Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели

Сенсорная панель с взаимной емкостью и "решением на одном стекле" и способ изготовления такой панели

Иллюстрации

Показать все

Реферат

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ

[0001] Настоящее изобретение относится к области технологии сенсорного экрана, а в частности к сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле» и способу изготовления такой панели.

ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0002] С развитием технологии сенсорного экрана и более высокими требованиями рынка к тонкому сенсорному экрану сенсорная панель с взаимной емкостью и «решением на одном стекле», обладая преимуществами высокой помехозащищенности, высокой чувствительности, отличительной технологии мультитач и т.д., становится основным лидером в области технологий сенсорного экрана.

[0003] Сенсорная панель с взаимной емкостью и «решением на одном стекле» также является так называемой сенсорной панелью с единой взаимной емкостью. Конденсаторы с краевым полем могут быть сформированы на полосах различных систем электродов единственной стеклянной подложки. Когда функционирует сенсорное управление, конденсатор с краевым полем может меняться. При обнаружении передающих сигналов чувствительных линий и излучающих линий могут быть определены координаты точки касания. Тем не менее, существующие излучающие линии и чувствительные линии сформированы из прозрачного проводящего материала ITO (оксида индия и олова). Сопротивление прозрачного проводящего материала ITO слишком большое, что очень легко может привести к серьезному ослаблению и искажению передающих сигналов чувствительных линий и излучающих линий. Следовательно, это приводит к значительному снижению чувствительности сенсорного управления. На сегодняшний день чувствительность сенсорного управления может быть увеличена путем увеличения тока. Однако, увеличение тока, безусловно, приведет к увеличению потребления энергии.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0004] В этой связи технический вопрос, который должен быть решен в соответствии с вариантом осуществления настоящего изобретения, заключается в создании сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле» и способа изготовления такой панели, способной снижать проволочное сопротивление передающих сигналов в системах электродов для повышения чувствительности сенсорного управления.

[0005] Для решения вышеупомянутой технической проблемы техническим решением, используемым в настоящем изобретении, является: создание сенсорной панели, причем сенсорная панель содержит подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на подложке и расположены с промежутком между ними, и вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на изолирующем слое и расположены с промежутком между ними, и первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу, и первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, и первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое, и первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления; причем первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, и третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, и шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, и шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

[0006] Вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.

[0007] Площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.

[0008] В стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.

[0009] Для решения вышеупомянутой технической проблемы другим техническим решением, используемым в настоящем изобретении, является: создание сенсорной панели, причем сенсорная панель содержит подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, и вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, и первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, и первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое, и первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

[0010] Первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, и третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, и шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, и шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

[0011] Вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.

[0012] Площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.

[0013] Первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу

[0014] Первая подсистема электродов и вторая подсистема электродов одновременно сформированы на подложке, и третья подсистема электродов и четвертая подсистема электродов одновременно сформированы на изолирующем слое.

[0015] В стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.

[0016] Для решения вышеупомянутой технической проблемы другим техническим решением, используемым в настоящем изобретении, является: создание способа изготовления, включающего: формирование первого слоя электродов на подложке; осуществление первого травления первого слоя электродов для формирования первой системы электродов, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; формирование изолирующего слоя на подложке, где сформирован первый слой электродов; осуществление второго травления изолирующего слоя для формирования первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия; формирование второго слоя электродов на изолирующем слое; осуществление третьего травления второго слоя электродов для формирования второй системы электродов, причем вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; причем первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, и первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

[0017] Первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, и третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, и шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, и шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

[0018] Вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.

[0019] Площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.

[0020] Первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу.

[0021] Первый слой электродов, изолирующий слой и второй слой электродов сформированы напылением.

[0022] В соответствии с вышеупомянутыми техническими решениями преимущества настоящего изобретения заключаются в следующем: вариант осуществления настоящего изобретения формирует первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие на изолирующем слое, первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия при проведении испытания сенсорного управления сенсорной панели. Формирование первого сквозного отверстия и четвертой подсистемы электродов эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для первой подсистемы электродов. Формирование второго сквозного отверстия и второй подсистемы электродов эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для третьей подсистемы электродов. Соответственно, проволочное сопротивление передающих сигналов в системах электродов может быть уменьшено для повышения чувствительности сенсорного управления.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

[0023] Фиг. 1 - блок-схема способа изготовления сенсорной панели в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления настоящего изобретения;

[0024] Фиг. 2 - диаграмма первой системы электродов, сформированной в соответствии со способом изготовления, показанным на фиг. 1;

[0025] Фиг. 3 - диаграмма первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия, сформированных в соответствии со способом изготовления, показанным на фиг. 1;

[0026] Фиг. 4 - диаграмма второй системы электродов, сформированной в соответствии со способом изготовления, показанным на фиг. 1;

[0027] Фиг. 5 - диаграмма вида сверху систем электродов сенсорной панели в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления настоящего изобретения.

