Датчик для измерения усилий

Датчик для измерения усилий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИГРАНИ Е

252696

Союз Совотскик

Социалистическик

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл, 42k, 4

Заявлено 16.II,1968 (№ 1218621/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.1Х.1969. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 5.И.1970

МПК G 011

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК, 681.2.083.2:531.787. .913:621.315.592 (088.8) Авторы изобретения

М. И. Елинсон, В. И. Покалякин и Г. В. Степанов

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Заявитель

ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УСИЛИЙ

„1, Известны датчики для измерения усилий, содержащие полупроводниковый кристалл а-типа и другой элемент, между которыми образуется запорный слой.

Предложенный датчик отличается от известных тем, что в качестве другого элемента используется металлическая пленка.

Такой датчик благодаря малой глубине залегания запорного слоя от поверхности датчика и использованию одного типа носителей заряда (электроны) обладает более высокой чувствительностью и имеет лучшие час1отнь1е, свойства.

На фиг. 1 приведена схема описываемого датчика; на фиг. 2 — энергетическая диаграмма диода.

Датчик для измерения усилий содержит полупроводниковый кристалл 1 п-типа, на поверхность которого нанесена тонкая пленка 2 металла. Запорный слой 8 между металлом и полупроводниковым кристаллом обладает ярко выраженными выпрямительными свойствами. К кристаллу 1 и пленке 2 подведены контакты 4 и 5, причем контакт 5 к кристаллу 1 является омическим.

При подаче напряжения смещения от источника б в обратном направлении через слой 3 течет незначительный по величине обратный ток, величина которого определяется высотой контактного барьера q> на границе металл— полупроводник.

На поверхности пленки 2 укреплена игла 7, передающая усилие от рупора 8. Давление иглы 7 приводит к уменьшению ширины высоты контактного барьера ср, а следовательно, к резкому увеличению обратного тока. Экспсримент на системе кремний — золото при радиусе иглы 1 лткн и усилии, приложенном к игле в несколько миллиграмм, показал, что коэффициент чувствительности достигает величинbI 10с.

Предмет изобретения

Датчик для измерения усилий, содержащий полупроводниковый кристалл и-типа и другой элемент, между которыми создается запорный слой, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности и улучшения частотных свойств, в качестве другого элемента исполь25 зована металлическая пленка.

252696

Фиг.!

Фиг. Я

Составитель И. Федоров

Редактор Т. Рыбалова Техред А. А. Камышникова Корректор А. П. Васильева

Заказ 1б2717 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2