Устройство для напыления металлов в вакууме

Устройство для напыления металлов в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

чсоюди „ е тен1,., т

О tT И "С"АЙ И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВз 1ДЕТЕЛЬСТВУ

24842О

Союз Соеетских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48b, 13/08

Заявлено 05.ЧН.1967 (№ 1172995/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК С 23с

УДК 621.793.14 (088.8) Комитет по делам изобретеиий и открытий при Сосете Мииистрое

СССР

Опубликовано 10.VII.1969. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 12.XI I.1969

Авторы изобретения

Г. Я. Умаров, В. С. Трухов, IO. Е. Ключевский, У. Х. Газиев и Е. П. Орда

Физико-технический институт AH Узбекской ССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к производству напыления металлов на подложку.

Известны устройства для напыления металлов в вакууме, содержащие испарительный элемент, механизмы подачи металлов на него и перемещения подложки.

Для создания устройства с равномерным износом испарительного элемента испарительный элемент устанавливается с возможностью перемещения относительно механизма подачи металла, выполненного в виде качающегося рычага.

Это повышает производительность- устройства.

На чертеже изображено предлагаемое устройство для напыления металлов в вакууме.

Оно состоит из трех основных частей: механизма подачи ленты распыляемого металла на испаритель, испарителя и механизма перемещения подложки. Механизм подачи ленты на испаритель выполнен в виде качающегося рычага, совершающего колебания относительно оси 1. Этот механизм приводится в колебательное движение с помощью вращающегося кулачка 2 и ролика 8, опирающегося на кулачок и закрепленного на верхнем плече рычага

4. На нижнем плече рычага крепятся цилиндрический ролик 5, на который наматывается запас металлической ленты б, предназначенной для распыления, и цилиндрический ролик

7, выполняющий роль прижимного и подающего. При движении вверх нижнего плеча механизма подачи рычаг 8 храпового механизма 9, 10 упирается в упор 11, вследствие чего храповик 9 и связанный с ним подающий ролик 7 поворачиваются против часовой стрелки, выдвигая часть 12 металлической ленты по направляющему желобку 18.

При опускании нижнего плеча рычага механизма подачи вниз выдвинутая часть 12 металлической ленты соприкасается с раскаленной поверхностью вольфрамового стержня 14, который сплавляется и испаряется.

Испарительный элемент устройства состоит из вольфрамового стержня 14, нагреваемого электрическим током и закрепленного с помощью изоляторов 15 на подвижной тележке 1б.

Тележка 1б с помощью кривошипно-шатунно20 го механизма связана кинематически с приводом кулачка 2 и совершает возвратно-поступательное движение по дну вакуумной камеры.

Благодаря такому движению тележки каждая последующая порция расплавленного металла

25 ложится на новое место вольфрамового стержня испарителя, что обеспечивает равномерность износа стержня.

Механизм движения подложки 17 состоит из направляющих валиков 18, которые кинеЗО матически связаны с движением кулачка, 248420

Предмет изобретения

17

Вакуумная камеРа

Составитель Н. Щередина

Редактор М. Афанасьева Техред А. А. Камышникова Корректор А. П. Васильева

Заказ 3211/17 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

Устройство для напыления металлов в вакууме, содержащее испарительный элемент, механизмы подачи металла на него и перемещения подложки, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройства, испарительный элемент установлен с возможностью перемещения относительно механизма подачи металла, выполненного в виде качающегося рычага.