Способ изготовления спектроделителей " "^

Способ изготовления спектроделителей " "^

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП И САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.VI I 1.1967 (№ 1180063/26-25) с присоединением заявки №

Присритет

Опубликовано 18Х!1.1969. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 22.XII.1969

К,л. 42h, 20/01

МПК G 01j

УДК 535.345.6(088.8) Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

A Фур ан, Л. Б. Кацнельсон и Н. Ф. Макаров

Заявитель

1 тд. чс ) 1г1

СПОСОБ ИЗ ГОТОВЛ EH ИЯ СП ЕКТРОДЕЛ ИТЕЛ ЕЙ

Известные способы изготовления пнтерференционных спектроделителей из чередующихся слоев с выcîêèì и низким показателями преломления основаны на фотометрическом контроле толщин слоев при длине волны 7ю.

Такие способы удобны при контроле четвертьволповых слоев. Однако они не обеспечивают требуемой точности при контроле последнего .слоя, оптическая толщина которого для получения гладкой спектральной характеристики в области высокого пропускания должна отличаться от /,/4.

В предлагаемом способе в отличие от известных последний слой наносят до такой толщины, при которой пропускание спектроделителя становится максимальным в области спектра, соответствующей высокому пропусканию спектроделителя.

Предлагаемьш способ заключается в следующем.

Подложки, на которые следует нанести многослойное покрытие, образующее спектроделитель, помеща|от в вакуумную камеру. По одной из подложек в процессе напыления слоев производится контроль толщины с помощью фотометрического устройства. Иа эту подло>кку направляют лучистый поток от источника сплошного спектра, например лампы накаливания. Прошедшии ооразец поток проектируют на вход блока монохроматизации, расположенный вне вакуумной камеры. Выделенньш этим блоком лучистый поток заданного спектрального состава направляют на приемник лучистой энергии, например фотоумножитель.

Сигнал, возникающий на приемнике, подают на регистрирующее устройство, отсчет которого линейно связан с пропусканием образца.

Сначала испарением в вакууме наносят чередующиеся четвертьволновые слои с высоким и низким показателями преломления. Их толщину контролируют прп длине волны 7чь соответствующей наибольшему отраженшо спектроделителя. О том, что оптическая голщина слоя становится равной 7о/4, судят по достижению Ila регистрирующем устройстве экстремального отсчета.

После нанесения четвертьволновых слоев спектральная характеристика в области высокого отражения получается сформированной, 20 а в области высокого пропускания имеет провалы и горбы.

Для сглаживания в этой области спектральной характеристики наносят еще один или несколько слоев. Причем предварительно пере25 настраивают фотометрическое устройство. Поток, прошедший через контрольньш образец, направляют на фильтр, выделяющий широкую спектральную область, соответствующую области высо.<ого пропускания спектроделителя.

30 11апыление последнего слоя заканчивают прп достижении максимального отсчета на регистрирующем устройстве.

Спектральная характеристика спектроделителя получается гладкой и интегральное пропускание в области высокого пропускания возрастает.

Предмет изобретения

Способ изготовления спектроделителей из чередующихся Х/4 слоев с высоким и низким показателями преломления с фотометрическим контролем толщин наносимых слоев, отличаюцийся тем, что, с целью сглаживания спекгральной характеристики и увеличения интег5 рального пропускания в области высокого пропускания, последний слой наносят, измеряя пропускание в спектральной области, соответствующей высокому пропусканию спектроделителя, до достижения максимального значе10 ния величины пропускания.

Составитель М. В. Пантелеев

Редактор Т. В. Даиикова Техред А. А. Камышникова Корректор С. М. СигаЛ

Заказ 3423(7 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2