Интерферометр для контроля качества полированных торических поверхностей
Патент 272604
Классы МПК
Интерферометр для контроля качества полированных торических поверхностей
Иллюстрации
Реферат
È4" Е® оэем
О П И ."А"Я"И Е
272604
Союз Соевтскиз
Ссциалистическкз
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 29.1!.1968 (№ 1221982/26-25) Кл. 42h, 34/11 с присоединением заявки М
МПК G 02b 5/18
УДК 535.411(088.8) Приоритет
Опубликовано 03,V1.1970. Бюллетень No 19
Дата опубликования описания 2.IX.1970 комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Д. Т. Пуряев
Заявитель Московское высшее техническое училище имени H. Э. Баумана
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА
ПОЛИРОВАННЬ1Х ТОРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
Полированные торические поверхности применяются в. оптико-механических приборах и особенно широко в машиностроении при изготовлении колец шарикоподшипников. Известные интерферометры позволяют контролировать лишь очень небольшие участки торической поверхности.
Предлагаемый интерферометр обеспечивает контролирование с высокой точностью всей торической поверхности одновременно..
Для этого в рабочей ветви интерферометра установлены объектив с переменным фокусным расстоянием и коническая линза в сходящемся пучке лучей после объектива.
Для контроля тор ических поверхностей, ориентированных различно относительно кольцевого изображения, в плоскости кольцевого изображения установлена коллективная линза или сферическое зеркало.
На фиг. 1 — 6 представлены варианты оптической схемы предложенного интерферометра.
Лучи от монохроматического источника света 1 проходят через точечную диафрагму 2, установленную в фокусе коллиматорного объектива 8, который преобразует лучевой поток в параллельный пучок.
Полупрозрачное зеркало 4 разделяет пучок на две части. Одна часть пучка попадает в эталонную ветвь пнтерферометра на плоское зеркало 5, установленное перпендикулярно падающим лучам. Отразившись от зеркала 5, лучи пойдут в направлеьпш об.ьектива 6.
Вторая часть параллельного пучка лучей поступает в рабочую ветвь интерферометра, в з которой установлены плоско-коническая линза
7, объектив 8 и контролируемая торическая поверхность 9. В фокальной плоскости объектива 8 образуется кольцевое изображение АА, плоскость которого перпендикулярна оптичес10 кой оси объектива 8. Торическая поверхносгь
9 устанавливается так, чтобы геометрическое место центров кривизны сечений, проходящих через ось кольца шарикоподшипнпка (мерндиональные сечения), совпало с кольцевым
15 изображением АА. Тогда все лучи, падающие на торическую поверхность, будут направлены нормально к ней и после отражения от торической поверхности пойдут B обратном направлении. По интерференционной картине с
20 помощью объектива 8 определяют качество поверхности с точностью 0,05 — 0,15 .як.
Для контроля торических поверхностей колец упорных шарикоподшипннков в плоскости кольцевого изображения установлена коллек25 тивная линза 10 (фиг. 2), . не изменяющая диаметра кольцевого изображения, но огклоняющая пучки лучей в нужном направлении.
В качестве коллективной линзы можно применять сферическое выпуклое плп вогнутое
30 зеркало (фиг. 3 и 4) соотвтственно для конт272604
7 i
Фиг. 1
9 uz. 6
Составитель И. Н. Крупенникова
Редактор 1 . 3. Орловская Техред А, А. Камышиикова
Корректор С, М. Сигал
Заказ 2389/12 Тираж 480 Подписное
ЦПИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР
Москва, 01(-зо, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр, Сапунова, 2 роля торических поверхностей внешних и внутренних желобов колец шарикоподшипников. Аналогично котролируются и выпуклые торические поверхности (фиг. 5).
Для изменения диаметра кольцевого изображения в небольших пределах с целью юстировки рабочей ветви интерферометра плоскоконическая лииза 7 может устанавливаться в сходящемся пучке лучей после объектива 8 (фиг. 6) и перемещаться вдоль оси.
Диаметр кольцевого изображения АА зависит от фокусного расстояния объсктива 8 и плоского угла при вершине конической линзы.
Поэтому предлагаемый интерферометр позволяет контролировать торические поверхности, параметры которых меняются в весьма широких пределах, путем замены объектива 8 или изменением его фокусного расстояния, при этом используется одна и та же коническая линза.
Таким образом, предложенный интерферометр, помимо высокой точности измерений, имеет широкий диапазон измерений.
5 Предмет изобретения
1. Интерферометр для контроля качества полированных торическпх поверхностей, выполненный по схеме пнтерферометра Майкельсопа, отлича ощийся тем, что, с целью одновременного контроля всей торпческой поверхности, в рабочей ветви интерферометра установлены объектив с переменным фокусным расстоянием и коническая линза в сходящемся пучке лучей после объектива.
2. Интерферометр по п. 1, отлича ощийся тем, что, с целью контроля торических поверхностей, ориентированных различно относительно кольцевого изображения, в плоскости кольцевого изображения установлена коллектив20 ная линза или сферическое зеркало.