Исполнительный механизм, оптический сканер и устройство формирования изображения

Исполнительный механизм, оптический сканер и устройство формирования изображения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Область техники

[0001] Изобретение относится к исполнительному механизму, оптическому сканеру и устройству формирования изображения.

Уровень техники

[0002] Известны исполнительные механизмы, в которых используются торсионные вибраторы (см., например, PTL 1).

Например, в PTL 1 раскрыт световой дефлектор, в котором предусмотрены подвижная пластина (подвижная часть), опорная рама (опорная часть) и одна пара упругих опорных частей (соединительных частей), которые поддерживают подвижную пластину так, чтобы она могла торсионно вращаться относительно опорной рамы, и каждая упругая опорная часть образована двумя стойками (поперечинами).

Подвижная пластина, опорная рама и одна пара упругих опорных частей сформированы как единое целое путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, главная поверхность которой образована плоскостью (100), сформированной из кремния.

[0003] Кроме того, в световом дефлекторе согласно PTL 1, подвижная пластина образует восьмиугольник в виде сверху. Подвижная пластина, которая образует такую форму в виде сверху, снижает вес подвижной пластины в позиции, расположенной далеко от оси вращения (оси колебания), что обеспечивает преимущество снижения момента инерции.

Однако в случае когда подвижная пластина, имеющая форму восьмиугольника в виде сверху, изготавливается посредством анизотропного травления, как описано выше, существует большая изменчивость формы вследствие связи с кристаллографическими плоскостями.

Библиография

Патентный источник

[0003] PTL 1: JP-A-2010-79243

Сущность изобретения

Техническая проблема

[0005] Задачей изобретения является обеспечение исполнительного механизма, оптического сканера и устройства формирования изображения, способного снижать момент инерции во время колебания подвижной части путем снижения изменчивости формы подвижной части во время изготовления.

Решение проблемы

[0006] Такая задача решается посредством описанного ниже изобретения.

Исполнительный механизм согласно изобретению отличается тем, что включает в себя: подвижную часть, которая может колебаться относительно оси колебания; соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; и опорную часть, которая поддерживает соединительную часть, причем подвижная часть образует крестообразную форму в виде сверху с направления толщины подвижной части.

Согласно такому исполнительному механизму изобретения изменчивость формы подвижной части можно снизить в процессе производства. Таким образом, можно снизить момент инерции во время колебания подвижной части.

[0007] В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы внешняя форма подвижной части в виде сверху с направления толщины была, в основном, образована отрезком, который параллелен к оси колебания, и отрезком, который вертикален к оси колебания.

Соответственно можно снизить изменчивость формы подвижной части в процессе производства.

В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы подвижная часть, опорная часть и соединительная часть были сформированы путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки.

Соответственно изменчивость формы снижается, и соответственно легко сформировать подвижную часть, опорную часть и одну пару соединительных частей.

[0008] В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы поверхность пластины подвижной части была образована плоскостью (100) кремния.

Соответственно благодаря осуществлению анизотропного травления для кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100), изменчивость формы можно снизить, что облегчает формирование подвижной части, опорной части и одной пары соединительных частей.

[0009] В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы боковая поверхность подвижной части была, в основном, образована плоскостью (111) кремния.

Соответственно благодаря осуществлению анизотропного травления для кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100), изменчивость формы можно снизить, используя плоскость (111) кремния в качестве слоя остановки травления. Таким образом, легко сформировать подвижную часть, опорную часть и одну пару соединительных частей.

[0010] В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы на боковой поверхности подвижной части была сформирована канавка, которая образует V-образную форму в поперечном сечении, перпендикулярном поверхности пластины подвижной части.

Соответственно можно снизить момент инерции подвижной части. Кроме того, для такой канавки, благодаря осуществлению анизотропного травления для кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100), изменчивость формы можно снизить, используя плоскость (111) кремния в качестве слоя остановки травления. Таким образом, облегчается формирование подвижной части.

В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы поверхность соединительной части была образована плоскостью (100) кремния и плоскостью (111) кремния.

