Сформированная в виде тонкой пленки подложка, органическое электролюминесцентное устройство отображения, подложка цветного фильтра и способ изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки

Сформированная в виде тонкой пленки подложка, органическое электролюминесцентное устройство отображения, подложка цветного фильтра и способ изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Настоящее изобретение относится к сформированной в виде тонкой пленки подложке, органическому электролюминесцентному (в дальнейшем также называемому органическим EL) устройству отображения, подложке цветного фильтра и способу изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки. Более конкретно настоящее изобретение относится к сформированной в виде тонкой пленки подложке, органическому EL устройству отображения, подложке цветного фильтра и способу изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки, которые при их изготовлении дают возможность целесообразного использования такой машины для нанесения покрытий, как устройство струйной печати.

Предшествующий уровень техники

Технологии производства пленок часто используются при изготовлении устройств отображения, например при формировании полупроводниковых слоев. В частности, технология производства пленок с использованием устройства струйной печати (способ струйной печати) используется при производстве органических EL слоев для органических EL элементов, слоев цветного фильтра для подложек цветного фильтра и таких действующих тонких пленок, как разводки схемных проводников для подложек с металлическими соединениями. Способ струйной печати позволяет легко настраивать толщину тонких пленок и легко реагировать на расширение области по сравнению с такими твердофазными способами, как напыление. Кроме того, способ струйной печати предоставляет высокий коэффициент использования материалов и, следовательно, позволяет сокращать издержки.

В целом, в способе струйной печати применяется действующая жидкость, содержащая действующий материал (материал тонкой пленки) и растворитель, а затем растворитель удаляется для того, чтобы оставить действующую тонкую пленку. Если растворитель испаряется в головке и вследствие этого действующий материал или подобное выпадает в осадок в процессе выталкивания жидких печатающих капель, то могут возникать такие дефекты выталкивания, как выталкивание капель на поверхность в различных позициях или различное количество выталкиваемых капель. Кроме того, вследствие различной точности выталкивания или объема выталкивания сопел устройства струйной печати не обеспечивается получение функциональных тонких пленок, имеющих желаемую толщину пленки, или толщины пленок функциональных тонких пленок могут быть различными.

Таким образом, в способе струйной печати обычно используется процесс применения действующей жидкости к областям, разделенным посредством частей, называемых разделителями. Например, в патентном документе 1 раскрывается технология заполнения действующей жидкостью областей, разделенных посредством разделителей и формирование разводок схемных проводников. В этой технологии требуется, чтобы были сформированы разделители, соответствующие разводкам схемных проводников, и, таким образом, все еще имеется возможность для усовершенствования в том смысле, что является трудным формирование при этой технологии сложных разводок схемных проводников или устройства с высокой разрешающей способностью. При этом в каждом из патентных документов 2 и 3 раскрывается технология укладки лиофильного разделителя и лиофобного разделителя. Что касается этой технологии, имеется возможность для усовершенствования в том, что при поверхностной обработке разделителя, уложенного с верхней стороны, действие разделителя, расположенного под ним, сводится на нет и, таким образом, не обеспечивается достаточная эффективность. В патентном документе 4 раскрывается органическое EL устройство отображения, в котором органический EL слой сформирован в области, разделенной посредством уложенных друг на друга лиофильного первого разделителя и лиофобного второго разделителя. В этой технологии имеется возможность для усовершенствования в том смысле, что транспортный слой инжекции электронов не может полностью закрываться средним слоем и светоизлучающим слоем, которые должны наноситься на транспортный слой инжекции электронов в связи с тем, что транспортный слой инжекции электронов прикрепляется на поверхность стенки разделителей или на разделители, а неполное покрытие вызывает прямой контакт между транспортным слоем инжекции электронов и катодом, в результате чего действие органического EL слоя уменьшается.

