Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

259597

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48b, 13/08

Заявлено 10.V.1967 (№ 1157028/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК С 23с

УДК 621.793.14.002.51 (088,8) Опубликовано 12.XI1.1969. Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 4Х1.1970

Авторы изобретения

Б. В. Соколов, Д, 3. Хеймансон, А. 3. Калверш, А. Г. Зеберинь, И. Я. Бурцев и Ю. Д. Дмитриев

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

<—

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ !

Предмет изобретения

Известно устройство для нанесения покрытий в .вакууме, содержащее испаритель, зак|репленный в токоподводящих водоохлаждаемых губках, и механизм подач и испаряемого металла.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что оно интенсифицирует процесс испарения, и испаритель выполнен из пористого материала.

На чертеже представлен общий;вид устройства.

Устройство состоиг из испарителя I, закрепленного в токоподводящих водоохлаждаемых губках 2, и механизма подачи 8 испаряемого металла.

Испартпель при пропускании через него электрического тока нагревается до температуры испарения алюминия. I 13 верхнюю поверхность испарителя непрерывно .подается напыляемый материал, например алюминий, в возвратно- поступательном движении, который расплавляется и растекается по верхней поверхности испарителя, 50% расплавленного алюминия диффундпрует через испаритель по его толщине и испаряется в равном количестве с нижней поверхности пспарителя. Над и под испарителем непрерывно движется пленKB I. iH:I ITB 11PTQ. li I3HP) емой Ilo+JIoiI

5, на которой ко11денспруются,пары алюминия. В iiilч<. с1<ве пористого хl атеp;HB. Iа iiioiKL T

10 быть использоваH металлокерампческий брусок из дибсрида циркония.

15 Устройсгво для нанесения покрытий .в вакууме, содержащее испар:1тель, закрепленный в токоподводящих водоохлаждасмых губках, и механизм подачи испаряемого металла, отлииаюи еесл тем, что, с целью интенсифтска20 цип,процесса испарения, пспаритель выпо tне1 из пористого материала.

259597

Составитель H. Плетнева

Редактор Н. Д. Воликова Техред Т. П. Курилко

Корректор Г. П. Шильман

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1299/4 Тираж 500 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и откоытий при Совете Министров СССР

Москва )l(-35, Раугнская наб., д. 4/5