Вакуумный шлюз

Вакуумный шлюз

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 47f, 21/04

3 аявлено 02. I I.1968 (№ 1213867/25-8) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 05Х.1969. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 15.IX.1969

Комитет по делам мобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК F 161

УДК 621.867.81.068. .5(088.8) Авторы изобретения, т

А. В. Пушкарев, Я. M. Спектор и С. А. Балдин

Заявитель

ВАКУУМН bl É ШЛ ЮЗ зпрующем элементе выполнена полость 4 для уста.- овки образца, в неподвижном элементе— каналы 5, связывающие с вакуумом полость установки образца при проводке его через

5 шл1оз и кольцевую полость б между уплотнениями 7.

10 Вакуумный шлюз, содержащий помещенные в общем корпусе подвижный и неподвижный герметизирующие элементы, отличаюитийся тем, что, с целью упрощения конструкции, его герметизирующие элементы выполнены в

15 виде двух полуцилиндров, притертых друг к другу по,плоскости разъема, причем подвижный герметизирующий элемент имеет полость для установки образца, а |неподвижный — каналы, связывающие с вакуумом полость уста20 новки образца при проводке его через шлюз и кольцевую полость между уплотнениями.

Извест|ны вакуумные шлюзы, содержащие помещенные в общем корпусе подвижныи и неподвижный герметизирующие элементы, Предлагаемый шлюз проще и отличается от известных тем, что его герметизирующие элементы выполнены в виде двух полуцилиндров, притертых один к другому по плоскости разъема, причем подвижный герметизирующий элемент имеет, полость для установки образца, а неподвижный — каналы, связывающие с вакуумом полость установки образца при проводке его через шлюз и кольцевую полость меткду уплотнениями.

На чертеже схематично изображен предлагаемый шлюз в продольном разрезе, а также подвижный и неподвижный полуцилиндрические герметизирующие элементы в поперечном разрезе.

Шлюз содержит помещенные:в общем коргусе 1 подвижный 2 и неподвижный 8 герметизирующие элементы. В,подвижном герметиПредмет изобретения

243357

Составитель В. А. Туркин

Редактор Т, 3. Орловская Техред T. П. Курилко Корректор А. Б. Родионова

Заказ 2282, 10 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2