Соответственно использование плоскости (111) кремния в качестве слоя остановки травления позволяет снизить изменчивость формы, что облегчает формирование соединительной части.

[0011] В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы подвижная часть образовывала форму, симметричную относительно оси колебания подвижной части в виде сверху с направления толщины.

Соответственно центр тяжести подвижной части располагается на оси колебания подвижной части, что позволяет подвижной части плавно колебаться.

В исполнительном механизме изобретения предпочтительно, чтобы подвижная часть образовывала форму, симметричную относительно отрезка, который проходит через центр подвижной части в виде сверху с направления толщины, и вертикальную к оси колебания подвижной части.

Соответственно конструкция подвижной части легко осуществима.

[0012] Исполнительный механизм изобретения отличается тем, что включает в себя: подвижную часть, которая может колебаться относительно оси колебания; соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; и опорную часть, которая поддерживает соединительную часть, причем подвижная часть образует форму, полученную исключением четырех угловых частей, имеющих прямоугольную форму, прямоугольника в виде сверху с направления толщины подвижной части.

Согласно такому исполнительному механизму изобретения можно снизить изменчивость формы подвижной части в процессе производства, что позволяет снизить момент инерции во время колебания подвижной части.

[0013] Оптический сканер изобретения отличается тем, что включает в себя: подвижную часть, которая включает в себя светоотражающую часть, обладающую светоотражательной способностью, и может колебаться относительно оси колебания; соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; и опорную часть, которая поддерживает соединительную часть, причем подвижная часть образует крестообразную форму в виде сверху с направления толщины подвижной части.

Согласно оптическому сканеру, сконфигурированному вышеописанным образом, изменчивость формы подвижной части можно снизить в процессе производства. Таким образом, можно снизить момент инерции во время колебания подвижной части.

[0014] Оптический сканер изобретения отличается тем, что включает в себя: подвижную часть, которая включает в себя светоотражающую часть, обладающую светоотражательной способностью, и может колебаться относительно оси колебания; соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; и опорную часть, которая поддерживает соединительную часть, причем подвижная часть образует форму, полученную исключением четырех угловых частей, имеющих прямоугольную форму, прямоугольника в виде сверху с направления толщины подвижной части.

Согласно оптическому сканеру, сконфигурированному вышеописанным образом, изменчивость формы подвижной части можно снизить в процессе производства. Таким образом, можно снизить момент инерции во время колебания подвижной части.

[0015] Устройство формирования изображения изобретения отличается тем, что включает в себя: источник света, который излучает свет; и оптический сканер, который осуществляет сканирование светом, излучаемым из источника света, причем оптический сканер включает в себя: подвижную часть, которая включает в себя светоотражающую часть, обладающую светоотражательной способностью, и может колебаться относительно оси колебания; соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; и опорную часть, которая поддерживает соединительную часть, причем подвижная часть образует крестообразную форму в виде сверху с направления толщины подвижной части.

Согласно устройству формирования изображения, сконфигурированному вышеописанным образом, изменчивость формы подвижной части можно снизить в процессе производства. Таким образом, можно снизить момент инерции во время колебания подвижной части. Соответственно высококачественное изображение можно получить с низкими затратами.

[0016] Устройство формирования изображения изобретения отличается тем, что включает в себя: источник света, который излучает свет; и оптический сканер, который осуществляет сканирование светом, излучаемым из источника света, причем оптический сканер включает в себя: подвижную часть, которая включает в себя светоотражающую часть, обладающую светоотражательной способностью, и может колебаться относительно оси колебания; соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; и опорную часть, которая поддерживает соединительную часть, причем подвижная часть образует форму, полученную исключением четырех угловых частей, имеющих прямоугольную форму, прямоугольника в виде сверху с направления толщины подвижной части.

Согласно устройству формирования изображения, сконфигурированному вышеописанным образом, изменчивость формы подвижной части можно снизить в процессе производства. Таким образом, можно снизить момент инерции во время колебания подвижной части. Соответственно высококачественное изображение можно получить с низкими затратами.

Краткое описание чертежей

[0017] Фиг. 1 - вид сверху, демонстрирующий оптический сканер (исполнительный механизм) согласно первому варианту осуществления изобретения.

