Устройство для загрузки испарителей

Устройство для загрузки испарителей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Ймоввэм®

ИВтбнтвто-техн и чесееИЮ

Йфюатена MBA

270433

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства Мр

Кл. 48b, 13/08

Заявлено 24.Ч.1968 (№ 1242041/26-9) с присоединением заявки Ме

Приоритет

Опубликовано 08.Ч.1970. Бюллетень М 16

Дата опубликования описания !З.Ч111.!970

ЧПК С 23с 13/00

УДК 621.793.14.002.5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения В. М. Парфенюк, А. В. Ворона, А. Н. Жданов и А. И. Матвейчук

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИСПАРИТЕЛЕЙ

Изобретение относится к технике изготовления микросхем методом вакуумного напьтлсния и предназначено для использования в вакуумных напылительных установках для загрузки испарителей распыляемым материалом.

Известны устройства для загрузки испарителей вакуумных напылительных установок, содержащие подающее устройство, рычаг, плоские пружины, барабан-храповик.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем,. что корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотным рычагом, а барабан-храповик снабжен гнездом, в которое входит плунжер.

Благодаря этому повышается надежность устройства.

На фиг. 1 изображено устройство в общем виде; на фиг. 2 — рычаг с подающим устройсгвом в разрезе.

На стойке 1 монтируют все детали устройства. На оси 2 стойки 1 на шарикоподшипниках д установлен рычаг 4, к которому через плоские пружины 5, б крепится корпус 7. На корпусе 7 смонтированы барабан-храповик 8, желоб 9 с экраном и подающее устройство. Подающее устройство состоит из плунжера 10, рычага 11, пружины 12. Для крепления устройства в вакуумной камере на стойке 1 имеется хомут, стягиваемый болтом 18.

Устройство работает следующим образом.

Толкатель ру шого привода, упираясь в рыаг 4, перемещает его относительно оси 2 стойки 1. Укрепленные на рычаге 4 посредством плоских пружин 5, б корпус 7, барабан. :раповик 8, желоб 9 с экраном также перемещаются в сторону испарителя. При этом пружина 14, закрепленная на стойке 1, упирается в зуб барабана-храповнка 8и провзра1р чпвает его па одну позицию.

Продолжая двигаться, корпус 7 упирается в ограничивающий винт 15 и останавливается.

При дальнейшем движении толкателя привода пружины 5, б деформируются, и винт 1б

15 рычага 4, упираясь в рычаг 11, приводит в движение плунх ер 10. Плунжер заходит в гнездо оарабана-храповика 8, выталкивая навсску в желоб 9 с экраном.

Навеска скатывается по желобу 9 с экраHом и попадает в испаритель. При обратном ходе толкателя ручного привода плунжер 10 и рычаг 11 возвращаются в исходное положение под действием пружин 12 и 17, желоб 9 экраном закрывает загрузочное отверстие в экране испарителя.

Так как в барабане-храповике имеется восемь гнезд с навесками испаряемого материала, то можно произвести восемь загрузок испарителя.

270433

Фиа.1

Тираж 480

Подписное

Заказ 2206/8

1 !Ili 1п (, пя, Ilp. Сапунова, 2

Предмет изобретения

Устройство для загрузки испарителей, например вакуумных напылительных камер, содержащее барабан-храповик, желоб и экран, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, экран закреплен на желобе, корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотным рычагом, а барабан-храповик снабжен гнездом, в которое входит плунжер.