Способ измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления

Способ измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

т

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

238169

Союз Соввтскив

Социалистические

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от а|вт. свидетельства ¹

Заявлено 02.III.1967 (№ 1137421/25-28) с присоединением заявки ¹

Пр,иоритет

Опубликовано 20.11.1969. Бюллетень ¹ 9

Дата опубликования описания 9Л 11.1969

Кл, 42Ь, 11

МПК G 01Ь

УДК 531.717.11:658. .562.62 (088.8 ) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. А, Дарвин и И. M. Каплан

Минский радиозавод

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК

В ПРОЦЕССЕ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Предмет изобретения

Известны способы измерения толщины пленки, нанесенной на, кварцевый резонатор с .помощью двух кварцевых генераторов,,и о толщине пленки судят по приращению частоты на выходе кварцевого резонатора.

Предложенный способ измерения отличается от известных тем, что, с целью упрощения процесса измерения, для определения толщины плеяки регистрируют .приращение напряжения на выходе кварцевого резонатора.

На чертеже изобра кена блок-схема устройства для измерения толщины, пленки предложенным способом.

Измеряют толщину тонкой пленки следующим образом.

Напряжение с кварцевого резонатора 1 генератора 2 подается на усилитель 8. Выходное на пряжение с усилителя т преобразуется в постоянное детектором 4 и подается на измерительный прибор 5. Одновременно на измерительный прибор 5 подается постоянное, регулируемое сопротивлением 6, напряжение с блока, 7 питания. Величину этого напряжения устанавливают такой, чтобы измерительный прибор 5,показал нуль. При нанесении тонкой пленки на кварцевый резонатор 1 напряжение на выходе резонатора 1 меняется пропорционально толщине пленки, Это изменение напряжения фиксирует измерительный приоор 5.

5 В предложсHHом способе измерения тîт щины тонких .пленок используют кварцевые резонаторы с частотой резонанса 50 — 100 кги, а схему генератора 2 выбирают такой, чтобы напряжение на выходе кварцевого резонатора

10 изменялось пропорционально изменению напряжения на входе генератора 2,и блока питания.

Ре гистрация приращения напряжения на выходе кварцевого резонатора упрощает про15 цесс измерения.

Способ измерения толщины тонких пленок

20 в процессе их изготовления, заключающийся

B том, что измеряют сипнал на выходе кварцевого резонатора, соприкасающегося с пленкой, отлипаюитийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, регистрируют

25 приращение напряжения на выходе кварцевого резонатора.

238)69

Составитель В. Мартынов

Редактор В. Кузнецов Техред T. П. Курилко Корректор С. М. Сигал

Заказ 1458il6 Тираж 480 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2