Подложка устройства отображения, способ изготовления подложки устройства отображения, устройство отображения, жидкокристаллическое устройство отображения, способ изготовления жидкокристаллического устройства отображения и органическое электролюминесцентное устройство отображения

Подложка устройства отображения, способ изготовления подложки устройства отображения, устройство отображения, жидкокристаллическое устройство отображения, способ изготовления жидкокристаллического устройства отображения и органическое электролюминесцентное устройство отображения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ

Настоящее изобретение относится к подложке устройства отображения, способу изготовления подложки устройства отображения, устройству отображения, жидкокристаллическому устройству отображения, способу изготовления жидкокристаллического устройства отображения и органическому электролюминесцентному устройству отображения. Более конкретно, настоящее изобретение относится к подложке устройства отображения, способу изготовления подложки устройства отображения, устройству отображения, жидкокристаллическому устройству отображения, способу изготовления жидкокристаллического устройства отображения и органическому электролюминесцентному устройству отображения, которые пригодны для жидкокристаллического устройства отображения или органического электролюминесцентного (EL) дисплея, в отношении чего на подложке обеспечивается светочувствительная пленка на основе смолы (смоляная).

ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ

Многодоменное вертикальное ориентирование (молекул жидких кристаллов) (MVA) является известным видом в числе видов формирования изображения в жидкокристаллических устройствах отображения. В жидкокристаллических устройствах отображения вида MVA используется жидкий кристалл, имеющий отрицательную анизотропию диэлектрической проницаемости, герметизированный между парой подложек, слой ориентирования по вертикали, который обеспечивает, чтобы молекулы жидких кристаллов были ориентированы по существу ортогонально относительно поверхности подложек, и упорядочивающую ориентацию структуру, которая упорядочивает направление ориентации молекул жидкого кристалла. Примеры упорядочивающей ориентацию структуры включают в себя, например, линейные выступы, содержащие диэлектрик, и бороздки (щели) в электроде. Более широкий угол обзора в таких жидкокристаллических устройствах отображения вида MVA может быть получен обеспечением, в одном пикселе, множества областей (доменов), в которых молекулы жидких кристаллов имеют взаимно различные направления ориентации, с помощью такой упорядочивающей ориентацию структуры.

Однако в жидкокристаллических устройствах вида MVA есть тенденция, что в течение отображения белого будет образовываться снижение пропускания света на границах между доменами, например в областях, где обеспечиваются линейные выступы или щели, в пикселах. Время отклика жидкого кристалла снижается в случае, когда интервал размещения между упорядочивающими ориентацию структурами является расширенным, чтобы устранять появление вышеупомянутого. Следовательно, ориентирующие пленки могут подвергаться ориентирующим обработкам для придания начальной ориентации жидкому кристаллу в смысле обеспечения быстрого отклика для жидкого кристалла при уменьшении снижения пропускания света в течение отображения белого. Жидкокристаллические устройства отображения вида MVA, однако, обеспечиваются упорядочивающей ориентацию структурой, и, следовательно, ориентирующая обработка трением обычно не выполняется.

В этом контексте известные эффективные технологии для выполнения жидкокристаллических устройств отображения вида MVA включают в себя способ ориентации жидких кристаллов, поддерживаемой полимерами (PSA). PSA является способом, в котором полимеризуемая составляющая, такая как мономер или олигомер, подмешивается в жидкий кристалл, и полимеризуемая составляющая полимеризуется в состоянии, где молекулы жидких кристаллов наклонно ориентированы приложением напряжения к жидкому кристаллу, в результате чего на подложке обеспечивается полимер, запоминающий направление, в которое попадает жидкий кристалл (например, Патентный документ 1).

