Устройство для транспортирования и совмещения

Устройство для транспортирования и совмещения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

268523 ки расстояния между дисками подложкодержателей и маскодержателей в рабочем положении служат винтовые упоры 18. Вал установлен в стойке 14 на шариковых опорах, обеспечивающих его свободное вращение и .перемещение в осевом направлении, и вывешен на роликовых опорах рычага 15, приводимого в движение электромеханическим приводом. Для передачи валу вращательного движения служат зубчатые колеса 1б и 17, а также мальтийский механизм 18, приводимые в движение электромеханическим приводом.

Транспортирующее -.устройство выполнено, например, шестнадцати позиционным, каждое из которых снабжено устройством совмещения, подложка 19 закреплена в подложкодержателе, расположенном в гнезде 20 транспортирующего диска подложкодержателей, имеющего вращательное и вертикальное возвратнопоступательное перемещения. Подложкодержатель прижат к диску подложкодержателей посредством пружин 21 и планок 22. Перемещение подложкодержателя вверх ограничивается жесткими упорами 28 гнезда 20 диска лодложкодержателей. Маскодержатель расположен в гнезде 24 диска маскодержателей, имеющего возможность вертикального возвратно-поступательного перемещения, и прижат к нему посредством планок 25 и пружин

2б, Боковые стенки маскодержателя и гнезда

24 диска маскодержателей выполнены наклонными, что ограничивает перемещение маскодержателя вверх. Штифты 27 маскодержателя и отверстия 28 подложкодержателя служат для их взаимного совмещения.

Пр едм ет изобретения

10 Устройство для транспортирования и совмещения подложек и масок для изготовления тонкопленочных микросхем, содержащее соединенные с приводным механизмом и расположенные на транспортирующих дисках под15 ложкодержатели и маскодержатели, снабженные центрирующими элементами, например ,штифтами и гнездами, и нагревательными и охладительными элементами, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции уст20 ройства и повышения качества микросхем, маскодержатель выполнен в виде конического прямоугольного основания, опирающегося своими скошенными поверхностями на гнездо транспортирующего диска, снабженного под25 пружиненными планками, а подложкодержа-. тель опирается верхней плоскостью в неподвижные упоры гнезда транспортирующего диска, также снабженного подпружиненными планками, 268523

22

9>иг.2

Составитель А. Артюшии

Редактор T. И. Морозова Техред Л. В. Куклина Корректор H. А. Митрохина

Заказ 2187/11 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раун ская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2