[Патентный документ 1]

Японская Публикация Kokai Номер 2007-95729

[Патентный документ 2]

Японская Публикация Kokai Номер 2007-280866

[патентный документ 3]

Японская Публикация Kokai Номер 2008-4376

[Патентный документ 4]

Японская Публикация Kokai Номер 2005-362799

Раскрытие изобретения

В дальнейшем в этом документе будут описываться проблемы в обычных подложках, имеющих в составе тонкую пленку, с образцом органического EL элемента. Органический EL элемент имеет структуру, в которой органический EL слой, включающий в себя, по меньшей мере, светоизлучающий слой, помещен между анодом и катодом и расположен в области пиксела, окруженного разделителем. Более того, в органическом EL элементе, обычно, имеются такие органические слои, как слой инжекции электронов, транспортный слой несущей (электрон-транспортный слой, дырочно-транспортный слой), и слой инжекции дырок, а также светоизлучающий слой. Обычно транспортный слой несущей разрабатывается таким образом, чтобы иметь более низкое сопротивление и более высокую проводимость, чем светоизлучающий слой для того, чтобы позволить применение достаточного электрического поля к светоизлучающему слою. Кроме того, для предотвращения прохода несущих через светоизлучающий слой без содействия световому излучению, слой блокирования несущей, который является действующим материалом для захвата несущих в пределах светоизлучающего слоя, может быть сформирован между транспортным слоем несущей и светоизлучающим слоем. Обычно, такой слой блокирования несущей имеет низкую проводимость и, следовательно, во многих случаях имеет намного меньшую толщину, чем светоизлучающий слой. Поскольку органический EL элемент формируется посредством наслаивания тонких пленок (органических EL слоев) вышеупомянутым способом, то, в частности, для такого органического EL элемента трудно иметь однородно управляемые толщины пленок, по сравнению с подложками цветных фильтров и разводками схемных проводников.

Далее, будет описан случай, в котором дырочно-транспортный слой и светоизлучающий слой наслаиваются последовательно посредством применения действующих жидкостей к каждой области пиксела, окруженной посредством разделителя, способом струйной печати. В данном случае аноды уже сформированы в областях пикселов. Во-первых, действующая жидкость, содержащая материал для инжекции дырок и растворитель, наносится на каждый анод, а затем растворитель удаляется посредством сушки и нагревания таким образом, чтобы на аноде был сформирован дырочно-транспортный слой. Затем действующая жидкость, содержащая светоизлучающий материал и растворитель, эжектируется на дырочно-транспортный слой. В это время действующая жидкость может не удерживаться в достаточной степени в пределах области, окруженной посредством разделителя, в зависимости от формы разделителя, и в результате возможно неполное покрытие действующей жидкостью дырочно-транспортного слоя и анода. В этом случае часть анода и дырочно-транспортного слоя оказываются открытыми. Если катод формируется на светоизлучающем слое в таком состоянии посредством такого способа, как вакуумное осаждение, то катод соприкасается с дырочно-транспортным слоем и анодом непосредственно без вставленного между ними светоизлучающего слоя в частях, где дырочно-транспортный слой и анод оказываются открытыми. В этих соприкасающихся частях несущие не могут содействовать излучению света в случае, когда свет излучается посредством приложения электрического тока к органическому EL элементу, и вследствие этого эффективность применения электрического тока уменьшается. Уменьшение вызывает такие проблемы, как уменьшение в яркости, выделение тепла и увеличение потребления энергии, что приводит к большим проблемам, касающимся эффективности использования энергии или срока службы элемента. Следовательно, является предпочтительным, чтобы дырочно-транспортный слой и анод полностью закрывались светоизлучающим слоем. Подобным образом, вышеупомянутые проблемы возникают в структуре, в которой электрон-транспортный слой расположен между катодом и светоизлучающим слоем, если существует соприкосновение, без вставленного светоизлучающего слоя между анодом и катодом, между дырочно-транспортным слоем и электрон-транспортным слоем, между дырочно-транспортным слоем и катодом или между электрон-транспортным слоем и анодом.