В органических EL дисплеях до сих пор обычно применялись герметично-корпусные структуры, в которых влагопоглощающее вещество прикрепляется к имеющему гравировку стеклу, и внешняя сторона внешней периферии органического EL элемента герметизируется, наподобие рамки, с помощью герметизирующей смолы, чтобы препятствовать ухудшению (параметров) органического EL элемента, обусловленному внешним кислородом или влагой. Такая герметично-корпусная структура, однако, затрудняет принятие структуры с верхней эмиссией, в которой свет извлекается с верхней поверхности панели (увеличение апертурного отношения), и реализацию тонкопрофильных панелей. Следовательно, в последние годы были разработаны герметизирующие структуры, которые используют плоские подложки (ниже в документе, плоские герметизирующие структуры). Конкретно, были разработаны технологии, в которых органический EL элемент герметизируется наклеиванием плоской подложки на органический EL элемент с помощью связующего материала, который содержит светочувствительную смолу.

В обычных подложках устройства отображения, в частности в подложках матриц на тонкопленочных транзисторах (TFT) (ниже в документе также именуемых TFT подложками), формируется светочувствительная смоляная пленка, имеющая эффект выравнивания, в качестве межуровневой изолирующей пленки, с точки зрения избегания разъединения в проводке соединений. Как таковые были раскрыты межуровневые изолирующие пленки, например, радиационно-чувствительная смоляная композиция, которая содержит радиационно-чувствительный кислото-образующий состав, и смолу, являющуюся растворимой в щелочном водном растворе, и которая содержит, в одной молекулярной цепи, карбоксильную группу или ангидрид и эпоксидную группу (например, Патентный документ 2). Патентный документ 1: JP 2003-149647 А. Патентный документ 2: JP 5-165214 А.

В обычных жидкокристаллических устройствах отображения вида PSA (жидкокристаллические устройства отображения, изготовленные с использованием технологий PSA), и в органических EL дисплеях, имеющих плоско-пластинчатые подложки, однако, газообразное вещество и/или пузырьки могут появляться в области пикселов после этапа полимеризации мономера, диспергированного в область пикселов ультрафиолетовым (УФ, UV) излучением, или после этапа отверждения связующего материала, содержащего светочувствительную смолу UV облучением, в соответствии с чем может быть изготовлено дефектное устройство. На Фиг.35 показано схематическое представление вида в плане, иллюстрирующее обычную панель жидкокристаллического устройства отображения вида PSA. В испытании на удар панели жидкокристаллического устройства отображения вида PSA после этапа UV облучения, пузырьки 139 могут вбрасываться в ячейку в области Р пикселов, как проиллюстрировано на Фиг.35, вследствие удара. В испытании на удар шарик пачинко бросали на панель с высоты 30 см при высокой температуре (80°С).

РАСКРЫТИЕ СУЩНОСТИ ИЗОБРЕТЕНИЯ

В свете вышеупомянутого задачей настоящего изобретения является обеспечить подложку (схемы) устройства отображения, способ изготовления подложки устройства отображения, устройство отображения, жидкокристаллическое устройство отображения, способ изготовления жидкокристаллического устройства отображения и органическое электролюминесцентное устройство отображения, которые позволяют устранить дефекты, получаемые из-за появления газообразного вещества и/или пузырьков в области пикселов.

