Устройство для получения покрытий из газовых сред
Иллюстрации
Показать всеРеферат
266503
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Совотоких
Социалистичоских
Рвсоублик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 48b, 13/08
Заявлено 14.Vl.1967 (№ 1163806/22-1) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 17.lll 1970. Бюллетень № 11
Дата опубликования описания 6Х11.1970
МПК С 23с 13/08
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитвт по лолам изобрвтвиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
Авторы изобретения
b. Н. Арзамасов и Д. А. Прокошкин
°
Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного
Знамени высшее техническое училище им. H. Э, Баумана
Заявитель ь, I
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЪ|ТИ14
ИЗ ГАЗОВЪ|Х СРЕД
Предмет изобретения
Изобретение относится к области нанесения покрытий из газовых сред, Известно устройство для получения покрытий из газовых сред, содержащее замкнутый газопровод, снабженный вентилятором и нагревательным элементом, откачную систему и оо суд-н а пол нитель.
В предлагаемом устройстве нагревательный элемент выполнен в виде блока тлеющего разряда, катодом .которого является покрываемая деталь, что интенсифицирует процесс нанесения покрытий.
На чертеже показано предлагаемое устройство.
Оно состоит из замкнутого газопровода 1, снабженного вентилятором 2 и нагревательHb1M элементом 8, выполненным в виде блока тлеющего разряда, катодом которого является покрываемая деталь 4, откачной системы 5 и сосуда-наполнителя 6.
Открыв шлиф 7,лодочку с элементом покрытия,8 устанавливают в газопроводе, а деталь устанавливают на катодную подставку. Далее шлиф закрывают и посредством откачной системы в устройстве создается разрежение около
10 з ям рт. ст.
Из сосуда-наполнителя в газопровод .подаются пары галогенида элемента покрытия, а затем с помощью кранов 9 и 10 устанавливают в устройстве оптимальное давление газа. Подогрев элемента покрытия 8 осуществляют электропечью сопротивления 11. После этого к блоку тлеющего разряда подводится ток высокого напряжения, в результате на поверхности детали установится аномальный тлеющий разряд. Включив вентилятор, который создает направленный поток в газопроводе, устанавливают оптимальный режим по току
10 и напряжению. После окончания изотермической,выдержки, необходимой для получения заданной толщины покрытия, отключают источник питания тока, электропечь и вентилятор, а затем посредством откачной системы
15 откачивают газ из газопровода. После этого наполняют нейтральным газом или воздухом, предварительно закрыв кран 10.
Устройство для получения покрытий из газовых сред, содержащее замкнутый газопровод, снабженный вентилятором и нагревательным элементом, откачную систему и сосуд-наполнитель, отличаюи ееся тем, что, с целью интенсификации процесса, нагревательньш элемент выполнен в виде блока тлеющего разряда, катодом которого является:покрываемая деталь.
266503
Составитель И, Резник
Техред Л. Я. Левина Корректор С. Л, Кузовенкова
Редактор Т. И. Зубкова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ !738/10 Тираж 480 Подписное
1!ИИИПИ Комп гета по делам изобретений и открытий прп Совеге Министров СССР
Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5