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ПРЕДПОЧТИТЕЛЬНЫХ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0028] Варианты осуществления настоящего изобретения подробно описаны с техническими вопросами, конструктивными особенностями, достигнутыми целями и эффектами со ссылкой на прилагаемые чертежи следующим образом. Очевидно, что описанные варианты осуществления являются лишь частью вариантов осуществления настоящего изобретения, а не всеми вариантами осуществления. На основе вариантов осуществления настоящего изобретения все другие варианты осуществления, полученные обычным специалистом в данной области без творческих усилий, должны рассматриваться в пределах объема правовой охраны настоящего изобретения.

[0029] Фиг. 1 - блок-схема способа изготовления сенсорной панели в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления настоящего изобретения. См. фиг. 1. Способ изготовления варианта осуществления включает:

[0030] Этап S11: формирование первого слоя электродов на подложке.

[0031] Подложка может представлять собой прозрачную стеклянную подложку, прозрачную пластиковую подложку или прозрачную гибкую подложку. Первый слой электродов может быть стеклянным слоем из оксида индия и олова (ITO) или другого материала, такого как оксид кремния. В этом варианте осуществления для первого слоя электродов предпочтительно используют материал для изготовления с меньшим сопротивлением.

[0032] Этап S12: осуществление первого травления первого слоя электродов для формирования первой системы электродов, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними.

[0033] Первое травление может быть, но не ограничено, таким как:

[0034] Сначала на первый слой электродов наносят слой фоторезиста. Затем для слоя фоторезиста применяют технологию экспозиции с использованием накладки (так называемой маски) для выполнения первого процесса маскирования для формирования открытой части и закрытой части, необходимых в процессе маскирования; в конечном итоге, слой фоторезиста используется в качестве ограничителя травления. При травлении открытая часть первого слоя электродов удаляется для получения первой системы электродов.

[0035] В сочетании с тем, что показано на фиг. 2, сформированная первая система электродов 20 соответствует закрытой части. Первая система электродов 20 содержит первую подсистему электродов 21 и вторую подсистему электродов 22, которые расположены с промежутком между ними. Расстояние между первой подсистемой электродов 21 и второй подсистемой электродов 22 соответствует открытой части. Первая подсистема электродов 21 содержит пятую подсистему электродов в форме стержня 211 и шестую подсистему электродов 212, соединенную с пятой подсистемой электродов 211. Предпочтительно, вторая подсистема электродов 22 и шестая подсистема электродов 212 ромбовидной формы в этом варианте осуществления. Противоположные углы шестой подсистемы электродов 212 расположены на пятой подсистеме электродов 22. Обе шестая подсистема электродов 212 и вторая подсистема электродов 22 расположены в ряд и чередуются друг с другом. Расстояния между всей второй подсистемой электродов 22 и смежной шестой подсистемой электродов 212 одинаковые.

[0036] Этап S13: формирование изолирующего слоя на подложке, где сформирован первый слой электродов.

[0037] Изолирующий слой может быть составлен из диэлектрического материала, такого, как нитрид кремния, слой оксида кремния или оксинитрид кремния, и сформирован путем химического осаждения из паровой фазы, напыления или осаждения с применением другой тонкопленочной технологии.

[0038] Этап S14: осуществление второго травления изолирующего слоя для формирования первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия.

[0039] Принцип второго травления может быть отнесен к первому травлению. Здесь повторяющееся описание опущено.

[0040] Кроме того, в сочетании с тем, что показано на фиг. 3. В направлении взгляда, перпендикулярном сенсорной панели, первое сквозное отверстие 31 соответствует шестой подсистеме электродов 212, а второе сквозное отверстие 32 соответствует второй подсистеме электродов 22.

[0041] Этап S15: формирование второго слоя электродов на изолирующем слое.

[0042] Тот же материал, что и у первого слоя электродов 112, может использоваться для второго слоя электродов 114 или может использоваться другой материал. То есть может быть рассмотрен слой стекла из оксида индия и олова (ITO) или оксид кремния. Предпочтительно, для второго слоя электродов используют материал для изготовления с меньшим сопротивлением.

[0043] Этап S16: осуществление третьего травления второго слоя электродов для формирования второй системы электродов, причем вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними.

[0044] Принцип третьего травления может быть отнесен к первому или второму травлению. Здесь повторяющееся описание опущено.