В структуре, в которой каждый из пикселов огражден (секционирован) посредством частей разделителя, действующая жидкость должна выталкиваться в соответствующие пикселы и удерживаться в соответствующих пикселах. В данном случае поскольку сопла могут выталкивать различный объем капель, благодаря различным размерам сопел, создаваемым при производстве, то вследствие этого объем наносимой действующей жидкости может различаться от пиксела к пикселу. Кроме того, если позиция, в которой выталкивается капля действующей жидкости, случайно оказывается перемещенной, и, соответственно, действующая жидкость проникает в смежный пиксел, то в соответствующих пикселах объемы действующей жидкости могут быть различными. В результате органические EL слои могут иметь различные толщины для соответствующих пикселов, и различие проявляется как неравномерность отображения.

Данные проблемы не могут быть решены даже посредством технологий, изложенных в патентных документах 2-4.

Настоящее изобретение было выполнено с учетом вышеизложенного уровня технологии, и его задачей является создание сформированной в виде тонкой пленки подложки, в которая может легко достигаться повышение плоскостности тонкой пленки и объема выпуска; органического электролюминесцентного устройства отображения; подложки цветного фильтра и способа изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки.

Средство решения проблем

В настоящих изобретениях проводились различные исследования сформированных в виде тонких пленок подложек, в которых легко может осуществляться повышение степени ровности тонкой пленки и объема выпуска без дополнительно усложненного процесса производства. В результате изобретатели сосредоточились на использовании двух видов разделителей. Более конкретно первое сформированное разделителями углубление располагается на подложке, кроме того, второй разделитель располагается на первом разделителе таким образом, чтобы окружать углубления. Было обнаружено, что данная структура позволяет наносить действующую жидкость в области (разделенной области), окруженной посредством второго разделителя, для формирования плоской тонкой пленки в пределах каждого углубления. Кроме того, структура может увеличивать пределы точности совмещения и точности размещения капли устройством формирования тонкой пленки и, таким образом, увеличивать объем выпуска сформированной в виде тонкой пленки подложки. Таким образом, вышеупомянутые проблемы были превосходно решены, и вследствие этого настоящее изобретение было завершено.

Таким образом, одним аспектом настоящего изобретения является сформированная в виде тонкой пленки подложка, имеющая подложку и тонкую пленку, сформированную на подложке, при этом сформированная в виде тонкой пленки подложка содержит первый разделитель, формирующий углубление на подложке, и второй разделитель, сформированный на первом разделителе, причем в разделенной области, окруженной посредством второго разделителя, имеется множество расположенных в ней углублений, а тонкая пленка располагается в каждом из углублений. На сформированной в виде тонкой пленки подложке в соответствии с настоящим изобретением один первый разделитель может формировать любое количество углублений, то есть первый разделитель может формировать несколько углублений или одиночное углубление. В случае, если один первый разделитель формирует одно углубление, может быть предусмотрено множество первых разделителей.

Если действующая жидкость применяется к области (разделенной области), окруженной посредством второго разделителя, на сформированной в виде тонкой пленки подложке, в соответствии с настоящим изобретением, то действующая жидкость распространяется вдоль боковых поверхностей второго разделителя таким образом, чтобы закрывать углубления. В результате жидкий слой действующей жидкости в соответствующих углублениях может быть соответствующим образом уравновешен. Кроме того, поскольку первый разделитель удерживает (закрепляет) действующую жидкость в пределах углублений, действующая жидкость ограждается в пределах углублений в процессе удаления растворителя. Вышеупомянутым методом может быть сформирована плоская тонкая пленка в желаемом местоположении (углублении).