Фиг. 2 - вид в разрезе, взятый по линии А-А, показанной на фиг. 1.

Фиг. 3 - вид сверху, демонстрирующий подвижную пластину, которая включена в оптический сканер, показанный на фиг. 1.

Фиг. 4 - вид в разрезе, взятый по линии В-В, показанной на фиг. 1.

Фиг. 5 - частично увеличенный вид в разрезе оптического сканера, показанного на фиг. 4.

Фиг. 6 - вид в разрезе, демонстрирующий способ изготовления оптического сканера, показанного на фиг. 1.

Фиг. 7 - вид в разрезе, демонстрирующий способ изготовления оптического сканера, показанного на фиг. 1.

Фиг. 8 - вид в разрезе, демонстрирующий способ изготовления оптического сканера, показанного на фиг. 1.

Фиг. 9 - схема, демонстрирующая формирование соединительной части в процессе травления, показанном на фиг. 8(e) (в случае отсутствия рассогласования масок).

Фиг. 10 - схема, демонстрирующая формирование соединительной части в процессе травления, показанном на фиг. 8(e) (в случае наличия рассогласования масок).

Фиг. 11 - вид сверху, демонстрирующий оптический сканер согласно второму варианту осуществления изобретения.

Фиг. 12 - частично увеличенный вид в разрезе, взятый по линии В-В, показанной на фиг. 11.

Фиг. 13 - вид сверху, демонстрирующий подвижную пластину, которая входит в состав сканера согласно третьему варианту осуществления изобретения.

Фиг. 14 - вид сверху, демонстрирующий подвижную пластину, которая входит в состав сканера согласно четвертому варианту осуществления изобретения.

Фиг. 15 - схема, демонстрирующая пример конфигурации устройства формирования изображения согласно изобретению.

Описание вариантов осуществления

[0018] В дальнейшем исполнительные механизмы, оптические сканеры и устройства формирования изображения согласно предпочтительным вариантам осуществления изобретения будут описаны со ссылкой на прилагаемые чертежи. В этом варианте осуществления в качестве примера будет описан случай, когда исполнительный механизм согласно изобретению применяется к оптическому сканеру.

Первый вариант осуществления

Прежде всего, будет описан оптический сканер согласно первому варианту осуществления изобретения.

Фиг. 1 - вид сверху, демонстрирующий оптический сканер (исполнительный механизм) согласно первому варианту осуществления изобретения. Фиг. 2 - вид в разрезе, взятый по линии А-А, показанной на фиг. 1. Фиг. 3 - вид сверху, демонстрирующий подвижную пластину, которая включена в оптический сканер, показанный на фиг. 1. Фиг. 4 - вид в разрезе, взятый по линии В-В, показанной на фиг. 1. Фиг. 5 - частично увеличенный вид в разрезе оптического сканера, показанного на фиг. 4. Фиг. 6 - вид в разрезе, демонстрирующий способ изготовления оптического сканера, показанного на фиг. 1. Фиг. 7 - вид в разрезе, демонстрирующий способ изготовления оптического сканера, показанного на фиг. 1. Фиг. 8 - вид в разрезе, демонстрирующий способ изготовления оптического сканера, показанного на фиг. 1. Фиг. 9 - схема, демонстрирующая формирование соединительной части в процессе травления, показанном на фиг. 8(e) (в случае отсутствия рассогласования масок). Фиг. 10 - схема, демонстрирующая формирование соединительной части в процессе травления, показанном на фиг. 8(e) (в случае наличия рассогласования масок). В дальнейшем, для удобства описания, на фиг. 2, 4-10, верхняя сторона именуется "верх", и нижняя сторона именуется "низ".

[0020] Как показано на фиг. 1, оптический сканер 1 включает в себя: тело 2 основы, которое имеет вибрационную систему; опорное тело 3, которое поддерживает тело 2 основы; и блок 4 привода, который сообщает колебательное движение вибрационной системе тела 2 основы.