Изобретатели провели различные исследования по вопросу подложек устройства отображения, которые должны позволять устранение дефектов, получаемых вследствие формирования газообразного вещества и/или пузырьков в области пикселов, и остановили внимание на светочувствительных смолах, которые используются в качестве выравнивающих пленок в TFT подложках. Изобретатели установили, что обычно газообразное вещество 138 образуется от светочувствительной смоляной пленки 152, как проиллюстрировано на Фиг.36, вследствие UV излучения (глухие стрелки на Фиг.36), и что газообразное вещество 138 приводит к пузырькам в жидкокристаллическом слое 110, в частности, когда панель подвергается ударам, таким как механические воздействия, при высокой температуре. Возможные причины вышеупомянутого включают в себя нижеследующее. Во-первых, светочувствительная смоляная пленка обычно содержит фотосенсибилизатор нафтохинондиазид для фотосенсибилизации, и эпоксидную составляющую. Считается, что вышеупомянутое высвобождает малые количества газообразного азота и водяного пара, являющихся результатом гидролиза, в течение первого этапа экспонирования, второго этапа экспонирования и этапа выжигания в процессах первого экспонирования, проявления, второго экспонирования и выжигания. В результате считается, что малые количества непрореагировавших веществ, которые остаются в светочувствительной смоляной пленке, должны вступать в реакцию вследствие UV света и тепла, приводя к появлению газообразных веществ, при UV облучении в процессе полимеризации мономер-дисперсного жидкого кристалла (жидкокристаллический материал, в котором диспергирована полимеризуемая составляющая), или в процессе отверждения связующего материала, содержащего светочувствительную смолу. Возможные примеры такого появления могут включать, например, процесс, в котором газ азот образуется посредством реакции между непрореагировавшими диазо-группами радиационно-чувствительного кислотно-образующего состава (состав с наличием характеристики, в соответствии с которой растворимость состава в щелочи возрастает, если соединение подвергается облучению), используемого в качестве

фотосенсибилизатора, и когда кислотный продукт реакции (кислота, образуемая воздействием облучения) повторно этерифицируется (гидролизуется), и результирующая H₂O становится водяным паром при высокой температуре. В результате, такие газы могут инжектироваться в жидкокристаллический слой или органический слой вследствие механического напряжения, полученного от ударов или подобного. После дополнительного исследования изобретатели установили, что обеспечение газонепроницаемой (представляющей газовый барьер) изолирующей пленки (изолирующей пленки, которая препятствует распространению газообразного вещества, образуемого от светочувствительной смоляной пленки) на слое выше светочувствительной смоляной пленки, или между светочувствительной смоляной пленкой и электродом пиксела, имеет результатом препятствие проникновению газообразного вещества в жидкокристаллический слой или органический слой, даже если газообразное вещество образуется от светочувствительной смоляной пленки после UV облучения в процессе полимеризации мономер-дисперсного жидкого кристалла или в процессе отверждения связующего материала, который содержит светочувствительную смолу. Изобретатели пришли к настоящему изобретению исходя из представления, что вышеописанные задачи могут быть замечательно решены на основе вышеупомянутого заключения.

Конкретно, настоящим изобретением является подложка устройства отображения (ниже в документе также называемая "первая подложка устройства отображения по настоящему изобретению"), которая содержит:

светочувствительную смоляную пленку; и

электрод пиксела, в этом порядке, со стороны изолирующей подложки,

причем подложка устройства отображения содержит газонепроницаемую изолирующую пленку на слое выше светочувствительной смоляной пленки, чтобы препятствовать распространению газообразного вещества, образуемого от светочувствительной смоляной пленки. Дефекты, обусловленные образованием газообразного вещества и/или формированием пузырьков в области пикселов, в результате могут устраняться в устройстве отображения, снабженным первой подложкой устройства отображения по настоящему изобретению. К тому же дефекты соединений проводки могут устраняться благодаря обеспеченной светочувствительной смоляной пленке.

При условии, что вышеуказанные основные составляющие элементы формируются в ней, конфигурация первой подложки устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается, и может необязательно содержать другие составляющие элементы.

Настоящим изобретением также является подложка устройства отображения (ниже в документе также называемая "вторая подложка устройства отображения по настоящему изобретению"), которая содержит:

светочувствительную смоляную пленку; и

электрод пиксела, в этом порядке, со стороны изолирующей подложки,

причем подложка устройства отображения имеет в составе газонепроницаемую изолирующую пленку между светочувствительной смоляной пленкой и электродом пиксела, чтобы препятствовать распространению газообразного вещества, образуемого от светочувствительной смоляной пленки. Дефекты, обусловленные образованием газообразного вещества и/или формированием пузырьков в области пикселов, в результате могут устраняться в устройстве отображения, снабженном второй подложкой устройства отображения по настоящему изобретению. К тому же газонепроницаемая изолирующая пленка располагается на слое ниже электрода пиксела. Это устраняет снижение напряжения, которое прикладывается к жидкокристаллическому слою или излучающему слою. Поскольку газонепроницаемая изолирующая пленка расположена на слое ниже электрода пиксела, структура, в которой газонепроницаемая изолирующая пленка прослаивается между электродом пиксела и слоем проводки на слое ниже, чем электрод пиксела, может использоваться в качестве запоминающего конденсатора пиксела. Также дефекты соединений проводки могут устраняться благодаря обеспеченной светочувствительной смоляной пленке.

Как используется в настоящем описании, термин "выше", "высший" и "верхний" обозначает позицию, более далекую от изолирующей подложки, и термины "нижний", "ниже" и "под" обозначают позицию, более близкую к изолирующей подложке. Соответственно, "верхний слой" обозначает слой, более далекий от изолирующей подложки, и “нижний слой” обозначает слой, более близкий к изолирующей подложке.

При условии, что вышеуказанные основные составляющие элементы сформированы в ней, конфигурация второй подложки устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается, и может необязательно содержать другие составляющие элементы.

Предпочтительные варианты осуществления первой и второй подложек устройства отображения по настоящему изобретению поясняются подробно далее. Различные нижеописанные варианты осуществления могут подходящим образом комбинироваться друг с другом.

Снижение напряжения может возникать вследствие емкостной составляющей газонепроницаемой изолирующей пленки, если газонепроницаемая изолирующая пленка расположена на слое выше электрода пиксела. Соответственно, газонепроницаемая изолирующая пленка может перекрывать часть внешнего края электрода пиксела и имеет отверстие на электроде пиксела (области, соответствующей электроду пиксела). Верхняя поверхность (поверхность на стороне верхнего слоя) и боковая поверхность светочувствительной смоляной пленки могут иметь область, не покрытую электродом пиксела, и область, селективно покрытую газонепроницаемой изолирующей пленкой. Подложка устройства отображения может содержать электрод пиксела в виде множества, множество электродов пиксела выполняются разнесенными на расстояние с промежутками между собой, и газонепроницаемая изолирующая пленка селективно обеспечивается в промежутках между множеством электродов пиксела. В результате это позволяет устранять появление газообразного вещества и/или пузырьков в области пикселов, при этом избегая падения напряжения. Вышеуказанные признаки могут использоваться и в первой, и во второй подложке устройства отображения по настоящему изобретению, и конкретно предпочтительно в первой подложке устройства отображения по настоящему изобретению.

Газонепроницаемая изолирующая пленка может содержать термореактивную смоляную пленку. Газонепроницаемая изолирующая пленка отверждается в результате (прохождения) тепловой реакции, и, следовательно, образование газообразного вещества из-за UV света может эффективно устраняться на этапе UV облучения, следующем за формированием газонепроницаемой изолирующей пленки.

Газонепроницаемая изолирующая пленка может содержать неорганическую изолирующую пленку. В результате образование газообразного вещества из-за UV света может эффективно устраняться на этапе UV облучения, следующем за формированием газонепроницаемой изолирующей пленки.

Газонепроницаемая изолирующая пленка может содержать пленку на основе оксида кремния. Это позволяет устранять ослабление света, конкретно UV света, в газонепроницаемой изолирующей пленке.

