Способ получения пленок ферритов

Способ получения пленок ферритов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

261859

Союз Советоких

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48b, 17/00

Заявлено 04.1Х.1968 (№ 1267603j22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 13.1.1970. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 25Х,1970

МПК С 23с

УДК 621.793.16 (088.8) Комитет па делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Автор изобретения

Я, М. Беккер

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ФЕРРИТОВ чают озонатор и наполняют объем газохт носителем (НС1).

Наличие озона в процессе газо-транспортного переноса вещества ускоряет реакцию, интенсифицирует поверхностную диффузию образовавшихся окислов, в результате чего феррит не успевает распадаться и пленки получаются более гомогенными.

Способ получения пленок ферритсв путем химических газо-транспортных реакций в окислительной среде, отличающиш:я тем, что, с целью интенсификации окисления и увеличения однородности пленок, процесс осуществляют в среде озона.

Изобретение относится к способам получения пленок ферритов, например, для изготовления интегральных пленочных элементов памяти.

Известен способ получения пленок ферритов путем химических газо-транспортных реакций в окислительной среде — среде кислсрода. Реакция при этом протекает медленно и окисление происходит неполностью, что приводит к неоднородности получаемых пленок

Предлагаемый спо.оо интенсифицирует процесс окисления и увеличивает "днородность пленок. Достигается это тем, что пленки ферритов получают путем химических газо-транспортных реакций в среде озона.

При осуществлении способа ферритовую пластину нагревают примерно до 1000, вклюПредмет изобретен 1я