Устройство для катодного распыления

Устройство для катодного распыления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со!оз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48b, 13,/08

Заявлено 30.XI1.1968 (№ 1293434/22-1) с:присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.Ч1.1970. Бюллетень ¹ 20

Дата опубликования описания 7.IX.1970

МПК С 23с 13/08

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР ДК 621 793 06(088 8) ". ВЧ ОР Ы изобретения

С. В, Шалимов и Б. А. Александров

За явитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Известно устройство для катодного распыления, содержащее камеру с размещенныии внутри нее катодами, анодами и подложкодержателями.

В предлагаемом устройстве катоды вьЕполнены в виде гребенки, заполняющей обьем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели.

Такое выполнение повышает качество покрытия и при этом оптимально используется рабочее пространство камеры.

На чертеже представлено предлагаемое устройство.

Оно состоит из камеры 1 с размещенными внутри нее катодами 2 и подложкодержателями 3. Анодом служит камера. Катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели.

Герметичная камера откачивается до давления не более 5.10 мм рт. ст. При помощи натекателя 4 в камеру вводится рабочий газ и давление повышается до 1.10 з — 2-10 е м:и рт. ст. К катодам из распыляемык материалов прикладывают потенциал 1 — 6 кв:в зависимости от заданнык электрофизическик характеристик получаемых пленок. На подлож5 кодер!!<ателн подают постоянное нли переменное напряжение. Положительные ионы газа ускоряются потенциалом, приложенным к катодам, и бомбардируют и.,. Проис.;одит распыление материала катода, и распыленные

10 атомы материала диффундируют через газ разрядном промежутке и конденсируются на подложка к.

Предмет изобретения

Устройство для катодного распыления, содержащее камеру с размещенными внутри нее ! .атодами, анодами и подложкодержателями, orëè÷àþöååñÿ тем, что, с целью улучшения

20 качества покрытия и оптимального использования рабочего пространства, катоды выполнены в виде гребенки, заполняюецей объем камеры, между зубьями которой, имеюнею!.! форму дисков, расположены дисковые под25 ложкодср>кателп.

273616

Составитель А. Кутибашвили

Редактор Т. И. Зубкова Тсхрсд Т. П. Курилко Корректор В. Г. Трутнев

Заказ 2498)6 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по дтам нзобое.еш и и открытий при Совете Министров СССР

Москва. 5К-З5, Раушская наб., д. 4j5

Типография, пр. Сапунова, 2