Подложка устройства отображения может иметь в составе набор органических-неорганических пленок, в котором неорганическая изолирующая пленка размещается ярусно непосредственно на светочувствительной смоляной пленке. Светочувствительная смоляная пленка в результате может быть защищена неорганической изолирующей пленкой, которая имеет превосходную механическую прочность. Следовательно, организация набора органических-неорганических пленок в области вывода (контактной области) позволяет устранять отслоение светочувствительной смоляной пленки или повреждение по отношению к ней, даже если является необходимой повторная обработка в процессе подсоединения подложки устройства отображения к другой схемной плате или компоненту, например гибкой печатной плате (FPC). В результате становится возможным устранить экспонирование слоя проводки, позиционированного на слое ниже светочувствительной смоляной пленки, чтобы препятствовать посредством этого коррозии слоя проводки, обусловленной влагой и т.п. Становится также возможным устранять появление дефектного контакта между контактными выводами и компонентом внешнего соединения, таким как FPC, обусловленного остатками, падающими из непокрытой светочувствительной смоляной пленки. То есть становится возможным повысить надежность области вывода. Неорганическая изолирующая пленка может использоваться в качестве оградительного материала для озоления резистной маски. Следовательно, способ, используемый для формирования контактных окон в наборе органических-неорганических пленок, может быть способом, содержащим этап озоления, а именно, таким как сухое травление, в котором используется резистная маска, имеющим высокую точность микрообработки. В результате, проводка, позиционированная ниже набора органических-неорганических пленок, конкретно проводка, такая как проводка схемных соединений (проводников), выполненная в области периферийной схемы и требующая микрообработку, может формироваться в виде узких линий с высокой точностью. Также может стать менее вероятным, что светочувствительная смоляная пленка будет повреждена озолением. Это позволяет устранять появление дефектов соединения между линиями проводки, расположенными на слоях выше и ниже набора органических-неорганических пленок.

Светочувствительная смоляная пленка может иметь отверстие. Предпочтительно, отверстие светочувствительной смоляной пленки покрывается проводкой на слое выше неорганической изолирующей пленки. То есть подложка устройства отображения может иметь проводку, обеспеченную на слое выше неорганической изолирующей пленки, и отверстие светочувствительной смоляной пленки предпочтительно покрывается проводкой (проводкой верхнего слоя). В результате отверстие светочувствительной смоляной пленки может быть закрытым проводкой верхнего слоя, и область в светочувствительной смоляной пленке, не закрытая проводкой верхнего слоя, может быть покрытой неорганической изолирующей пленкой. Это дает возможность, чтобы светочувствительная смоляная пленка менее вероятно повреждалась озолением или сухим травлением, каковое в свою очередь позволяет устранять появление дефектов соединения между линиями проводки, расположенными на слоях выше и ниже набора органических-неорганических пленок.

По меньшей мере, часть стороны верхнего слоя поверхности стенки отверстия светочувствительной смоляной пленки может быть покрыта неорганической изолирующей пленкой. В результате может становиться менее вероятным, что светочувствительная смоляная пленка будет повреждаться озолением или сухим травлением, даже если рисунок неорганической изолирующей пленки формируется жидкостным травлением. Это позволяет устранять появление дефектов соединения между линиями проводки, расположенными на слоях выше и ниже набора органических-неорганических пленок.

Неорганическая изолирующая пленка может обеспечиваться так, чтобы покрывать полную светочувствительную смоляную пленку за исключением, по меньшей мере, части, на стороне нижнего слоя, поверхности стенки отверстия в светочувствительной смоляной пленке. Альтернативно, полная поверхность стенки отверстия в светочувствительной смоляной пленке может покрываться неорганической изолирующей пленкой. В последнем случае неорганическая изолирующая пленка может быть протравлена способом, таким как сухое травление, использующим резистную маску, имеющим высокую точность микрообработки. Это позволяет, чтобы проводка, позиционированная на более низком слое, чем набор органических-неорганических пленок, обрабатывалась микрообработкой, избегая при этом появления дефектов соединения между линиями проводки, расположенными на слоях выше и ниже набора органических-неорганических пленок.

Подложка устройства отображения может содержать, по меньшей мере, одно из области вывода, в которой обеспечивается контактный вывод для соединения с компонентом внешнего соединения, и области периферийной схемы, в которой обеспечивается периферийная схема. Это дает возможность микрообработки проводки в области периферийной схемы, и/или повышение надежности устройства отображения.

