Устройство для нанесения многослойных покрытиив вакууме

Устройство для нанесения многослойных покрытиив вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Всесоюзи z

nRTeHTH0;,, """ "--патт библ:

268845 о и и Й- и-

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 29.VEEE.1968 (№ 1266902/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 10.1Ч.1970. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания ЗОХ11.1970

Кл. 48Ь, 13/08

МПК С 23с 13/08

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Микистров

СССР

Авторы изобретения Г. Н. Гаврилов, Г. И. Железникова, В. И. Николаев и Л. И. Федотов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известно устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены высоковольтный электрод, диск с распыляемыми материалами и диски подложек и трафаретов.

В предлагаемом устройстве диски подложек и трафаретов установлены по отношению друг к другу эксцентрично, что улучшает качество покрытий.

На чертеже представлен общий вид предлагаемого устройства.

Оно состоит из камеры 1, внутри которой расположены высоковольтный электрод 2, диска 8 с распыляемыми материалами, диска 4 подложек и диска 5 трафаретов, установленных по отношению друг к другу эксцентрично.

При поднятом колпаке камеры на диске 4 закрепляют подложки, а на диске 5 трафареты.

В ячейки диска 8 помещают распыляемые материалы. Высоковольтный электрод отведен в нижнее положение. Система откачивается до заданного разряжения и производится напуск инертного газа и с помощью системы электродов создается плазма. Высоковольтный электрод, перемещаясь в верхнее положение, за5 хватывает распыляемый материал и вносит его в зону распыления, защищенную экраном б.

Далее, на электрод подается потенциал и происходит предварительное распыление материала с целью его очистки. Прн перемещении дис10 ка 4 подложек в нижнее положение производится совмещение подложек с трафаретом на позиции напыления. Открывается заслонка 7, и производится напыление слоя материала.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены высоковольтный электрод, диск с распыляемыми материалами и

20 диски подложек и трафаретов, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия, диски подложек и трафаретов установлены по отношению друг к другу эксцентрично.

268845

Редактор Т. И. Зубкова Техред А. А. Камышникова Корректор Н. А. Митрохина

Заказ 2080/10 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, OK-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2