Сформированная в виде тонкой пленки подложка в соответствии с настоящим изобретением также может увеличивать пределы точности совмещения и точности размещения капли устройства формирования тонкой пленки, в случает наличия первого разделителя и второго разделителя при укладке друг на друга в стопу, по сравнению с наличием исключительно первого разделителя. Вследствие этого в процессе формирования тонкой пленки могут подавляться дефекты (например, изменение толщины тонких пленок), а объем выпуска сформированной в виде тонкой пленки подложки может быть увеличен.

В настоящем документе тонкая пленка относится к пленке, имеющей толщину, подходящую для такого компонента, как органический EL слой органического EL элемента и цветной фильтр подложки цветного фильтра. Более конкретно тонкая пленка может иметь толщину от 0,01 до 3 мкм. Как первый, так и второй разделители в настоящем документе относятся к разделяющей стенке, размещенной в похожей на раму структуре (похожем на раму объекте).

Структура сформированной в виде тонкой пленки подложки в соответствии с настоящим изобретением, в частности, не ограничивается до тех пор, пока сформированная в виде тонкой пленки подложка включает в себя вышеупомянутые компоненты, и может включать или не включать в себя другие компоненты. Предпочтительные варианты осуществления сформированной в виде тонкой пленки подложки в соответствии с настоящим изобретением более подробно описываются ниже. Заметим, что указанные ниже различные варианты осуществления могут быть соответствующим образом объединены.

Разделенная область предпочтительно имеет линейную плоскую форму. Такая форма позволяет наносить действующую жидкость на разделенную область для более легкого распространения вдоль боковых поверхностей второго разделителя вследствие капиллярного эффекта. В результате уровень жидкости действующей жидкости в соответствующих углублениях может быть соответствующим образом уравновешен.

В случае, если весь второй разделитель является лиофобным к действующей жидкости, может быть трудным распространение действующей жидкости вдоль боковых поверхностей второго разделителя. Напротив, в случае, если весь второй разделитель является лиофильным к действующей жидкости, то действующая жидкость может течь поверх лицевой поверхности второго разделителя, перетекая в область, в которой не требуется действующей жидкости. Соответственно, является предпочтительным, чтобы второй разделитель являлся лиофобным к действующей жидкости на лицевой поверхности, и является предпочтительным, чтобы второй разделитель являлся лиофильным к действующей жидкости на боковой поверхности. Такая структура может быть осуществлена, например, посредством выполнения процесса обеспечения лиофобности на втором разделителе, сформированном из лиофильного материала. Однако в случае, если процесс обеспечения лиофобности выполняется на втором разделителе, имеющем сужающуюся к передней части форму, то боковые поверхности второго разделителя также могут являться лиофобными. В результате действующей жидкости может быть трудно распространяться вдоль боковых поверхностей второго разделителя. Следовательно, второй разделитель предпочтительно имеет сужающуюся к задней части форму. Сужающаяся к задней части форма позволяет боковым поверхностям второго разделителя находиться в тени лицевой поверхности второго разделителя и, таким образом, сокращать влияние процесса обеспечения лиофобности на боковые поверхности второго разделителя. В результате у второго разделителя вполне может иметься лиофобная лицевая поверхность и лиофильные боковые поверхности.

"Лицевая" в настоящем документе относится к дальней от подложки позиции, а "основание" в настоящем документе относится к ближней к подложке позиции. Кроме того, "сужающаяся к задней части форма" в настоящем документе относится к форме с углом боковой поверхности к лицевой поверхности подложки (то есть углом наклона), равным или более 90°, а "сужающаяся к передней части форма" в настоящем документе относится к форме с углом боковой поверхности к лицевой поверхности подложки менее 90°.

Одним из условий уменьшения влияния процесса обеспечения лиофобности на боковые поверхности второго разделителя является то, что боковые поверхности второго разделителя не выступают за лицевую поверхность второго разделителя на виде в плане. Таким образом, является предпочтительным, чтобы разделенная область имела линейную плоскую форму, а длина L1 лицевой части основания разделенной области в поперечном разрезе подложки в направлении короткой стороны разделенной области и длина L2 лицевой поверхности разделенной области удовлетворяли отношению L1≥L2 и более предпочтительно отношению L1>L2.

