Устройство для испарения материалов в вакууме

Устройство для испарения материалов в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М

Заявлено 08.XI I.1968 (№ 1288209/22-1) Кл. 48Ь, 13 08 с присоединением заявки М

Приоритет

МПК С 23с

УДК 621.793.14 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Сосете тлинистрее

СССР

Опубликовано 08.V.1970. Бюллстепь М 16

Дата опубликования описания 19Л III.1970

Автор изобретения

Ф. А. Коледа

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам для испарения материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. и.

Известны устройства для испарения материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадиационным экраном. Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделения из нагреваемых деталей.

Предложенное устройство позволяет блокировать газовыделение из нагреваемых деталей, тем самым не изменяя вакуума в камере. Это достигается тем, что экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов, и в верхней части снабжен диафрагмой.

На чертеже изображено предложенное устройство.

Тигель 1 для испаряемого материала снабжен нагревателем 2 и окружен коаксиально расположенным экраном 8, выполненным в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов. В верхней части расположена диафрагма 4.

Набор съемных цилиндров, служащий для локального улавливания газов, может представлять собой, например, гсттерную, геттерно-ионную, криогенную, цеолптовую плп другую откачную систему.

При работе устройства набор цилиндров может быть заранее охлажден, например, в жидком азоте. Несмотря на ограниченную теплоемкость последнего эта операция целесообразна, так как основная масса газов выделяется в течение первых 2 — 3 .ипн работы пспарптельного устройства. После закладки испарясмого материала в тигель устанавливают предварительно охлажденньп< набор цилиндров и

15 диафрагму. Далее осущсствля or откачку камеры до высоксго вакуума, прп котором набор цилиндров сохраняет свою температуру достаточно долго. Прп нагреве пспаряемого материала диафрагма способствует локализации

20 выделяющихся I13 нагретых деталей газов, которые сорбируются внутренней поверхностью экрана.

25 Предмет изобретения

Устройство для испарения материалов в вакууме, содержащее обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилин30 дрическим экраном, отгичпкщееся тем, что, с

270432

Составитель Е. Кубасова

Редактор О. С. Филиппова Техред 3. Н. Тараненко Корректор H. А. Митрохина

Заказ 2209 7 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7I(-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 целью блокирования газовыделения из нагреваемых деталей, экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов, и в в(рхней части снабжен диафрагмой.