Способ получения покрытий из окислов металлов

Способ получения покрытий из окислов металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ВОЕСо зна лс.тентно-тыл .iчесмм, j библиотена МБА

О П И С А Н И Е 268844

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Саюз Советскик

Социалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

К ч 48b 11/08

Заявлено 19.И11.1968 (№ 1264606/22-1) с присоединением заявки ¹

МПК С 23с 11 08

УДК 621.793.14(088,8) Приоритет

Опубликовано 10.1V.1970. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 16ХП.1970

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. T Мандрич, В. И. Змий и Е. П. Нечипоренко

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ОКИСЛОВ

МЕТАЛЛОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области получения покрытий из окислов металлов при термическом разложении различных соединений металлов с помощью транспортных реакций.

Известен способ получения покрытий из окислов металлов на основе транспортных реакций при термическом разложении галогенида металла в присутствии углекислого газа и водорода.

По предлагаемому способу наносимый окисел металла сначала восстана|вливают углеродом в вакууме при 1250 — 1650 С и осаждают на поверхность путем повышения температуры подложки до 1500 — 1850 С, что повышает качество получающегося покрытия.

Предложенный способ основан на обратимости реакции восстановления окислов металлов углеродом в вакууме не ниже 10 л м рт. ст. При 1250 — 1650 С происходит восстановление окислов металлов углеродом по реакциям типа:

МеОх+хСМе+хСО

МеОх+СМеС, > +СО

МеОх+ (х+1) СМеС+хСО

С повышением температуры подложки до

1500 — 1850 С равновесие сдвигается справа налево и окисел металла с помощью газообразной фазы переносится на покрываемую поверхность.

Так для получения покрытия из окиси алюминия на вольфраме окись алюминия и образец из вольфрама, концы которого соединены с источником питания, помещали в графитовый цилиндр, которьш в свою очередь помещали в высокотемпературную печь, температуру в которой поддерживали 1600. Затем на вольфрамовом образце устанавливали

1650 — 1850 С, за счет чего на нем осаждалась

10 окись алюминия а-фазы. Процесс осуществляли в вакууме — 10 л л рт. ст. В зависимости от температуры подложки скорость осаждения составляла от 10 до 300 ик(час.

Полученное покрытие отличается хорошей

15 адгезией с основной и плотность его близка к теоретической.

Предложенным способом можно получать покрьпия из А!.Оз, ВеО, ZrO, SiO> и др.

Способ получения покрытий из окислов металлов на основе транспортных реакций, от25 личающийся тем, что, с целью повышения .качества покрытия, наносимый окисел металла восстанавливают углеродом в вакууме при

1250 — 1650 С и осаждают на поверхность путем повышения температуры подложки до зо 1500 — 1850 С.