Подложка устройства отображения может содержать область вывода и область перифирийной схемы. Конкретно, подложка устройства отображения может содержать, на изолирующей подложке, область вывода, в которой обеспечивается контактный вывод для соединения с компонентом внешнего соединения, и область периферийной схемы, в которой обеспечивается периферийная схема. Это дает возможность микрообработки межсоединения в области периферийной схемы и повышения надежности устройства отображения.

Компонент внешнего соединения конкретно не ограничивается при условии, что является элементом и/или схемной платой, которая может быть соединена с панелью отображения, конфигурированной с использованием вышеописанной подложки устройства отображения, и может быть, например, платой FPC (гибкая печатная схема), TCP (корпус на ленточном носителе), COG (кристалл на стеклянной подложке), резистивным элементом, емкостным элементом, предпочтительно платой FPC.

Подложка устройства отображения может иметь набор органических-неорганических пленок в области вывода. Это позволяет повысить надежность устройства отображения.

Подложка устройства отображения может иметь набор органических-неорганических пленок в области периферийной схемы. Это позволяет формирование периферийной схемы, которая обеспечивается изготовленной микрообработкой проводкой.

Подложка устройства отображения может содержать набор органических-неорганических пленок в виде множества. Это позволяет, чтобы проводка прокладывалась во многих слоях. Подложка устройства отображения может содержать набор органических-неорганичесеих пленок в виде множества в области вывода. Это дает возможность формирования в области вывода многослойной проводки с узкими линиями.

Предпочтительно, множество наборов органической-неорганической пленки располагаются друг над другом с чередованием между собой.

Подложка устройства отображения может иметь множество слоев проводки, соответственно обеспеченных в множестве наборов органической-неорганической пленки. Контактный вывод может содержать слой проводки из числа множества слоев проводки, за исключением слоя проводки, позиционированного на стороне самого нижнего слоя. Таким образом, подложка устройства отображения может иметь слой проводки в виде множества, так что множество наборов органической-неорганической пленки и множество слоев проводки располагаются друг над другом с чередованием между собой, и контактный вывод может содержать слой проводки из числа множества слоев проводки, за исключением слоя проводки, позиционированного на стороне самого нижнего слоя. В результате это позволяет формирование проводки ниже контактного вывода, обеспечивая при этом надежность устройства отображения. Более конкретно, различие в величине деформации проводящих микрочастиц между контактной площадкой и областью, отличной от контактной площадки, может быть уменьшено, каковое позволяет устранить появление дефектов соединения, обусловленных неоднородным механическим напряжением.

Контактный вывод может содержать слой проводки, позиционированный на стороне самого верхнего слоя, из числа множества слоев проводки. В результате это дает возможность формирования дополнительно проводки ниже контактного вывода, при этом обеспечивая надежность устройства отображения.

Подложка устройства отображения может иметь область, в которой неорганическая изолирующая пленка ярусно размещается непосредственно на контактном выводе, в области вывода. К тому же подложка устройства отображения может не обеспечиваться светочувствительной смоляной пленкой в области вывода. Механическая надежность устройства отображения может быть в частности повышена таким образом.

Более конкретно, область вывода предпочтительно является областью, в которой расположен проводящий материал (предпочтительно, материал с анизотропной проводимостью, такой как ACF (пленка с анизотропной проводимостью)), чтобы соединять подложку устройства отображения по настоящему изобретению и компонент внешнего соединения (предпочтительно, схемную плату). Таким образом, неорганическая изолирующая пленка может покрывать светочувствительную смоляную пленку таким образом, что светочувствительная смоляная пленка, по меньшей мере, не входит в контакт с проводящим материалом.

