Патент ссср 271992

Патент ссср 271992

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 271992

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 11.Х1!.1967 (№ 1202302/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26 1/.1970. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 27Х111.1970

Кл. 48Ь, 13/08

МПК С 23с 13/08

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет со делам изобретений и открытий ври Совете Министров

СССР

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее распылитель и ионный источник.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что ионный источник расположен вне распылителя и выполнен в виде цилиндра, внутри которого закреплен катод в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра, служащего одновременно анодом.

Это позволяет получить равномерные покрытия.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство имеет распылитель 1 и ионный источник, расположенный вне распылителя и выполненный в виде цилиндра 2, внутри которого закреплен катод 8 в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра 2, служащего одновременно анодом.

В рабочую камеру 4 устанавливают барабаны 5 с подложками б, а в распылитель 1— распыляемый материал 7. После этого в рабочей камере 4 производится откачка всего объема до предельного вакуума с последующим напуском инертного газа в ионные источники до рабочего давления в пределах 1 10 в—

1 ° 10 4 мм рт. ст. При подаче соответствующих напряжений между анодами 2 и катодами 8 возникает дуговой разряд. При подаче на распыляемый электрод 8 напряжения ионы газа ускоряются в электрическом поле между анодом и распыляемым электродом 8 и бомбардируют распыляемый материал 7, в результате чего происходит распыление этого материала.

Атомы распыляемого материала через отверстие а прп открытом затворе 9 попадают на

10 подложки б. После напыления всех подложек, с распыляемого электрода 8 снимают высокое напряжение, выключают питание анода и катода, прекращают подачу газа, перекрывают затвор 9, производят напуск атмосферы в ра15 бочую камеру и смену барабанов.

20 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее распылитель и ионный источник, ст.гичающееся тем, что, с целью получения равномерных покрытий, ионный источник расположен вне распылителя и выполнен

25 в виде цилиндра, внутри которого закреплен катод в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра, служащего одновременно ано дом.

271992

Составитель А, Кутибашвили

Рсдактор Т. Фадеева Текред A. А. Камышникова Корректор С. А. Кузовенкова

Заказ 2326,11 Тираж 480 Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2