Патент ссср 247263

Патент ссср 247263

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

247263

Союз Соеетскит

Социалистическиз

Республив

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 12.VI.1967 (№ 1163709/23-26) Кл. 121, 33/12 с присоединением заявки №

Комитет по волам

Приоритет

Опубликовано 04.VII.1969. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 9.XII.1969

МПК C 011з

УДК 66.023.546.284 (088.8) изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

АМПУЛА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНООКИСИ КРЕМНИЯ

Предмет изобретения

Изобретение относится к изготовлению оптических тонкослойных покрытий, а именно к ампулам для получения моноокиси кремния.

Известны ампулы, предназначенные для указанных целей, выполненные в виде трубки с заглушенными концами. После загрузки смеси порошка трубка запаивается, Такие ампулы не дают большого выхода продукта из-за невозможности нагрева до,необходимой высокой температуры; кроме того, они имеют одноразовое использование, так как после получения моноокиси кремния ампулу разбивают.

Отличительной особенностью предлагаемой ампулы является то, что концы трубок снабжены притертыми крышкой и тиглем из тугоплавкого материала, а внутренняя поверхность трубки — ловушками.

На чертеже изображена ампула. Она состоит из кварцевой трубки 1 с впаянными внутрь кварцевыми ловушками 2, притертой .кварцевой крышки 8 и притертого реакционного тигля 4 из тугоплавкого инертного материала, например корундиза. Впаянные ловушки предотвращают попадание пленок и кусков моноокиси кремния обратно в реакционный тигель 4.

Тигель, в который загружается смесь тонкоразмельченных порошков оптически прозрачных кварца и кремния, подсоединяется к ампуле с закрытой крышкой 8. Ампула с тиглем помещается в рабочую камеру печи, например

ТВВ-4. При достижении вакуума порядка

5 10 л м рт. ст. включается печь, и темпер атур а посте пенно доводится до 1350 — 1400 С.

В этой температурной зоне, находится тигель

4 со смесью порошков, а в верхней части ампулы с крышкой 8 температура не превышает

1О 500 С, что обеспечивает полную конденсацию паров моноокиси кремния. При необходимости и по мере расхода реакционной смеси в тигель добавляется исходная смесь порошков.

Получаемый продукт — темного цвета, стек15 лоподобен. Выход моноокиси кремния около

83% от теоретического.

Ампула для получения моноокиси кремния, выполненная в виде трубки, с заглушенными концами, отличающаяся тем, что, с целью повышения выхода продукта и многократного ее

25 использования, концы трубки снабжены притертыми крышкой и тиглем из тугоплавкого материала, а внутренняя поверхность трубки— лову ш к ам и.

247263

Составитель В. Г. Постыляков

Редактор Д. М. Лопотко Техред T. П. Курилко Корректор С. М. Си.-ал

Заказ 3084/18 Тиран 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр Сапунова, 2