Патент ссср 245515
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
245 5l5 бова боеетокйа
Социавиотичеокик
Реоауйлкк
Во:СОЮЗКИ Я
ПАТЕНТНОТЕХНИЧЕСКАЯ
БИБЛИОТЕКА
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 02.XI I.1967 (№ 1200668i26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04Х!.1969. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 12.XI.1969
Кл
-48Ь, 42о, 10 vI(1K С 23с
G 01(3
УДК 621.793.12:681..118.4 (088.8) йомитет AO делам каооретений H открытий ори Совете Министров
СССР
Авторы изоорстения
К. H. Шихаев, А. T Жигалов, В. В. Устинов, A. И. Доценко, А. А, Гришин, Л. В. Белов, О. П. Синалеев, М. В. Сысоенков, С. М. Мустафин и В. Н. Афанасьев
Центральный научно-исследовательский технологический институт
3 аявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
Известны устройства для измерения скорости нанесения пленок при термическом испарении материалов в вакууме, содержащие модулятор ионизирующего потока электронов и регистрирующий прибор.
Цель изобретения — повысить точность измерения.
Достигается это тем, что в предложенном устройстве рабочий обьем вакуумной камеры разделен на четыре сектора, каждый из которых снабжен модулятором потока электронов и коллектором электронов, коллекторы электронов соединены между собой попарно и подключены через дифференциальный усилитель к регистрирующему прибору.
Конструкция устройства изображена на чертеже.
В вакуумном объеме на пути потока молекул испаряемого материала помещен вольфрамовый катод 1. С двух сторон катода установлены два решетчатых модулятора 2 и 8, к которым подключен источник 4 модулирующего напряжения. Напряжение на модуляторы 2, 8 подается в противофазе. На некотором расстоянии от модуляторов помещены четыре коллектора 5 — 8. Переменное электрическое поле модуляторов заставляет тепловые электроны, эмиттируемые катодом 1, двигаться попеременно то в сторону модулятора 2 (в отрицательный полупериод напряжения), то в сторону модулятора 8 (в положительный полупериод напряжения). При этом часть электронов пролетает через решетку модуляторов и попадает в пространство между модуляторами
5 2, 8 и коллекторами 5 — 8. Это пространство с помощью экранов 9 разделено на четыре равных сектора 10 — 13. В каждом секторе размещен один из коллекторов 5 — 8.
Для питания катода служит источник И, 10 соединенный cG стабилизатором 15 тока эмиссии.
В положительный полупериод напряжения, приложенного между катодом и модуляторами, электрическое поле направлено от моду15 лятора 2 к модулятору 8, а электроны, эмиттированные катодом, под воздействием поля двигаются от катода в сторону модулятора 2, навстречу полю, и часть по инерции пролетает через решетку модулятора в секторы 10, 11.
20 В отрицательный полупериод напряжения, приложенного между катодом и модуляторами, электрическое поле направлено от модулятора 8 к моду,лятору 2. При этом электроны, эмиттированные катодом, под воздействи2S ем поля двигаются от катода в сторону модулятора 8, навстречу полю, и часть их по инерции пролетает через решетку модулятора 3 в секторы 12 и 18.
Коллектор 5 соединен с коллектором 7, а
30 коллектор б — с коллектором 8. Каждая па245515
Составитель Н. Давыдов Корректоры: А. Абрамова и Л. Корогод
Редактор Л. Калашникова
Тираж 480
Заказ 2680/12
Подписное
ЦНИИПИ
Типография, пр. Сапунова, 2 ра соединенных между собой коллекторов подключена к соответствующему входу дифференциального усилителя 1б, на выходе которого включен регистрирующий прибор 17.
Секторы 11 и 12 закрыты от потока напыляемых частиц маской 18, . секторы 10 и 1 оставлены открытыми. Таким образом, в секторах 11 и 12 находятся молекулы остаточных газов, а в секторах 10 и 18 — молекулы испаряемого вещества и остаточных газов.
В положительный период напряжения в результате неупругого соударения электронов, пронизывающих сектор 11, с молекулами остаточных газов в этом секторе появляются положительные ионы, которые попадают нч коллектор б. В то же время электроны, пронизывающие сектор 10, вызывают ионизацию молекул испаряемого вещества и остаточного га. за, при этом положительные ионы попадают на коллектор.
B отрицательный полупериод напряжения в секторе 12 происходит ионизация остаточных газов, а в секторе 18 — молекул испаряемого вещества и остаточного газа, в результате чего положительные ионы попадают на коллекторы 7, 8.
На входе усилителя 1б появляется напряжение переменного тока. При этом поскольку коллектор 5 соединен с коллектором 7, а коллектор б — с коллектором 8, ток, обусловлснный суммарной йонизацией молекул пспаряе. мого вещества и остаточных газов (например, сектора 10), находится в противофазе.
Таким образом, напряжение на выходе диф5 ференциального усилителя 1б представляет собой разностный сигнал, в котором исключена составляющая напряжения, обусловленная ионизацией молекул остаточных газов, Благодаря этому повышается точность измерения
10 скорости нанесения пленок и расширяется диапазон измерения скорости вследствие повышения чувствительности прибора и увеличения отношения уровня полезного сигнала к уровню помехи.
Предмет изобретения
Устройство для измерения скорости нанесения пленок при термическом испарении мате.
20 риалов в вакууме, содержащее модулятор ионизирующего потока электронов и регистрирующий прибор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, рабочий объем вакуумной камеры разделен на че.
25 тыре сектора, каждый из которых снабжей модулятором потока электронов, и коллектором электронов, а коллекторы электронов соединены между собой попарно и подключены через дифференциальный усилитель к регист«чп рирующему прибору.