Подложка устройства отображения может иметь множество наборов органической-неорганической пленки в области периферийной схемы. Это дает возможность формирования периферийной схемы, которая обеспечивается прецизионной многослойной проводкой. Также в области периферийной схемы, может обеспечиваться неорганическая изолирующая пленка, чтобы покрывать, по меньшей мере, лицевую сторону (лицевую поверхность) светочувствительной смоляной пленки на стороне верхнего слоя. Неорганическая изолирующая пленка может обеспечиваться в области периферийной схемы таким образом, чтобы покрывать полную светочувствительную смоляную пленку за исключением, по меньшей мере, части, на стороне нижнего слоя, поверхности стенки отверстия в светочувствительной смоляной пленке, или может обеспечиваться в области периферийной схемы, чтобы покрывать полную светочувствительную смоляную пленку, включая поверхность стенки отверстия в светочувствительной смоляной пленке.

Настоящее изобретение составляет также способ изготовления подложки устройства отображения (ниже в документе также именуемый "первый способ изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению"), являющийся способом изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению, способ изготовления содержит: этап травления светочувствительной смоляной пленки для травления светочувствительной смоляной пленки; этап формирования неорганической изолирующей пленки для формирования неорганической изолирующей пленки после этапа травления светочувствительной смоляной пленки; и этап травления неорганической изолирующей пленки для травления неорганической изолирующей пленки после этапа формирования неорганической изолирующей пленки. В результате проводка может изготавливаться микрообработкой при устранении при этом появления дефектов соединений проводки.

Первый способ изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается по отношению к другим процессам при условии, что способ содержит вышеуказанные этапы.

Предпочтительные варианты осуществления первого способа изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению поясняются подробно ниже. Различные нижеописанные варианты осуществления могут подходящим образом комбинироваться друг с другом.

На этапе формирования неорганической изолирующей пленки может осуществляться сухое травление неорганической изолирующей пленки с помощью первого резиста. Это позволяет, чтобы проводка изготавливалась микрообработкой более надежно.

На этапе травления неорганической изолирующей пленки, область, которая перекрывает область, в которой вытравляется светочувствительная смоляная пленка, может быть вытравлена из неорганической изолирующей пленки. Это позволяет формировать малые контактные отверстия.

Способ изготовления подложки устройства отображения может дополнительно содержать этап экспонирования светочувствительной смоляной пленки для облучения светом светочувствительной смоляной пленки через первый фотошаблон перед этапом травления светочувствительной смоляной пленки. Это позволяет устранять дефекты соединения проводки еще более надежно. Таким образом, светочувствительная смоляная пленка предпочтительно облучается светом и протравляется (проявляется), то есть получается фототравлением.

Способ изготовления подложки устройства отображения может дополнительно содержать: этап формирования резиста для формирования второго резиста на неорганической изолирующей пленке после этапа формирования неорганической изолирующей пленки; и этап экспонирования резиста для облучения светом второго резиста через первый фотошаблон после этапа формирования резиста. Соответственно, тот же первый фотошаблон может использоваться на этапе экспонирования светочувствительной смоляной пленки и этапе экспонирования резиста. В результате число требуемых фотошаблонов может быть уменьшено на единицу в процессе изготовления, и затраты на изготовление уменьшаются соответственно. При использовании двух фотошаблонов, позиционное несоответствие окон в светочувствительной смоляной пленке и неорганической изолирующей пленке, которое может возникать вследствие различия в состоянии между двумя фотошаблонами, представляет затруднение. Однако вышеуказанная конфигурация позволяет устранить появление позиционного несоответствия между соответственными отверстиями светочувствительной смоляной пленки и неорганической изолирующей пленки.