Кроме того, тело 2 основы включает в себя подвижную пластину (подвижную часть) 21, в которой располагается светоотражающая часть 211, одну пару соединительных частей 23 и 24, которые соединены с подвижной пластиной 21, и опорную часть 22, которая поддерживает одну пару соединительных частей 23 и 24. Опорную часть 22 можно описать как поддерживающую подвижную пластину 21 через соединительные части 23 и 24, и одну пару соединительных частей 23 и 24 можно описать как соединяющую подвижную пластину 21 и опорную часть 22.

В оптическом сканере 1, в зависимости от движущего усилия блока 4 привода, при торсионной деформации соединительных частей 23 и 24, подвижная пластина 21 вращается вокруг заранее определенной оси вдоль соединительных частей 23 и 24. Соответственно свет, отраженный светоотражающей частью 211, может совершать сканирующее действие в одном заранее определенном направлении.

[0021] В дальнейшем, части, образующие оптический сканер 1, будут последовательно подробно описаны.

Тело основы

Тело 2 основы, как описано выше, включает в себя подвижную пластину 21, в которой располагается светоотражающая часть 211, опорную часть 22, которая поддерживает подвижную пластину 21, и одну пару соединительных частей 23 и 24 которые соединяют подвижную пластину 21 и опорную часть 22.

[0022] Тело 2 основы состоит из кремния в качестве своего главного материала, и подвижная пластина 21, опорная часть 22 и соединительные части 23 и 24 сформированы как единое целое. В частности, тело 2 основы, как подробно описано ниже, сформировано путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100) кремния. Путем осуществления такого анизотропного травления, подвижную пластину 21, опорную часть 22 и одну пару соединительных частей 23 и 24 можно формировать простым образом с высокой точностью, используя плоскость (111) кремния в качестве слоя остановки травления. При этом, в общем случае, в качестве кремниевой подложки, используется монокристаллическая кремниевая подложка.

Кроме того, верхняя поверхность и нижняя поверхность тела 2 основы соответственно образованы плоскостью (100) кремния. Кроме того, внутренняя периферийная поверхность опорной части 22, боковая поверхность подвижной пластины 21 и части боковых поверхностей соединительных частей 23 и 24, которые параллельны осевой линии X соответственно образованы плоскостью (111) кремния.

[0023] Кроме того, кремний является легким материалом и обладает устойчивостью к уровню SUS. Таким образом, поскольку тело 2 основы состоит из кремния в качестве своего главного материала, можно получить тело 2 основы, имеющее высокие вибрационные характеристики. Кроме того, кремний можно обрабатывать с высокой точностью размеров посредством травления, как описано ниже. Таким образом, посредством формирования тело 2 основы с использованием кремниевой подложки, можно получить тело 2 основы, имеющее нужную форму (нужные вибрационные характеристики).

[0024] В дальнейшем, тело 2 основы будет описано более подробно.

Опорная часть 22, как показано на фиг. 1, имеет форму рамы. В частности, опорная часть 22 образует форму квадратного кольца. Опорная часть 22 поддерживает подвижную пластину 21 посредством одной пары соединительных частей 23 и 24. Форма опорной части 22 не имеет конкретных ограничений при условии, что она может поддерживать подвижную пластину 21 посредством одной пары соединительных частей 23 и 24. Таким образом, например, опорная часть 22 может иметь форму, которая разделена в соответствии с соединительными частями 23 и 24.

На внутренней стороне опорной части 22 располагается подвижная пластина 21.

[0025] Подвижная пластина 21 образует форму пластины. В этом варианте осуществления подвижная пластина 21 имеет форму (крестообразную форму), полученную удалением четырех углов из прямоугольника (в этом варианте осуществления квадрата) в виде сверху с направления толщины пластины подвижной пластины 21. Соответственно благодаря тому что область (светоотражающая область) светоотражающей части 211, расположенной на верхней поверхности подвижной пластины 21, в достаточной степени обеспечена, можно снизить момент инерции во время вращения подвижной пластины 21. Кроме того, как подробно описано ниже, путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, подвижную пластину 21 можно формировать с высокой точностью простым образом.