Если первый разделитель имеет сужающуюся к задней части форму, то возможно, что действующая жидкость накапливается между подложкой и боковыми поверхностями первого разделителя и не может в полной мере распространиться в пределах разделенной области. В таком состоянии может быть трудным изготовление плоской тонкой пленки в пределах углубления. Соответственно, является предпочтительным, чтобы первый разделитель имел сужающуюся к передней части форму.

Первый разделитель предпочтительно имеет сужающуюся к передней части форму, а второй разделитель предпочтительно имеет сужающуюся к задней части форму. Вследствие этого может подавляться накопление действующей жидкости между подложкой и боковыми поверхностями первого разделителя и может уменьшаться влияние процесса обеспечения лиофобности на боковые поверхности второго разделителя.

Первый разделитель предпочтительно содержит фтор на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается. При наличии фтора первый разделитель может являться лиофобным к действующей жидкости на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается. В результате действующая жидкость может более надежно удерживаться (закрепляться) в углублении, а плоская тонкая пленка может более надежно изготавливаться. В данном случае верхняя поверхность первого разделителя охватывает не только лицевую поверхность первого разделителя, но также и боковые поверхности первого разделителя.

Второй разделитель предпочтительно содержит фтор на лицевой поверхности. При наличии фтора второй разделитель может являться лиофобным к действующей жидкости на лицевой поверхности. В результате действующая жидкость может удерживаться более надежно в пределах разделенной области и более надежно предотвращает ее перетекание поверх лицевой поверхности второго разделителя в область, где никакой действующей жидкости не требуется.

Первый разделитель предпочтительно содержит фтор на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается, а второй разделитель предпочтительно обеспечен фтором на лицевой поверхности. При наличии фтора первый разделитель может являться лиофобным к действующей жидкости на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается, а второй разделитель может являться лиофобным к действующей жидкости на верхней поверхности. В результате в пределах углубления может более надежно изготавливаться плоская тонкая пленка, и можно более надежно предотвратить перетекание действующей жидкости поверх лицевой поверхности второго разделителя в область, где никакой действующей жидкости не требуется. Такая структура, в которой первый разделитель содержит фтор на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается, а второй разделитель содержит фтор на лицевой поверхности, может изготавливаться, например, посредством одновременного выполнения обработки в фторсодержащей плазме верхней поверхности первого разделителя, где второй разделитель не располагается, и лицевой поверхности второго разделителя. Соответственно, процесс производства может быть упрощен.

Способом получения структуры, в которой верхняя поверхность первого разделителя, где второй разделитель не располагается, и/или лицевая(ые) поверхность(ти) второго разделитель, содержат фтор, альтернативным к вышеупомянутой обработке в фторсодержащей плазме является способ покрытия поверхности(ей) пленкой, которая содержит фтор.

Расстояние h1 от поверхности подложки до лицевой поверхности второго разделителя предпочтительно удовлетворяет отношению h1>65 мкм. Такая структура предотвращает образование пустой части, где на подложке не имеется тонкой пленки в разделенных областях.

Если окончание нижней поверхности углубления не находится на расстоянии 15 мкм или далее от окончания нижней поверхности разделенной области на виде в плане, то часть действующей жидкости, удерживаемой в пределах углубления, может присоединяться к боковой поверхности второго разделителя, и вследствие этого однородность толщин тонких пленок, сформированных в пределах углублений, может быть уменьшена. Соответственно, окончание нижней поверхности каждого углубления предпочтительно располагается на расстоянии 15 мкм или далее от окончания нижней поверхности разделенной области.

