Способ нейтрализации отходящей паро-газовой

Способ нейтрализации отходящей паро-газовой

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А--Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

-262843

Союэ Советскил

Социалистических

Рвспуйлик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 12е, 2/01

Заявлено 17.Х.1968 (¹ 1278416/23-26) с присоединением заявки №

Пр иор итет

Опубликовано 04.111970. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 26Х,1970

МПК В Old

УДK 66А)74.046(088.8) Комитет по лелем кэосрвтвиий и открытий при Совете Ыииистров

СССР

Авторы изобретения В. С. Малороссиянов, В. В. Селин, В. И. Остапенко и Л. Я. Шварцман

Заявитель

СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОТХОДЯЩЕЙ ПАРО-ГАЗОВОЙ

СМЕСИ ПЕЧЕЙ ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ

ПОЛ И КРИСТИЛЛ ИЧ ЕСКОГО КРЕМН ИЯ

Изобретение относится к цветной металлургии. Способ может быть использован при нейтрализации выбрасываемой наро-газовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния, применяемого для получения полупроводникового поликристаллического кремния, а также для нейтрализации любых других смесей газов, содержащих хлориды кремния.

Известен способ нейтрализации отходящей паро-газовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния, заключающийся в том, что паро-газовую смесь, состоящую из трихлорсилана, четыреххлористого кремния, хлористого водорода, водорода и полихлоридов кремния, сжигают, затем подвергают поглощению водой в скруббере. Однако образующиеся при этом токсичные продукты сжитания требуется разбавлять большим количеством воздуха, что увеличивает и осложняет аппаратуру. Кроме того, продукты выброса в атмосферу содержат воздух со следами хлористого водорода и со значительным количеством двуокиси кремния (улавливание

SiO> составляет лишь 50%).

Предлагается способ, по которому термообработку ведут в присутствии водяного пара при температуре 115 †1 С в эжекционном устройстве. Способ позволяет повысить степень нейтрализации наро-газовой смеси (по.2

%0эв 200 раз) по сравнению со степенью нейтрализации по известному способу.

Пример. Паро-газовую смесь подают в пароструйный эжектор с центральным подво5 дом смеси и периферийным подводом пара.

Из эжектора наро-газовую смесь подают в трубу Вентури, в диффузоре которой разбрызгивается вода. Затем из трубы Вентури расгвор и наро-газовая смесь поступают в скруб1о бер, орошаемый водой через форсунки. Из скруббера газ выбрасывают в атмосферу через тидрозатвор, а раствор — в систему кислотной канализации через сливной бак. При этом в атмосферу сбрасывают водород, содер15 жащий следы НС1 и незначительное количество двуокиси кремния (в 200 раз меньше по сравнению с известным способом).

Предмет изобретения

20 1. Способ нейтрализации отходящей парогазовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния путем термообработки наро-газовой смеси с последующим поглощением водой, отличающийся тем, 25 что, с целью повышения степени нейтрализации, термообработку ведут в присутствии водяного пара при температуре 115 — 140 С.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что термообрабопку ведут в эжекционном устрой30 стве.