Раствор для травления моноокиси кремния
Иллюстрации
Показать всеРеферат
В» . гооi . я f. еатйнтн240792
ОПИСАНИЕ
ИЗОВЕИТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства Л
Заявлено 25.Х.1967 (№ 1193778г26-9) Кл. 21а4, 75
48dI, 1/00 с присоединением заявки №
Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Приоритет
Опубликовано 01.IV.1969. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 26Х1П.!969
МПК Н 05k
С 23f
УДК 621.3.049.75:774 (088.8)
62! .794.422. 7 (088.8) Авторы изобретения
Д. И. Гериц и В. А. Седол
Заявитель
РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МОНООКИСИ КРЕМНИЯ
Предмет изобретения
Известен раствор для травления моноокпсп кремния, используемый, например, при изготовлении элементов печатных схем, содержащий фтористоводородную кислоту и фтористый аммоний.
Цель изобретения — увеличение скорости процесса травления и повышение качеств» вытравливаемых фигур.
Достигается это, тем, что в раствор, содержащий 2 — 22 вес. ч. 48%-ной фтористоводородной кислоты, 6 — 36 вес. ч. фтористого аммония и 12 — 108 вес. ч. воды, добавляют
201 — 22 вес. ч. 30%-ной перекиси водорода.
Раствор не разрушает защитную пленку фоторезиста, используемую в качестве маски в процессе травления. Это улучшает качество вытравливаемых фигур на поверхности пленки моноокиси кремния, скорость травления при этом увеличивается в 30 — 40 раз. Раствор может быть использован при изгоговлении соединительных проводников многослойных пленочных схем и конденсаторов с диэлектриком из моноокиси кремния.
Раствор для травления моноокиси кремния, используемый, например, при изготовлении
10 элементов печатных схем, содержащий фтористоводородную кислоту и фтористый аммоний, от.гичпющайся тем, что, с целью увеличения скорости процесса травления и повышения качества вытравлпваемых фигур, в paIs створ, содержащий 2 — 22 вес. ч. 48%-ной фтористоводородной кислоты, 6 — 36 вес. ч. фтористого аммония и 12 — 108 вес. ч. воды, добавляют 201 — 22 вес. ч. 30%-ной перекиси водорода.