[0026] В частности, как показано на фиг. 3, подвижная пластина 21 образована главной частью 212 тела, одной парой выступов 213 и 214, которые выступают из главной части 212 тела в обе стороны в направлении, параллельном осевой линии X, и одной парой выступов 215 и 216, которые выступают из главной части 212 тела в обе стороны в направлении (направлении, параллельном отрезку Y), перпендикулярном осевой линии X. Соответственно подвижная пластина 21 образует крестообразную форму в виде сверху с направления толщины пластины.

[0027] Кроме того, между выступом 213 и выступом 215 в направлении, проходящем вдоль внешней периферии подвижной пластины 21, сформирована недостающая часть 251. Между выступом 213 и выступом 216 в направлении, проходящем вдоль внешней периферии подвижной пластины 21, сформирована недостающая часть 252. Кроме того, между выступом 214 и выступом 216 в направлении, проходящем вдоль внешней периферии подвижной пластины 21, сформирована недостающая часть 254. Между выступом 214 и выступом 215 в направлении, проходящем вдоль внешней периферии подвижной пластины 21, сформирована недостающая часть 253.

Другими словами, в виде сверху с направления толщины пластины подвижной пластины 21, вдоль внешней периферии подвижной пластины 21, недостающая часть 251, выступ 213, недостающая часть 252, выступ 216, недостающая часть 254, выступ 214, недостающая часть 252 и выступ 215 располагаются так, чтобы выравниваться в этом порядке.

[0028] Кроме того, недостающая часть 251 и недостающая часть 252 обращены друг к другу через выступ 213. Недостающая часть 252 и недостающая часть 254 обращены друг к другу через выступ 216. Кроме того, недостающая часть 253 и недостающая часть 254 обращены друг к другу через выступ 214. Недостающая часть 251 и недостающая часть 253 обращены друг к другу через выступ 215.

Каждый из выступов 213-216 и недостающих частей 251-254 образует прямоугольник в виде сверху с направления толщины пластины подвижной пластины 21. На фиг. 1 и 3, в качестве примера проиллюстрировано состояние, в котором форма в виде сверху каждой из недостающих частей 251-254 образует квадрат. В каждом углу внешней крестообразной формы подвижной пластины 21, образуется не только заранее определенная кристаллографическая плоскость, но и множество кристаллографических плоскостей. Соответственно каждая угловая часть образует не в точности прямой угол, и каждая из недостающих частей 251-254 не является точным прямоугольником. Однако в этом варианте осуществления предполагается, что каждая из недостающих частей 251-254 является прямоугольником, который включает в себя вышеописанное состояние.

[0029] Внешняя форма подвижной пластины 21 в виде сверху с направления толщины пластины в основном, образована отрезком, который параллелен центральной оси вращения (осевой линии X) подвижной пластины 21, и отрезком (отрезком Y), который перпендикулярен центральной оси вращения (осевой линии X) подвижной пластины 21. Соответственно, как описано ниже, путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, подвижную пластину 21 можно формировать с высокой точностью простым образом. Кроме того, на углу внешней крестообразной формы подвижной пластины 21, образуется не только заранее определенная кристаллографическая плоскость, но и множество кристаллографических плоскостей. Соответственно внешняя форма угловой части в виде сверху с направления толщины пластины подвижной пластины 21 не обязательно является отрезком, который параллелен осевой линии X, или отрезком Y. Другими словами, внешняя форма подвижной пластины 21 в виде сверху с направления толщины пластины образована отрезком, параллельным осевой линии X, и отрезком, параллельным отрезку Y за исключением, по меньшей мере, углов подвижной пластины 21.

Кроме того, подвижная пластина 21 образует форму, симметричную относительно центральной оси вращения (осевой линии X) подвижной пластины 21 в виде сверху. Соответственно центр тяжести подвижной пластины 21 легко располагать на центральной оси вращения подвижной пластины 21, что позволяет обеспечить плавное вращение подвижной пластины 21.

[0030] Кроме того, подвижная пластина 21 имеет форму, которая проходит через центр Р подвижной пластины 21 в виде сверху и симметрична относительно отрезка Y, который перпендикулярен центральной оси вращения (осевой линии X) подвижной пластины 21. Соответственно конструкцию подвижной пластины можно осуществлять простым образом.