[0045] См. фиг. 4. Вторая система электродов 40 содержит третью подсистему электродов 41 и четвертую подсистему электродов 42, которые расположены с промежутком между ними. Третья подсистема электродов 41 содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня 411 и восьмую подсистему электродов 412, соединенную с седьмой подсистемой электродов 411. Предпочтительно, четвертая подсистема электродов 42 и шестая подсистема электродов 212 ромбовидной формы в этом варианте осуществления. Противоположные углы восьмой подсистемы электродов 412 расположены на седьмой подсистеме электродов 411. Обе восьмая подсистема электродов 412 и четвертая подсистема электродов 42 расположены в ряд и чередуются друг с другом. Расстояния между всей четвертой подсистемой электродов 42 и смежной восьмой подсистемой электродов 412 одинаковые.

[0046] Объедините то, что показано на фиг. 3, фиг. 4 и фиг. 5. В направлении взгляда, перпендикулярном сенсорной панели, первое сквозное отверстие 31 соответствует шестой подсистеме электродов 212 и четвертой подсистеме электродов 42. Второе сквозное отверстие 32 соответствует второй подсистеме электродов 22 и восьмой подсистеме электродов 412. Пятая подсистема электродов 211 и седьмая подсистема электродов 411 расположены крест-накрест относительно друг друга. Шестая подсистема электродов 212 электрически соединена с четвертой подсистемой электродов 42 посредством первого сквозного отверстия 31, а восьмая подсистема электродов 212 электрически соединена со второй подсистемой электродов 22 посредством второго сквозного отверстия 32, когда проводится испытание сенсорного управления, для достижения того, чтобы первая подсистема электродов 21 была электрически соединена с четвертой подсистемой электродов 42 посредством первого сквозного отверстия 31, а третья подсистема электродов 41 была электрически соединена со второй подсистемой электродов 22 посредством второго сквозного отверстия 32.

[0047] В этом варианте осуществления первая подсистема электродов 21 может рассматриваться как излучающие линии сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле». Третья подсистема электродов 41 может рассматриваться как чувствительные линии сенсорной панели с взаимной емкостью и «решением на одном стекле». Затем формирование первого сквозного отверстия 31 и четвертой подсистемы электродов 42 эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для первой подсистемы электродов 21 (первой системы электродов 20). Формирование второго сквозного отверстия 32 и второй подсистемы электродов 22 эквивалентно добавлению слоя межсоединений передающих сигналов для третьей подсистемы электродов 41 (второй системы электродов 40). Соответственно, проволочное сопротивление передающих сигналов в системах электродов может быть уменьшено для повышения чувствительности сенсорного управления.

[0048] Кроме того, настоящее изобретение предусматривает сенсорную панель с взаимной емкостью и «решением на одном стекле», содержащую подложку и первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке. Первая система электродов содержит первую систему электродов 20, показанную на фиг. 2. Изолирующий слой содержит первое сквозное отверстие 31 и второе сквозное отверстие 32, показанные на фиг. 3. Второй слой электродов содержит вторую систему электродов 40, показанную на фиг. 4.

[0049] Понятно, что основной целью настоящего изобретения является формирование первого сквозного отверстия 31 и второго сквозного отверстия 32 на изолирующем слое. Первая подсистема электродов 21 сенсорной панели электрически соединена с четвертой подсистемой электродов 42 посредством первого сквозного отверстия 31, а третья подсистема электродов 41 сенсорной панели электрически соединена со второй подсистемой электродов 22 посредством второго сквозного отверстия 32, когда проводится испытание сенсорного управления, для уменьшения проволочного сопротивления передающих сигналов в системах электродов для повышения чувствительности сенсорного управления. Соответственно, настоящее изобретение дополнительно может быть выполнено, например:

[0050] Предпочтительно, площадь второй подсистемы электродов 22 меньше площади восьмой подсистемы электродов 412, и предпочтительно, площадь четвертой подсистемы электродов 42 меньше площади шестой подсистемы электродов 212; с другой стороны, первая подсистема электродов 21 проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов 41 проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу; с другой стороны, первая подсистема электродов 21 и вторая подсистема электродов 22 могут быть одновременно или не одновременно сформированы на подложке. Третья подсистема электродов 41 и четвертая подсистема электродов 42 могут быть одновременно или не одновременно сформированы на изолирующем слое; кроме того, в стенках первого сквозного отверстия 31 и второго сквозного отверстия 32 сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов 40, для увеличения площади межсоединений передающих сигналов для систем электродов; один из слоев: первый слой электродов, изолирующий слой и второй слой электродов, может быть сформирован с помощью напыления.

