Патент ссср 241546
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
24I546
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 09.111.1967 (№ 1138075/26-,25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 07.Х.1969. Бюллетень ¹ 31
Дата опубликования описания З.III.1970
Кл 21g, 11/02
21О, 35
МПК Н 01!
Н 051
УДК 621.382:537.312.8 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
6С- L1 10344 и ,{1 пл1нпнО- )
Ti ХНИЧЕС1, ЛЯ ь 116. 1110ТС11
Авторы изобретения
P. М. Бабаев, В, И. Тихонов, М. Д. Хлыстовская и Л. Е. Дмитриева
Заявитель
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК Э.Д.С. ХОЛЛА
Известны датчики э.д.с. Холла, выполненные на основе германия, кремния, арсенида индия и арсенида галлия, у которых одна из характеристик датчика, чаще всего постоянная Холла Ra слабо зависит от температуры, температурная же зависимость коэффициента передачи по напряжению, равного отношению э.д. с., возникающей на контактах Холла, к приложенному напряжению сравнительно велика.
Вместе с тем .в большинстве различных случаев применения датчиков Холла требуется, чтобы именно этот параметр обладал минимальной температурной зависимостью.
Предложено изготовлять датчики Холла на основе полупроводникового твердого раствора In> х Gax AS, где Х=0,15 — 0,20. Датчики э. д. с. Холл а, изготовленные из этого м атериала, обладают большой вольтовой чувствительностью, малым температурным коэффициентом постоянной Холла, а сопротивление такого датчика практически не изменяется во всем рабочем диапазоне температур, вследствие чего коэффициент передачи по напряжению слабо зависит от температуры. Таким образом, все важнейшие параметры такого датчика Холла являются температурно-устойчивыми, и его можно использовать в точных
5 измерительных и электронных устройствах, работающих в широком диапазоне температур окружающей среды, причем не требуется принятия специальных мер для компенсации температурных изменений характеристик дат10 чика.
Технология изготовления этих датчиков достаточно проста. Омические контакты к полупроводниковой пластине изготовляются пайкой оловом или индием с помощью обыч15 ных флюсов.
Предмет изобретения
Полупроводниковый датчик э. д. с. Холла, отгичаюитийся тем, что, с целью повышения
20 температурной стабильности его основных характеристик, например коэффициента передачи по напряжению, он изготовлен на основе твердого раствора In> х Gax AS, где X=0,15—
0,20.