Ионизационный манол1етрический датчик для измерения сверхвысокого вакуума

Ионизационный манол1етрический датчик для измерения сверхвысокого вакуума

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 27I430

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Сова Советских

Социалистических

Республик

К ПАТЕНТУ

Зависимый от патенга %в

Кл. 42k 12/04

Заявлено 12.V.1967 (¹ 1155048/18-10) Приоритет 17Л .1966 г., согласно заявки

¹ Р.114624, поданной в Польской Народной Республике

МПК G 011

УДK 531.788.7 (088.8) Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Мииистрое

СССР

Опчбликовано 12Х,1970. Бюллетень ЛЪ 17

Дата опубликования описания 31Л III.1970

Лвтор изобр-тения

Иностранец

Януш Грошковски Польская Наро 1ная Республика) Иностранная фирма

«Политехника Варшавска» (Польская Народная Республика) т, -,— — -, - -. -тс св Я

-с .с с . л Е г и,3 ЕКА

Заявитель

ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СВЕРХВЬ1СОКОГО ВАКУУМА

Изобретение относится к области измерения оверхвысокого вакуума ионизационными манометрическими датчиками типа БайярдаЛльперта, работающими ниже рентгеновского предела (10 тор). Конструкция ионизационного манометрического датчика Байярда-Альперта непрерывно совершенствуется с целью расширения нижнего предела измерений и повышения чувствительности. Нижний предел измерений определяется величиной фоновых коллекторных токов, обусловленных фотоэлектронной эмиссией с коллектора.

Нежелательный фототок может быть обусловлен излучением от следующих источников: от прямого наружного освещения аппаратуры; от накаленного катода; от рентгеновски. лучей, испускаемых сеткой под воздействием электронной бомбардировки.

Известные конструкции ионизационных манометрических датчиков содержат катод, анодную цилиндрическую сетку с торцовой крышкой и удаленный коллектор, окруженный экраном. Однако эти датчики имеют малую чувствительность, сложную систему электродов, затрудняющих их полную дегазацию, сложные измерения и т.,п.

С целью снижения фотоэлектронного тока и повышения чувствительности в предлагаемом датчике анодная цилиндрическая сетка снабжена дополнительной торцовой крышкой, выполненной в.гиде сетки или металлической пластины, с отверстием для выхода ионов; дополнительная торцовая крышка снабжена экраном с внешним диаметром, равным внутреннему диаметру колбы, что обеспечивает экранирование коллектора от видимого излучения катода.

С целью зашиты коллектора от излучения, возникающего от торцовой «рышкп, и возмож)p ности использования модуляционного способа измерения вакуума между отверстием ионизацпонной камеры и коллектором установлен дополнительный экран. С целью обезгажпвания экрана, окружающего коллектор, последний

15 выполнен в виде термокатода.

На фиг. 1 изображен предлагаемый продольньш разрез датчика; на фпг. 2 — схема установки экрана к IîðöoBoé крышке; на

<рпг. 3 — схема установки дополнительного эк20 рана.

Предлагаемьш датчик состоит из анодной цилиндрической сетки (анода) 1 с торцовой крышкой 2 и дополнительной торцовой крышкой 3, выполненной в ьиде сетки (фиг, 1 и. 2) пли металлической пластины (фиг. 3) с которые образуют закрытую ионизационную камеру с отверстием 4 для выхода ионов; катода 5. удаленного коллектора 6, окруженного экраном 7, выполненным из металла (см. фиг. 1 чо и 8), сетки (см. фиг. 2) или стекла; кОлбы 8.

271430

На фиг. 2 показана схема установки экрана 9 к торцовой крышке 8.

На фиг. 3 показана схема установки дополнительного экрана 10 между отверстием 4 ионизационной камеры и коллектором, выполненным в виде термокатода 11.

Датчик работаст следующим образом. Под воздействием электронов, испускаемых катодом 5, в ионизационной камере происходит ионизация газа. Положительные ионы, созданные в камере, концентрация которых пропорциональна давлению газа, выходят через отверстие 4 в сторону удаленного коллектора 6, потенциал которо о ниже потенциала анода 1.

Коллекторный ток (ток положительных ионов) служит мерой вакуума.

3а счет применения дополнительных экранов, уменьшения габаритов коллектора 6 и расположения его снаружи ионизационной камеры, против отверстия 4, действие рентгеновских лучей анода 1 на коллектор 6 значительно уменьшается.

B тех случаях, когда торцовая крышка 3 выполнена из металла (см. фиг. 3) или, если применяется дополнительный экран 9 с внешним диаметром, равным внутреннему диаметру колбы 8 (см. фиг, 2), то коллектор б экранируется от видимого излучения катода 5.

Для обезгаживания экрана 7 путем электронной бомбардировки коллектор 6 выполняется в виде термокатода 11 (см. фиг. 3). Для дальнейшего уменьшения действия рентгеновских лучей на термокатод-коллектор 11, возникающего от торцовой крышки 8, может быть применен дополнительный экран 10 (см. фиг. 3).

Экраны 9 и 10 могут быть использованы в качестве модуляторов и ри модуляционном способе измерения вакуума.

Предмет и зоб р етеппя

1. Ионизационный манометрический датчик для измерения сверхвысокого вакуума, содержащий катод, анодную цилиндрическую сетку с торцовой крышкой и удаленный коллектор, окруженный экраном, отлача ощийся тем, что, с целью снижения фотоэлектронного тока и повышения чувствительности, анодная цп15 линдрическая сетка снабжена дополнительной торцовой крышкой, выполненной в виде сетки или металлической пластины, отверстием для выхода ионов.

2. Датчик по п. 1, отличаюи„ийс.ч тем, что, с

20 целью экрапирования коллектора от видимого излучения катода, дополнительная торцовая крышка снабжена экраном с внешним диаметром, равным внутреннему диаметру колбы.

3. Датчик по nn. i и 2, отличавшийся тем, 25 что, с целью защиты коллектора от излучения, возникающего от торцовой крышки и возможности использования модуляционного способа измерения вакуума, между отверстием ионизационной камеры и коллектором установлен до30 полнительный экран.

4. Датчик по пп. 1, 2 и 3, от.гичаю цийся тем, что, с целью обезгаживания экрана, окружающего коллектор, последний выполнен в виде тер мокатода.

271430 г

° ° ° ° т

° ° °

° ° O g Рог 2 г

° ° ° ° le ° °

Редактор М. В. Афанасьева Техред 3. Н. Тараненко Корректор С. А. Кузовенкова

Заказ 2323il5 Тираж 480 Подписное

111!И1111И Конптеза по дслагн изобретений и открытий при Совете Мшшстров ССс.Р

Москва, %-35, Раугнская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова. 2