Кроме того, поверхность пластины подвижной пластины 21 образована плоскостью (100) кремния. Соответственно, как описано ниже, путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100), подвижную пластину 21, опорную часть 22 и одну пару соединительных частей 23 и 24 можно формировать с высокой точностью простым образом.

[0031] Кроме того, боковая поверхность подвижной пластины 21 в основном, образована плоскостью (111) кремния. Соответственно, как описано ниже, путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100), подвижную пластину 21, опорную часть 22 и одну пару соединительных частей 23 и 24 можно формировать с высокой точностью простым образом, используя плоскость (111) кремния в качестве слоя остановки травления. Кроме того, на углах внешней формы в виде сверху с направления толщины пластины подвижной пластины 21, боковая поверхность подвижной пластины 21 включает в себя кристаллографическую плоскость, отличную от плоскости (111). Соответственно боковая поверхность подвижной пластины 21 образована плоскостью (111) кремния за исключением, по меньшей мере, боковой поверхности на углу.

[0032] Кроме того, на боковой поверхности подвижной пластины 21, сформирована канавка 217, горизонтальное поперечное сечение образует V-образную форму. Соответственно момент инерции подвижной пластины 21 можно снизить. Кроме того, путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100), канавку можно формировать с высокой точностью простым образом, используя плоскость (111) кремния в качестве слоя остановки травления.

[0033] Кроме того, когда длина подвижной пластины 21 в направлении (в дальнейшем, также именуемом "направление отрезка Y"), вертикальном к центральной оси вращения (осевой линии X) в виде сверху с направления толщины пластины, равна А, длина подвижной пластины 21 в направлении (в дальнейшем, также именуемом "направление осевой линии X"), параллельном центральной оси вращения (осевой линии X), равна В, длина каждой из недостающих частей 251-254 в направлении отрезка Y равна а, и длина каждой из недостающих частей 251-254 в направлении осевой линии X равна b, выполняются следующие выражения (А) и (В).

[0034]

[0035] В случае выполнения вышеописанных выражений (А) и (В), хотя обеспечена область светоотражающей части 211 подвижной пластины 21, которая необходима для отражения света, момент инерции во время вращения подвижной пластины 21 можно эффективно снижать.

Напротив, в случае когда длины а и b меньше вышеописанных нижних пределов, эффект снижения момента инерции во время вращения подвижной пластины 21 обычно невелик. Соответственно в зависимости от толщины подвижной пластины 21, движение изгиба подвижной пластины 21 возрастает, что является причиной ухудшения оптических характеристик оптического сканера 1.

[0036] С другой стороны, в случае когда длины а и b превышают вышеописанные верхние пределы, область светоотражающей части 211 подвижной пластины 21 не удается эффективно использовать, и интенсивность света, отраженного от светоотражающей части 211, имеет тенденцию к снижению.

Кроме того, на фиг. 3, в случае когда вышеописанные выражения (А) и (В) выполняются, подвижная пластина 21А в случае, когда длины а и b соответственно максимальны, и подвижная пластина 21В в случае, когда длины а и b соответственно минимальны, обозначены пунктирными линиями.

[0037] В дальнейшем выражения (А) и (В) будут кратко описаны.

Как показано на фиг. 3, в случае когда пятно света L, имеющее круглую форму или овальную форму, вписано в подвижную пластину 21 в виде сверху, площадь каждой из недостающих частей 251-254 максимальна вне пятна света L, когда a=(l-l/√2)A и b=(1-1/√2)В.

Кроме того, в таком случае, длина а максимальна, и длина b минимальна в диапазоне, в котором эффект формирования недостающих частей 251-254 получается, когда угол Р3 каждой из недостающих частей 251-254 располагается на пересечении Р2 отрезка, наклоненного относительно осевой линии X на 30 градусов, и внешнего периметра пятна света L.

[0038] Кроме того, в таком случае, длина а минимальна, и длина b максимальна в диапазоне, в котором эффект формирования недостающих частей 251-254 получается, когда угол Р3 каждой из недостающих частей 251-254 располагается на пересечении Р1 отрезка, наклоненного относительно осевой линии X на 60 градусов, и внешнего периметра пятна света L.

