Оптическая система микроскопа

Оптическая система микроскопа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

И " ","Д "Н И Е 245402

О П

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сова Советских

Социалистических

Респуолик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт, свидетельства №

Кл. 4211, 3/01

Заявлено 01.Х.1967 (№ 1194204/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04Х1.1969. Бюллетень № 19

МПК G 02Ь

УДК 535.284.281(088 8) Комитет но делам иаобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 23.Х.1969

Автор изобретения

В. А. Панов

Заявитель

ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА МИКРОСКОПА

Исследуемый образец 1 находится в передней фокальной плоскости зеркального объектива 2, расположенного в вакууме, и изображается этим объективом на бесконечность.

С помощью полупрозрачного зеркала 3 световые лучи отклоняются на защитное вакуумное стекло 4 и затем направляются в тубус микроскопа. В тубусе размещена дополнительная система из трех компонентов 5, б и 7.

Первые два из этих положительных компонентов образуют телескопическую систему с телецентрическим ходом лучей, непосредственно за которой после отклоняющего зеркала 8 может находиться система 9 переменного увеличения. Положительньш компонент 7 дополнительной системы располагается перед приемником излучения, в качестве которого может быть применен, например, тринокуляр

10. Осветительная система может быть выполнена, например, в виде блока 11 по Келлеру с отражающим зеркалом 12. Как в известных электрозондовых установках размещена электроннолучевая трубка 18.

1. Оптическая система микроскопа, например, для электронных микрозондовых установок, содержащая размещенную между объективом микроскопа и приемником излучения, например окуляром, трехкомпонентную сиИзобретение относится к области микроскопического анализа различных материалов, в частности к системам, обеспечивающим микроскопическое наблюдение за образцами, подвергаемыми электронной бомбардировке. 5

Известные оптические систем ы микроскопов, в которых между объективом и приемником излучения, например окуляром, размещены дополнительные трехкомпонентные системы, требуют значительного увеличения га- 10 баритов для передачи переменного масштаба изображения, так как дополнительная оптическая система в них представляет собой систему Галилея, а значит увеличивает и без того большие световые диаметры следующих 15 за ней оптических элементов.

Предлагаемая оптическая система микроскопа отличается от известных тем, что первые два компонента дополнительной системы, образующие телескопическую систему с теле- 20 центрическим ходом лучей, положительные, а третий компонент, также положительный, расположен перед приемником излучения.

Систему переменного увеличения целесообразно размещать непосредственно за 25 телескопической системой с телецентрическим ходом лучей.

На чертеже изображена принципиальная схема оптической системы микроскопа в случае его сочетания с микрозондовой установ- 50 кой, Предмет изобретения

245402

1 (1

1 г ч ) Составитель Ю. М. Ферштман

Редактор Н. Я. Кузнецова Текред Л. Я. Левина Корректоры; А. Николаева и Л. Корогод

Заказ 2667/15 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 стему, два компонента которой образуют телескопическую систему, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения передачи переменного масштаба изображения предмета на приемник излучения без увеличения габаритов системы, первые два компонента дополнительной системы, образующие телескопическую систему с телецентрическим ходом лучей, положительные, а третий компонент, также положительный, расположен перед приемником излучения.

2. Оптическая система микроскопа по п. 1, отличающаяся тем, что непосредственно за телескопической системой с телецентрическим ходом лучей размещена система переменного увеличения,