Способ защиты дифракционных решеток
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сок1з Советских
Социалистических
Республик
Завис1мое от авт. свидетельства ¹
Кл, 48, 14
Заявлено 25. Л1.1966 (¹ 1094159/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 18.111.1969. Бюллетень ¹ 11
Дата опубликования описания 11Л I I I.1969
МПК С 23с
УДК 621.793.14 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытии при Совете Министров
СССР lI%" . Ы
Лвторы изобретения
В. Б. Знаменский и В. И. Лапшин
Заявитель
СПОСОБ ЗАЩHThl ДИФРАКЦHOHHblX PEIIIETOI(после нанесения слоя алюминия нарезают штр11хи 11 1тешетк подвергаlот окс1!дированиго
3.-,cI Tpo. II!TO,:-:апр11мер в 0,5,„ -Hoi! растворе двухзамещснного фосфорнокислого аммония.
5 Процесс оксидирован;гя проводят с соблюдением требований, предусмотренных руководством для алюминирования зеркал. Рабочее напряжение при оксидировангш изменяют с целью получения защитного слоя разной тол10 щины. Наприм"р, для образования слоя двуок:!c!I асиоминич толщиной 0,2 .11к напряжение
3 Ucl!!I уcT3новки должно obITb порядка 120 гз.
Полученные слои двуокиси алюминия на дийгракционных решетках со слосм алюминия
15 толщиной от 0,5 до 5 з:к достаточно про шы и устойчивы и чистке поверхности решеток.
Способ защиты дифракционных решеток путем получения защитной пленки, нанесенной на ciaoé алюминия, от.гичиющийся тем, что с целью равномерности нанесения и повышения
25 прочности, слой алюмиьигя наносят на подслой тигана и пос lo нарезки штрихов решетку оксидируют в электролите, например в 0,5", „-ном растворе двухзамещенного фосфорнокислого аммония.
Способы защиты оптических деталей путем получения защитной пленки, нанесенной ча слой алюминия, известны.
Особенностью предложенного способа является то, что слой алюминия наносят на подслой титана и после нарезки штрихов решетку оксидируют в электролите, например в 0,5",,— ном растворе двухзамещенного фосфорнокислого аммония. Зто обеспечивает равномерное нанесение защитного слоя и повышение его прочности.
Для нанесения подслоя íà поверхность решетки испаряют титан в двух вольфрамовых лодочках размером 50Х10><0,05 мм, вставленных одна в другую. Загруженные титаном лодочки прокаливают при вакууме не менее
5,10 мм рт. ст. С началом испарения титана вакуум улучшается, так как титан поглощает остаточные газы. Поддерживают испарение титана при напряжении 36 в и токе 120 а.
Требуемая толщина подслоя титана порядка 1000 — 2000A.
Нанесение подслоя контролируют путем регистрации количества испарившегося вещества и фотоэлектрическим методом — пропусканием света через подложку (решетку), После испарения титана сразу же испаряют алюминий, доводя толщину его слоя до размеров, предусмотренных руководствами. Затем
Предмет изобретения