Электродуговой испаритель металла
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 090968 (21) 1268526/22-01 (51)м. Кл.
Союз Советских
Социалистических
Реслублнк с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
С 23 С 13/08
Государственный комитет
СССР по делам изобретений н открытий
Опубликовано 300381. Бюллетень ¹ 2
Дата опубликования описания 300381 (53) УДК 621. 793..14.002.51 (088.8) (72) Авторы изобретения
Л. П. Саблев, Н. П. Атаманский, В. H. Горбунов, Ю. И. Долотов, В. Н. Луценко, В. М. Лунев и B.H.усов (71) Заявитель (54 ) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛА
Формула изобретения
Изобретение касается нанесения вакуумных покрытий.
Известен электродуговой испаритель металла, содержащий катод, анод, поджигающий электрод и экран.
Цель изобретения — снизить ток горения дуги.
Для этого анод выполнен в виде металлической оболочки, обхватывающей работую поверхность катода и служащей одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры.
На чертеже схематически изображен предлагаемый испаритель, общий вид.
Испаритель состоит .из катода 1, анода 2, выполненного в виде металлической оболочки произвольной формы, обхватывающей рабочую поверхность катода и поджигающего эле строда 3. Анод 2 в виде металлической оболочки служит одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры 4.
Дуга возбуждения кратковременным касанием поверхности катода 1 поджигающим электродом 3 горит в парах материала катода между рабочей поверхностью катода 1 и внутренней поверхностью оболочки анода 2 при любом низком давлении остаточных газов в вакуумной камере 4.
Так как металлическая оболочка анода 2 со всех сторон обхватывает рабочую поверхность катода 1, то потоки металлической плазмы, образованные в катодной области дугового разряда, беспрепятственно достигают внутренней поверхности металлической оболочки анода, тем самым обеспечивая стабильное. горение дуги.
Электродуговой испаритель металла, содержащий катод, анод, поджи20 гающий электрод и экран, окружающий
6оковую поверхность катода, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью снижения тока горения дуги, анод выполнен в виде металлической оболочки, обхватывающей рабочую поверхность катода и служащей одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры.
268122
Составитель A. Кутибашвили
Техред Е.Гаврилешко Корректор Н.Швыдкая
Редактор М.Кузнецова
Филиал ППП "Патент", г.- Ужгород, ул. Проектная, 4
Эаказ 1415/48 Тираж 1048 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж 35, Раушская на&., д. 4/5