Е--то- т,-, ^ж^ш-ц:^ ^^ ^bj^-vgtzua
Патент 271669
Классы МПК
Е--то- т,-, ^ж^ш-ц:^ ^^ ^bj^-vgtzua
Иллюстрации
Реферат
271669
ОПИ САНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл, 21g, 37/20
Заявлено 15.VI I I.1968 (№ 1264564/18-10) с присоединением заявки №
МПК H 011 3/14
УДК 778.317(088.8) Приоритет
Опубликовано 26. т .1970. Бюллетень ¹ 18
Дата опубликования описания 11 XI.1970
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Г. B. Дер-Шварц, Ю, В. Куликов и В. И. Берсенев: «т
i -,,;-: -г«:..—, ! >
Лвторы изобретения
Заявитель
КОРПУСКУЛЯ РНО-ОПТИЧЕСКИ Й ПРОЕКТОР
ДЛЯ ОТОБРАЖЕНИЯ БОЛЬШИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
ПЕРФОРИРОВАННЫХ ШАБЛОНОВ
Данное изобретение относится к электронно-оптическим приборам, используемым для формирования изображений с помощью управляемых пучков заряженных частиц.
Известные приборы, например, типа электронно- или иопнооптических проекторов для отображения поьерхностей перфорированных шаблонов не позволяют воспроиззодить изображение в измененном масштабе с высоким разрешением по всему полю изобра«кения.
В предложенном устройстве для повышения разрешающей способности его по всему полю изображения перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадает с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленный в главной плоскости линзовой системы на общей осп симметрии шаблона и линзы.
На фиг. 1, 2 представлена принципиальная схема устройства.
Оно содержит источник заряженных частиц определенной массы и энергии (на черт. не показан), систему 1, формирующую сходящиеся гучки, перфорированный шаблон 2, стигматор 8, магнитную или электрическую линзу
4 (систему линз), диафрагму 5 и субстрат б.
Из источника, создающего поток заряженных частиц определенной массы и энергии, частицы попадают в систему 1 формирования, которая придает потоку коническую форму. В той части, в которой этст сходящийся конический поток част«щ имеет большое свечение, установлен перфорированный шаблон 2, выполненный в виде сферического слоя. Главные лучи всех пучков, исходящих из выходной поверхности шаблона, сходятся в одну точку, которая совпадает с главной плоскостью уменьшающей линзы 4 (или системы линз) и рас10 положена на общей оси симметрии шаблона и линзы. В этой же плоскости расположена апертурная диафрагма 5, цен-р отверстия которой находится также на общей оси симметрии шаблона и ли системы. Лпертур15 ная диафрагма ограничивает одновременно всс пучки, исходящие от шаблона и позволяет этим сформировать четкое уменьшенное изоб,ражение перфораций шаблона 2. Стигматор 8 устраняет астигматпзм изображающей систе20 мы. То, что апертурная диафрагма установлена в центре сферической поверхности шаблона и в главной плоскости линзовой уменьшающей системы, дает возможность получить хорошее разрешение по всему полю изображе25 ния шаблона. а облучение потоком заряженных частиц одновременно всей поверхности шаблона — возможность обеспечить ток большой плотности. Для создания потока заряженных частиц определенной массы можно использовать термокатод или ионный источник, 271669
Предмет изо бр етен ия
9"ъг 2 фие 1
Составитель М, И. Илленко
Техред 3. Н. Тараненко
Редактор Т. В. Данилова
Корректоры: В. Петрова и А. Николаева
Заказ 3034i12 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-З5, Раушская пao., д. 4 5
Типографии, пр. Сапунова, 2 составной частью которого является магнитный сепаратор.
Система формирования сходящегося потока заряженных частиц может быть реализована, например, в виде конденсорной линзы (фиг. 2). В качестве источника электронов можно использовать протяженный термокатод сферической формы, концентричный и соосный шаблону 2. В этом случае катод и шаблон, между которыми приложено ускоряющес напряжение, образуют систему формирования сходящегося пучка.
Предлагаемое устройство может быть использовано для нанесения информации на субстрат, введения примесей в полупроводники, для получения химических соединений на поверхности субстрата и т. д.
Корпускулярно-оптический проектор для отооражения больших поверхностей перфорированных шаблонов, содержащий источник заряженных частиц определенной массы и энергии, систему для формирования сходящегося пучка заряженных частиц, перфорированный шаблон, линзовую систему, стигматор и субстрат, на котором воспроизводится отображаемая поверхность шаблона, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности устройства по всему полю изображения, перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадаег с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленной в главной плоскости линзовой системы на общей оси симметрии шаблона и линзы.