Устройство для нагрева подложек

Устройство для нагрева подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

240059

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 14.I I.1968 (№ 1218375/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 21.111.1969. Бюллетень ¹ 12

Дата опубликования описания 19Х111.1969

Кл. 21а4, 75

МПК Н 05k

УДК 621.78.06 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ври Совете Министров

СССР д- !

А. A. Романов, А. А. Андреев н В. Н. Козлов - /

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАГРЕВА ПОДЛОЖЕК

Известны устройства для нагрева подложек, содержащие нагреватель и металлическое основание. Однако они не обеспечивают постоянной и îднородной температуры подложки.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что в нем между основанием и подложкой .помещен слой легкоплавкого материала.

Это о беспечивает постоянную однородную температуру подложки.

На чертен(е изображена KoHcTpукция предлагаемого устройства.

Подложка 1 прикреплена удголкам и 2 к массивному основанию 8, а между основанием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкого материала 4 (например олова или галлия). При нагревании основания материал плавится и заполняет микронеровности на обеих поверхностях, обеспечивая тепловой контакт по всей поверхности подложки, что приводит к быстрому ее разогреву.

Расплавленный материал (металл) удерживается между подложкой и основа инеем силами сцепления и поверхностного натяжения.

Предмет изобретения

Устройство для нагрева подложек в вакууме, содержащее нагреватель и металлическое основание, параллельно которому расположена подложечка, отличающееся тем, что, с целью

15 обеспечения постоянной и однородной температуры подложки, между основан ием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкого матери ал а.

240059

Составитель В. Василькевич

Техред T. П. Курилко Корректор А. С. Колабин

Редактор В. Кузнецов

Типография, пр, Сапунова, 2

Заказ 1808/l3 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4