[0039] Кроме того, в общем случае, эффективный диапазон диаметра пятна лазерного пучка, который обычно используется в качестве света L, рассматривается как диапазон, в котором диаметр больше или равен 1/е² пиковой яркости. Соответственно, в случае когда эффективный диапазон находится внутри светоотражающей части 211, можно осуществлять идеальное отражение света.

Однако даже в случае когда диаметр пятна фактического лазерного пучка выходит за пределы вышеописанного эффективного диапазона, в нем присутствует малое количество света. Таким образом, даже в случае когда длины а и b немного больше или меньше вышеописанных значений, можно разрешить практическое использование лазерного пучка без проблем.

В частности, допустимые значения длин а и b, полученные вышеописанным образом, можно задать равными -20% или более и +200% или менее.

[0040] Как описано выше, можно получить вышеописанные выражения (А) и (В).

На верхней поверхности подвижной пластины 21, располагается светоотражающая часть 211, имеющая светоотражательную способность. С другой стороны, на нижней поверхности подвижной пластины 21, располагается постоянный магнит 41 блока 4 привода, который будет описан ниже. Кроме того, постоянный магнит 41 будет подробно описан в описании блока 4 привода, который будет описан ниже.

Каждая из соединительных частей 23 и 24 образует форму прямоугольника и выполнена с возможностью упругой деформации. Кроме того, соединительная часть 23 и соединительная часть 24 обращены друг к другу через подвижную пластину 21. Соединительные части 23 и 24 соединяют подвижную пластину 21 и опорную часть 22 таким образом, что подвижная пластина 21 может вращаться вокруг опорной части 22. Одна пара соединительных частей 23 и 24 располагается так, чтобы иметь одну и ту же ось, проходящую вдоль осевой линии X, и подвижная пластина 21 вращается относительно опорной части 22 относительно осевой линии X, которая является ее центральной осью вращения.

[0041] В этом варианте осуществления, как показано на фиг. 1, соединительная часть 23 образована одной парой поперечин 231 и 232. Аналогично, соединительная часть 24 образована одной парой поперечин 241 и 242. В дальнейшем, соединительная часть 23 будет описана в порядке примера. Поскольку соединительная часть 24 аналогична соединительной части 23, ее описание будет опущено.

Поперечины 231 и 232 располагаются вдоль осевой линии X и обращены друг к другу через осевую линию X. Кроме того, форма горизонтального поперечного сечения каждой из поперечин 231 и 232 образует параллелограмм.

[0042] В частности, внешняя форма горизонтального поперечного сечения каждой из поперечин 231 и 232 образует параллелограмм, который образован одной парой сторон, расположенных вдоль (100) кремния, и одной парой сторон, расположенных вдоль плоскости (111) кремния. Другими словами, в поперечине 231, верхняя поверхность 2311 и нижняя поверхность 2312 образованы плоскостями (100) кремния, и одна пара боковых поверхностей 2313 и 2314 образована плоскостями (111) кремния. Аналогично, в поперечине 232, верхняя поверхность 2321 и нижняя поверхность 2322 образованы плоскостями (100) кремния, и одна пара боковых поверхностей 2323 и 2324 образована плоскостями

(111) кремния. При этом, поскольку боковые поверхности 2313, 2324, 2323 и 2324 образованы плоскостями (111) кремния, угол наклона θ относительно верхней поверхности или нижней поверхности (то есть плоскости (100) кремния) тела 2 основы равен 54,73 градусов. Каждая из поперечин 231 и 232, которые образуют форму горизонтального поперечного сечения можно надежно формировать простым образом путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100) кремния.

В случае когда внешняя поверхность соединительной части 23 образована плоскостью (100) кремния и плоскостью (111) кремния, соединительную часть 23 можно формировать с высокой точностью простым образом, используя плоскость (111) кремния в качестве слоя остановки травления, что будет описано ниже.