Является предпочтительным, чтобы разделенная область имела линейную плоскую форму, у формируемой в виде тонкой пленки подложки имелся первый объект на первом разделителе, и первый объект находился в соприкосновении со вторым разделителем, и имела плоскую форму выступающей части второго разделителя в направлении между углублениями, расположенными в разделенной области. Данная структура позволяет предотвращать избыток потока действующей жидкости вследствие капиллярного эффекта. Кроме того, поскольку второй разделитель имеет подобную (аналогичную) первому разделителю структуру, то в пределах разделенной области скорости высыхания действующей жидкости могут быть одинаковыми. При вышеупомянутой структуре возможно изготовление более плоских тонких пленок в углублениях.

Первый объект может быть изготовлен из материалов, отличных от второго разделителя, однако является предпочтительным, чтобы он изготавливался из того же самого материала, что и второй разделитель. В этом случае первый объект и второй разделитель могут быть сформированы в одном и том же процессе, и, следовательно, технология производства может быть упрощена. Альтернативно первый объект и второй разделитель могут быть сформированы как неотъемлемая часть друг друга. Таким образом, второй разделитель может иметь выступающую часть, которая действует в качестве первого объекта.

Предпочтительно, чтобы разделенная область имела линейную плоскую форму, сформированная в виде тонкой пленки подложка имела второй объект, сформированный на первом разделителе, и второй объект был расположен между углублениями, расположенными в разделенной области, и не находился в соприкосновении со вторым разделителем. В этом случае также может быть получен такой же эффект, как и в случае с первым объектом.

Второй объект может изготавливаться из материала, отличного от второго разделителя, однако является предпочтительным, чтобы он изготавливался из того же самого материала, что и второй разделитель. В этом случае второй объект и второй разделитель могут быть сформированы в одном и том же процессе, и, следовательно, технология производства может быть упрощена.

Другим аспектом настоящего изобретения является способ изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки согласно настоящему изобретению, содержащий: первый процесс формирования разделителя для формирования первого разделителя на подложке, второй процесс формирования разделителя для формирования второго разделителя на первом разделителе и процесс нанесения для нанесение действующей жидкости, содержащей материал тонкой пленки, в разделенной области.

В соответствии со способом изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки настоящего изобретения, если действующая жидкость наносится в разделенной области, то действующая жидкость распространяется вдоль боковых поверхностей второго разделителя таким образом, чтобы закрывать углубления. В результате жидкий слой действующей жидкости в соответствующих углублениях может быть соответствующим образом уравновешен. Кроме того, поскольку первый разделитель удерживает (закрепляет) действующую жидкость в пределах каждого углубления, то действующая жидкость ограждается в пределах углубления в процессе удаления растворителя. В вышеупомянутом способе может быть сформирована плоская тонкая пленка в желаемой позиции (углублении).

Способ изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки согласно настоящему изобретению также может увеличивать пределы точности совмещения и точности размещения капель устройства для нанесения покрытий в случае размещения первого разделителя и второго разделителя путем укладывания друг на друга по сравнению со случаем наличия исключительно первого разделителя. Вследствие этого дефекты в процессе формирования тонкой пленки (например, отклонения в толщине тонких пленок) могут подавляться, а объем выпуск сформированных в виде тонкой пленки подложек может быть увеличен.

В частности, способ изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки настоящего изобретения не ограничивается посредством других процессов при условии включения в его состав вышеупомянутого процесса. Предпочтительный способ изготовления сформированной в виде тонкой пленки подложки настоящего изобретения более подробно разъясняется ниже. Отметим, что нижеприведенные различные варианты осуществления могут быть соответственным образом объединены.

Первый разделитель предпочтительно является лиофобным к действующей жидкости на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается. Это позволяет более надежно удерживать (закреплять) действующую жидкость в пределах углубления и, таким образом, более надежно изготавливать плоскую тонкую пленку в пределах углубления.

Второй разделитель предпочтительно является лиофобным к действующей жидкости на лицевой поверхности. В результате действующая жидкость может более надежно удерживаться в пределах разделенной области и можно более надежно препятствовать перетеканию поверх лицевой поверхности второго разделителя в область, где никакой действующей жидкости не требуется.

