Станок-полуавтомат для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов

Станок-полуавтомат для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сок!з Советских

Со!тиалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 49с, 19

49/, 12

Заявлено 26.Хff.1961 (J9 757317,25-8} с присоединением заявки ¹вЂ”

МПК В 23!1

Б 23р

УДК—

Приоритет

Опубликовано 10.Vfl.1969. Б;оллетень № 23

Дата опубликсвания описания 11.XII.1969

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Ф. Х. Набиуллин, Р. Г. Адамян, Е. М. Герцик, В. M. Долгое, У. И. Ушко, l0. Н. Целов и В. П. Шаранов

Заявитель

СТАНОК-ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ РАЗРЕЗАНИЯ ЛИСТОВЫХ

ЗАГОТОВОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

В известных станках для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов на многоугольные пластины режущим инструментом служит быстро вращающийся алмазный диск либо тонкая проволока, смачиваемая абразивной суспензией, а обрабатываемые заготовки крепятся приклеиванием к планшайбе, В предлагаемом станке-полуавтомате для повышения, производительности заготовки надрезают алмазными резцами на многопозиционном поворотном столе, а для крепления заготовок к столу:применены вакуумные присосы. Постоянное соприкосновение резцов с плоскостью резания достигается установкой последних в подпружиненных головках, качающихся в плоскости, перпендикулярной плоскости резания. Станок снабжен вибролотком, в котором заготовки разламываются на пластины.

На фиг. 1 схематически изображен станокполуавтомат (вид сверху); на фиг. 2 — узел установки и крепления алмазного резца.

Станок-.полуавтомат состоит из узла 1 резания, многопозиционного поворотного стола 2, механизма 8 съема, привода 4 и распределительного устройства 5.

Заготовки укладыватот на базовые выступы 6 поворотного стола и центрируют относительно штифтов 7. При создании вакуума в камере 8 и каналах 9 заготовка атмосферным давлением плотно прижимается к поворотному столу. На позициях резания она надрсзается,во взаимно перпендикулярных направле5 ниях.

Алмазный резец 10 зачеканен в оправку, закрепленную стопорным винтом в резцедержателе 11, шарнирно соединенном для изменения угла установки резца с псдпружинен10 ной головкой 12, которая качается в плоскости, перпенд!!кулярной плоскости резания.

Надрезанные заготовки снимаются с поворотного стола 2 механизмом 8 сьема и передаются в вибролоток (на чертеже не показап), где

15 разламываются по линиям надреза.

Для изготовления прямоугольных пласт ин механизмы резания устанавливаются параллельно, а для изготовления пластин треугольной формы нужно установить три механизма резания.

Станок-полуавтомат обладает высокой производительностью. При 20 рабочих тактах в минуту выработка за 7 час составляет 8400 заготовок или, например, ilpo1111ìÿÿ средний диаметр заготовки 40 ттлт, а полезньш выход при производстве фотопреобразсвателей—

65%, суммарная выработка составляет

3,14 4 8400 . 0,65

30 4 10000

Фиг. l

12 ва уу

Фиг, 2

Редактор Н. С. Коган Техред Т. П. Курилко Корректоры: Е. Ласточкина и В. Петрова

Заказ 3254/18 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Станок-полуавтомат прост в обслуживании и наладке, надежен в эксплуатации.

Предмет изобретения

Станок-полуавтомат для разрезания листовых заготовок полупроводниковых материалов на многоугольные пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения, производительности, он выполнен в виде многопозиционното гово ротного стола с вакуумными присосами на рабочих и разпрузочных позициях и качающихся в,плоскости, перпендикулярной плос5 кости резания, головок с алмазными резцами, осуществляющими надрезание заготовок, и вибролотка, в котором заготовки разламываются на пластины.