Способ обезгаживания стенок и внутренней арматуры высоковакуумных камер

Способ обезгаживания стенок и внутренней арматуры высоковакуумных камер

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

263752

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 17.1.1968 (№ 121 1597/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 10.)1,1970. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 4.Ч1.1970

Кл. 21@, 13/30

МПК Н Olj

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.3.032,94 (088.8) Авторы изобретения

К. И. Лобачев и В. А. Шишкин

Заявитель

СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ СТЕНОК И ВНУТРЕННЕЙ

АРМАТУРЫ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ КАМЕР

Предмет изобретения

Изобретение предназначено для ускорения обезгаживания высоковакуумных камер.

Известен способ обезгаживан ия вакуумных камер за счет термического прогрева стенок и внутренней арматуры при помощи внешних (печь, обмотка) и внутренних (радиационных) нагревателей. К недостаткам этого способа относятся большая длительность прогрева, обусловленная относительно низкой допустимой температурой обезгаживан ия, невозможность использования в камерах элементов, не допускаюш|их прогрева свьеше 100 С, и н изкий коэффициент полезного использования подвод имой энергии (0,001) .

Предлагаемый способ позволяет сократить время обезгаж ивания и обеспечивает возмож ность обезгаживания камер с элементами, не допускающ|ими прогрева выше 100 С. Это достстгается тем, что прогревается не вся толщ11на стенок, а лишь внутренний слой микронной толщины. Нагрев этого слоя осуществляется за счет резонансного поглощения внутреннимвт стенками камеры СВЧ-энерпии, ввод|имой от внешнего генератора в ввтде импульсов длятельностью 1 — 10 мксек. Выделяемое в скинслое джоулево тепло вызывает его нагрев до температуры, определяемой подводимой мощностью. Ввиду малой длительности импульсов (10 5 сек) потери энергии за счет теплопроводносты стенок не превышают 15%. Импульсный генератор мощностью 150 квт способен нагревать внутренние стенки камеры нз стали

Х18Н9Т объемом 10 мз до температуры

1000 С (в импульсе).

5 Обезгаживан ие сводится к удалению газов, адсорбированных на внутренней поверхности и растворенных в ск ин-слое. Интенсивность обезгаживания регулируется частотой посылок импульсов, согласованной с быстротой от10 качками насоса. Упомянутую выше камеру, откачиваемую насосом со скоростью 104 л/сек, можно обезгазить за 30 мин.

Обезгаженный приповерхностный слой в течение нескольких часов предотвращает дифl5 фузию к поверхности газов, растворенных в необезгаженной толще стенок.

Способ обезгаживания стенок и внутренней арматуры высоковакуумных камер путем их нагрева, отличающийся тем, что, с целью со25 кращения времени обезгаживаняя и обеспечения возможности обезгаживания камер с элементамк, не допускающими прогрева выше

100 С, внутрь обезгаживаемой камеры подают импульс сверхвысокочастотного электромаг30