Первый разделитель предпочтительно является лиофобным к действующей жидкости на верхней поверхности, где второй разделитель не располагается, а второй разделитель предпочтительно является лиофобным к действующей жидкости на лицевой поверхности. В результате плоская тонкая пленка может более надежно изготавливаться в пределах углубления и можно более надежно препятствовать перетеканию действующей жидкости поверх лицевой поверхности второго разделителя в область, где никакой действующей жидкости не требуется. Такая структура, в которой первый разделитель является лиофобным на лицевой поверхности, где второй разделитель не располагается, а второй разделитель является лиофобным на лицевой поверхности, может изготавливаться посредством одновременного выполнения процесса обеспечения лиофобности на верхней поверхности первого разделителя, где второй разделитель не располагается и на лицевой поверхности второго разделителя. Соответственно, процесс производства может быть упрощен.

Второй разделитель, предпочтительно, является лиофильным к действующей жидкости на боковой поверхности. При такой структуре действующая жидкость легче распространяется вдоль боковых поверхностей второго разделителя, и, таким образом, может изготавливаться более плоская тонкая пленка.

Действующая жидкость, наносимая в разделенной области, распространяется в пределах разделенной области вдоль боковых поверхностей второго разделителя, обращенных к друг другу, а жидкая поверхность действующей жидкости достигает окончаний лицевой поверхности второго разделителя. На данном этапе жидкая поверхность применяемой действующей жидкости находится ниже в более далекой от второго разделителя позиции. Если жидкие поверхности действующей жидкости, текущей вдоль противоположных боковых поверхностей второго разделителя соответствующим образом, достигают поверхности подложки без соприкосновения друг с другом, то образуется пустая часть, в которой на подложке в пределах разделенной области никакой действующей жидкости не имеется, и, вследствие этого, в пустой части не будет сформировано никакой тонкой пленки. Следовательно, для надежного предотвращения образования такой пустой части второй разделитель может быть разработан таким образом, чтобы иметь соответствующую высоту, при которой пустой части не образуется.

Теперь со ссылкой на чертеж будет описываться условие, при котором не образуется пустая часть, в которой на подложке в области, помещенной посередине между двумя частями вторых разделителей, не имеется никакой действующей жидкости. Фиг.6 является видом в поперечном разрезе, схематично иллюстрирующим состояние, в котором действующая жидкость применяется к области, помещенной между частями вторых разделителей. Отметим, что первый разделитель не показан на Фиг.6. Как проиллюстрировано на Фиг.6, h1 представляет расстояние от поверхности подложки 110 до верхней поверхности второго разделителя 112, α представляет угол наклона второго разделителя 112 к подложке 110 (угол наклона боковой поверхности второго разделителя 112 в поперечном сечении), θ представляет контактный угол действующей жидкости 130 к боковой поверхности второго разделителя 112, ε представляет точку пересечения линий, вычерченных под углом θ от окончаний лицевых поверхностей вторых разделителей 112, y представляет расстояние от окончания лицевой поверхности второго разделителя 112 до ε в горизонтальном представлении, d представляет длину нижней поверхности между противоположными частями вторых разделителей 112 (длина нижней поверхности в разделенной области), h2 представляет разницу по высоте между лицевой поверхностью второго разделителя 112 и ε, а x представляет разницу по высоте между ε и подложкой 110. С этими представлениями второй разделитель 112 может быть разработан таким образом, чтобы всегда иметь высоту, удовлетворяющую отношению x>0. Условие, удовлетворяющее отношению x>0, может быть получено из формул (1)-(3).

