Вакуумная установка
Иллюстрации
Реферат
235902
ОП ИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
1хл. 27d, 3/04
481ц 13,. 00
Заявлено 07.Xll.1967 (№ 1201368/24-6) с присоединением заявки ¹
Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР.ЧПК F 041
С 23с
УДK, 621.527.8:539.231 (088.8) Приоритет
Опубликовано 24.I.1969. Бюллетень № 6
Дата опубликования описания ЗОХ1.1969
Авторы изобретения
М. М. Некрасов, А. Г. Запорожец и В. А, Гусев
Киевский ордена Ленина политехнический институт
Заявитель
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ласти плиты и часть трубопровода заключены в кожух 5, заполненный инертным газом под давлением выше атмосферного. При этом кольцевые эластичные прокладки 6 кожуха в местах его примыкания к камере и трубопроводу одновременно служат предохранительными клапанами для сброса избыточного давления инертного газа в атмосферу. Кожух, заполненный инертным газом, позволяет также уменьшить окисление масла и увеличить срок службы диффузионного насоса. С этой же целью рекомендуется осуществлять многократную продувку рабочего объема инертным газом (аргочом, неоном и т. п.). В результате этого в рабочем объеме уменьшается количество газов, могущих оказать влияние иа проведение технологических операций и качество получаемых и исследуемых пленок.
15
Вакуумная установка для проведения технологических операций, например напыления пленок, содержащая рабочую камеру, под25 ключенную при помощи трубопровода к диффузионному насосу, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения натекания в камеру газов, оказывающих влияние на технологические операции, нижняя часть камеры и трубоиро30 вод закгпочены в кожух, заполненный инертИзвестны вакуумные установки для проведения технологических операций, например напыления пленок, содержащие рабочую камеру, подключенную при помощи трубопровода к диффузионному насосу.
Предлагаемая установка отличается от известных тем, что ни>княя часть камеры и трубопровод заключены в кожух, заполненный инертным газом, например аргоном. Ко>кух в местах, примыкающих к камере и труоопроводу, снабжен эластичными кольцевыми прокладками, служащими одновременно предохранительными клапанами для сброса Ilaбыточиого давления инертного газа.
Это уменьшает натеканпе в камеру газов, например Оз, 1-1,0, СОе, оказывающих влияние на техиолоптческие операции. Указанные газы, взаимодействуя с молекулами Hàïûë51емого вещесгва, изменяют структуру пленок.
Иа черте>ке схематически изображена предлагаемая установка.
Рабочая камера установки имеет колпак 1 и плиту 2, подключенную при помощи трубопровода 8 к диффузионному насосу (на чертеже не показан). Все вводы 4 в рабочую камеру (токовые, газовые, механические) смонтированы иа плите, и через неплотности в рабочий объем могут проникать газы, оказывающие на проводимые технологические операции вредное влияние. Поэтому камера в обПредмет изобретения
235902
Составитель Т. Рабчук
Текрсд А. Л. Камышникова
1 сдяктор 3. Рубан
1(орректор С. М. Сигал
3,!;ÿç ь05116 Тираж 480 Подписное
Ц111111ПИ 1(огиитетя по делам изобретен!ш и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 иым газом, например аргоном, и снабжеииы11 в мсстак, примыка1ощик к камере и трсоопроводу, э,1астичными кольцевыми! прокладками, служащими одновременно предохранительными клапанами для сброса избыто13ого
1IB, Iñí1!51 инертного газа.