[0051] Еще раз, вышеприведенное является только конкретными вариантами осуществления настоящего изобретения, объем настоящего изобретения не ограничивается этим, и для любых лиц, которые квалифицированы в данной области техники, изменения или замены, которые легко сделать, должны быть охвачены защищаемым объемом изобретения. Таким образом, защищаемый объем изобретения должен исходить из заявленных пунктов формулы изобретения.

1. Сенсорная панель, содержащая подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на подложке и расположены с промежутком между ними, вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые одновременно сформированы на изолирующем слое и расположены с промежутком между ними, первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу, первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, в изолирующем слое сформированы первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие, первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления; причем первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стержня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

2. Сенсорная панель по п. 1, отличающаяся тем, что вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, и противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.

3. Сенсорная панель по п. 2, отличающаяся тем, что площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.

4. Сенсорная панель по п. 1, отличающаяся тем, что в стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.

5. Сенсорная панель, содержащая подложку, первую систему электродов, изолирующий слой и вторую систему электродов, последовательно расположенные на подложке, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними, первая подсистема электродов и третья подсистема электродов расположены крест-накрест относительно друг друга, первое сквозное отверстие и второе сквозное отверстие сформированы на изолирующем слое, первая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третья подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

6. Сенсорная панель по п. 5, отличающаяся тем, что первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стрежня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

7. Сенсорная панель по п. 6, отличающаяся тем, что вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.

8. Сенсорная панель по п. 7, отличающаяся тем, что площадь второй подсистемы электродов меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов меньше площади шестой подсистемы электродов.

9. Сенсорная панель по п. 5 или 6, отличающаяся тем, что первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу.

10. Сенсорная панель по п. 5, отличающаяся тем, что первая подсистема электродов и вторая подсистема электродов одновременно сформированы на подложке, и третья подсистема электродов и четвертая подсистема электродов одновременно сформированы на изолирующем слое.

11. Сенсорная панель по п. 7, отличающаяся тем, что в стенках первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия сформированы вогнуто-выпуклые структуры, и электродный материал прикреплен к вогнуто-выпуклым структурам напылением второй системы электродов.

12. Способ изготовления сенсорной панели, включающий:

формирование первого слоя электродов на подложке; осуществление первого травления первого слоя электродов для формирования первой системы электродов, причем первая система электродов содержит первую подсистему электродов и вторую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; формирование изолирующего слоя на подложке, где сформирован первый слой электродов;

осуществление второго травления изолирующего слоя для формирования первого сквозного отверстия и второго сквозного отверстия;

формирование второго слоя электродов на изолирующем слое;

осуществление третьего травления второго слоя электродов для формирования второй системы электродов, причем вторая система электродов содержит третью подсистему электродов и четвертую подсистему электродов, которые расположены с промежутком между ними; причем первую подсистему электродов и третью подсистему электродов располагают крест-накрест относительно друг друга, и первую подсистему электродов электрически соединяют с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а третью подсистему электродов электрически соединяют со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводят испытание сенсорного управления.

13. Способ изготовления по п. 12, отличающийся тем, что первая подсистема электродов содержит пятую подсистему электродов в форме стержня и шестую подсистему электродов, соединенную с пятой подсистемой электродов, третья подсистема электродов содержит седьмую подсистему электродов в форме стержня и восьмую подсистему электродов, соединенную с седьмой подсистемой электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов чередуются друг с другом, шестая подсистема электродов электрически соединена с четвертой подсистемой электродов посредством первого сквозного отверстия, а восьмая подсистема электродов электрически соединена со второй подсистемой электродов посредством второго сквозного отверстия, когда проводится испытание сенсорного управления.

14. Способ изготовления по п. 13, отличающийся тем, что вторая подсистема электродов, четвертая подсистема электродов, шестая подсистема электродов и восьмая подсистема электродов имеют ромбовидную форму, противоположные углы шестой подсистемы электродов находятся на пятой подсистеме электродов, а противоположные углы восьмой подсистемы электродов находятся на седьмой подсистеме электродов.

15. Способ изготовления по п. 14, отличающийся тем, что площадь второй подсистемы электродов выполняют меньше площади восьмой подсистемы электродов, а площадь четвертой подсистемы электродов выполняют меньше площади шестой подсистемы электродов.

16. Способ изготовления по п. 12 или 13, отличающийся тем, что первая подсистема электродов проходит вдоль первого направления, а третья подсистема электродов проходит вдоль второго направления, причем первое направление и второе направление перпендикулярны друг другу.

17. Способ изготовления по п. 12, отличающийся тем, что первый слой электродов, изолирующий слой и второй слой электродов формируют напылением.