[0043] Кроме того, поперечины 231 и 232, при наблюдении с направления, параллельного осевой линии X (другими словами, наблюдаемые в поперечном сечении, показанном на фиг. 5), соответственно имеют форму, симметричную отрезку, который проходит вертикально и проходит через осевую линию X.

Кроме того, в поперечном сечении, показанном на фиг. 5, полная ширина (расстояние между боковой поверхностью 2313 поперечины 231 и боковой поверхностью 2323 поперечины 232) соединительной части 23 увеличивается от нижней стороны к верхней стороне. В поперечном сечении, показанном на фиг. 5, расстояние (ширина зазора) между поперечиной 231 и поперечиной 232 увеличивается от нижней стороны к верхней стороне.

[0044] Другими словами, расстояние между одной парой поперечин 231 и 232, при наблюдении с направления, параллельного центральной оси вращения подвижной пластины 21, постепенно увеличивается от одной стороны поверхности подвижной пластины 21 к другой стороне поверхности (в этом варианте осуществления от нижней стороны к верхней стороне).

Когда расстояние между концами более длинной стороны одной пары поперечин 231 и 232 равно W₁, и толщина t одной пары поперечин 231 и 232 в направлении толщины подвижной пластины 21 равна t, выполняется следующее выражение (1).

[0045]

[0046] Как подробно описано ниже, поскольку анизотропное травление осуществляется для кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100) кремния с обеих сторон его поверхности, возможен случай, когда позиции формирования масок, сформированных на обеих поверхностях кремниевой подложки рассогласуются при формировании подвижной пластины 21, опорной части 22 и одной пары соединительных частей 23 и 24. Когда позиции формирования масок на обеих поверхностях кремниевой подложки рассогласованы, разности уровней генерируются на одной паре боковых поверхностей 2313 и 2314 или 2323 и 2324 каждой из поперечин 231 и 232, которые должны быть образованы плоскостями (111) кремния. В случае выполнения вышеописанного выражения (1), в случае когда позиции формирования масок, сформированных на обеих поверхностях кремниевой подложки, рассогласованы, разность уровней, сформированная на одной боковой поверхности, и разность уровней, сформированная на другой боковой поверхности, может сдвигаться в направлении толщины кремниевой подложки (см. фиг. 10). Соответственно концентрация напряжения, генерируемого в поперечинах 231 и 232 во время вращения подвижной пластины 21, можно снижать.

Как описано выше, оптический сканер 1 может предотвращать повреждение вследствие концентрации напряжения во время приведения в действие относительно простым образом.

Кроме того, когда расстояние между концами верхней стороны одной пары поперечин 231 и 232 равно W₂, выполняется следующее выражение (2).

[0047]

[0048] Соответственно путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки, поверхность пластины которой образована плоскостью (100) кремния с обеих сторон его поверхности, соединительную часть 23, которая образована одной парой поперечин 231 и 232, можно надежно формировать простым образом.

[004 9] Опорное тело

Опорное тело 3 имеет функцию поддержки вышеописанного тела 2 основы. Кроме того, опорное тело 3 имеет функцию поддержки катушки 42 блока 4 привода, который будет описан ниже.

Это опорное тело 3 образует форму коробки, имеющую вогнутую часть 31, которая открыта на верхней стороне. Другими словами, опорное тело 3 образовано частью 32 формы пластины, образующей форму пластины, и частью 33 формы рамы, которая образует форму рамы, расположенную вдоль внешней периферийной части верхней поверхности части 32 формы пластины.

[0050] С частью верхней поверхности опорного тела 3, которая располагается вне вогнутой части 31, то есть верхней поверхностью части 33 формы рамы, связана нижняя поверхность опорной части 22 тела 2 основы. Соответственно между подвижной пластиной 21 тела 2 основы и одной пары соединительных частей 23 и 24 и опорным телом 3, сформирован промежуток, используемый для того, чтобы подвижная пластина 21 могла вращаться.

Материал, образующий опорное тело 3, не имеет конкретных ограничений. В качестве примеров вышеописанного материала, можно упомянуть стеклянный материал, например кварцевое стекло, жаропрочное стекло "Пайрекс" (зарегистрированный това