ийся тем, что бараба11 с торцов снабжен заборниками чашеобразной формы, открытыми навстречу врашени(о, для подачи газов с лопаток в отсеки.

3. Ilacoc по п. 1, orëè((èloùèéñÿ тем, что вал имеет радиальные отверстия с клапанами, подключенные к выхлопному отсеку, и выполнен полым для отвода газов в атмосферу.

4. Насос по п. 1, îr.ãè÷àþùèéñÿ тем, что

15 вал установлен неподвижно.

5. Насос по п. 1, от.гичаюгиийся тем, что вал установлен с возможностью вращения в направлении, обратном направлению вращения барабана. б. Насос по п. 1, от.гггчаюгггийся тем, что В3,7 установлен с возможностью вращения в напраьлении вращения барабана с иным шелом оборотов.

Состлиlггс,>11> T Рабчук! (,;л«гор Э. Рубаи 1 скрсд А. А. Кл(>>ышиикоаа

Е:»;pc«n>p С. М. Сигал никла >З!1>,14 1ирл>к 480 По,тиисиос ! !1!!1!1111! 1(о>и((сl lл 170 дслл>и изобр I cииб H î I(pl 1(HII ири Соистс Ми»астро(1 СССР .(1ос1<ил, Цситp. Hp. Ссроил, д.