Настоящее изобретение составляет также способ изготовления подложки устройства отображения (ниже в документе, также именуемый "второй способ изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению"), являющийся способом изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению, способ изготовления содержит: этап травления неорганической изолирующей пленки для травления неорганической изолирующей пленки способом жидкостного травления, с использованием третьего резиста в качестве маски; этап удаления резиста для удаления третьего резиста после этапа травления неорганической изолирующей пленки; и этап травления светочувствительной смоляной пленки для травления светочувствительной смоляной пленки с использованием неорганической изолирующей пленки в качестве маски после этапа удаления резиста. Таким образом, травление неорганической изолирующей пленки осуществляется жидкостным травлением, и, следовательно, озоление не требуется, так что третий резист может удаляться раствором для удаления резиста. Следовательно, это позволяет предотвращать повреждение, обусловленное озолением непокрытой поверхности стенки светочувствительной смоляной пленки в контактных отверстиях. Дефекты соединений проводки могут устраняться в результате.

Второй способ изготовления подложки устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается по отношению к другим процессам при условии, что способ содержит вышеуказанные этапы.

Настоящее изобретение составляет также устройство отображения (ниже в документе, также именуемое "первое устройство отображения по настоящему изобретению"), содержащее подложку устройства отображения по настоящему изобретению. В результате дефекты, обусловленные пузырьками в области пикселов, могут устраняться.

При условии, что вышеуказанные основные составляющие элементы сформированы в ней, конфигурация первого устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается, и может необязательно содержать другие составляющие элементы.

Настоящее изобретение составляет также жидкокристаллическое устройство отображения, содержащее подложку устройства отображения по настоящему изобретению. Дефекты, обусловленные пузырьками в области пикселов, могут быть устранены в результате.

При условии, что вышеуказанные основные составляющие элементы выполнены в ней, конфигурация жидкокристаллического устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается и может необязательно содержать другие составляющие элементы.

Жидкокристаллическое устройство отображения может иметь в составе жидкокристаллический слой, содержащий жидкий кристалл мономер-дисперсного типа. Это позволяет эффективное устранение дефектов, обусловленных пузырьками в области пикселов, в жидкокристаллическом устройстве отображения вида PSA. В сходных терминах, жидкокристаллическое устройство отображения может содержать подложку, обращенную к подложке устройства отображения по настоящему изобретению, и жидкокристаллический слой, прослоенный между вышеприведенными двумя подложками, так что полимер, который задает угол предварительного наклона молекул жидкого кристалла в жидкокристаллическом слое, может быть сформирован, по меньшей мере, на одной из двух подложек (предпочтительно, на обеих подложках), на стороне жидкокристаллического слоя полимеризацией полимеризуемой составляющей в жидкокристаллическом слое под действием приложения напряжения к жидкокристаллическому слою.

Жидкокристаллическое устройство отображения может содержать противоположную подложку, обращенную к подложке устройства отображения, жидкокристаллический материал, герметизированный между подложкой устройства отображения и противоположной подложкой, и герметизирующий материал для герметизации жидкокристаллического материала между подложкой устройства отображения и противоположной подложкой. Вышеуказанная газонепроницаемая изолирующая пленка может быть выполнена перекрывающей (соприкасающейся с) герметизирующий материал. В результате дефекты, обусловленные образованием газообразного вещества и/или формированием пузырьков в области пикселов, могут устраняться более эффективно в жидкокристаллическом устройстве отображения вида PSA.

Настоящее изобретение составляет также способ изготовления жидкокристаллического устройства отображения, являющийся способом изготовления жидкокристаллического устройства отображения по настоящему изобретению, и способ изготовления содержит этап излучения света на жидкокристаллический слой после этапа наполнения жидкими кристаллами. Это дает возможность изготовления жидкокристаллического устройства отображения вида PSA, при этом эффективно устраняя дефекты, обусловленные пузырьками в области пикселов.

Способ изготовления жидкокристаллического устройства отображения по настоящему изобретению конкретно не ограничивается в отношении других процессов при условии, что способ содержит вышеуказанные этапы.

Настоящее изобретение составляет также органическое электролюминесцентное устройство отображения (ниже в документе также называемое органический EL дисплей), которое содержит подложку устройства отображения по настоящему изобретению, органическое электролюминесцентное устройство отображения имеет в состав