Условие, вытекающее из формул (1) к (3), показано следующей формулой (4). Следовательно, для удовлетворения отношения x>0 второй разделитель может быть разработан таким образом, чтобы иметь удовлетворяющую следующей формуле (4) высоту. Таким образом, является предпочтительным, чтобы разделенная область имела линейную плоскую форму, а процесс нанесения содержал нанесение действующей жидкости таким образом, чтобы расстояние h1 от поверхности подложки до лицевой поверхности второго разделителя удовлетворяло следующей формуле (4), если подложка рассматривается в поперечном сечении в направлении короткой стороны разделенной области в части, которая проходит через любое из углублений, расположенных в разделенной области, причем d представляет длину нижней поверхности разделенной области, α представляет угол наклона второго разделителя к подложке, а θ представляет контактный угол действующей жидкости к боковой поверхности второго разделителя.

В вышеупомянутой формуле (4) предпочтительно удовлетворяется отношение h1>65 мкм. Поскольку подходящее значение d различается в соответствии с нанесением сформированной в виде тонкой пленки подложки, формула (4) может не удовлетворяться в зависимости от значения d. Например, в случае, когда сформированная в виде тонкой пленки подложка настоящего изобретения используется для отображения, размер пиксела определяется в соответствии с необходимой четкостью, и вследствие этого может быть определен диапазон для d. Если значения α и θ являются постоянными, то изменение значения d приводит к изменению в правой части формулы (4). Поэтому формула (4) может не удовлетворяться в зависимости от значения d. Напротив, формула (4) может надежно удовлетворяться при d в диапазоне от 50 до 100 мкм, если удовлетворяется отношение h1>65 мкм. Если значения θ и α установлены таким образом, чтобы их было легко осуществить (θ, равное 45° или более, α, равное от 70° до 120°) в случае, если второй разделитель сформирован из обычного материала обычным способом, значение правой стороны формулы (4) не будет превышать 65 мкм, даже если d изменяется в пределах диапазона от 50 до 100 мкм. Следовательно, формула (4) может удовлетворяться в диапазоне d от 50 до 100 мкм, если удовлетворяется отношение h1>65 мкм. В формуле (4) чем больше значение θ, тем меньше значение правой стороны формулы. В данном случае значение d может быть от 50 мкм или менее. Однако в контексте обеспечения границы нанесения в случае использования способа струйной печати или подобного предпочтительно удовлетворяется отношение d>50 мкм.

Если удовлетворяются отношения 0°<α-θ<90° и α>90°, то выражение cot(α)tan(α-θ) будет отрицательным значением, которое является очень малым по сравнению с выражением tan(α-θ). Вследствие этого знаменатель правой стороны формулы (4) будет положительным значением,приблизительно равным 1. Следовательно, вышеупомянутая h1 может быть представлена просто посредством следующей формулы (5). Таким образом, если в формуле (4) удовлетворяются отношения 0°<α-θ<90° и α>90°, то вышеупомянутая h1 предпочтительно удовлетворяет следующей формуле (5).

Если удовлетворяется отношение α=90°, то выражение cot(90°) может рассматриваться как 0, а отношение из следующей формулы (6) может удовлетворяться.

Следовательно, вышеупомянутая h1 может быть просто представлена посредством следующей формулы (7). Таким образом, если α=90° в вышеупомянутой формуле (4), то вышеупомянутая h1 предпочтительно удовлетворяет следующей формуле.

Другим аспектом настоящего изобретения является органическое EL устройство отображения, включающее в себя сформированную в виде тонкой пленки подложки согласно настоящему изобретению или сформированную в виде тонкой пленки подложку, изготовленную посредством способа производства из настоящего изобретения, при этом в органическом EL устройстве отображения имеется первый электрод и второй электрод, между которыми помещается тонкая пленка, а тонкая пленка является органическим EL слоем. При такой структуре поскольку плоский органический EL слой может быть изготовлен в углублениях может изготавливаться органическое EL устройство отображения с небольшой неровностью отображения. Кроме того, поскольку способность к нанесению покрытий из органического EL слоя может быть улучшена, то генерирование тока утечки, возникающего вследствие короткого замыкания перв