Печь для выращивания кристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ПЕЧЬ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНМ КРИСТАЛЛОВ, содержащая корпус, в котором помещены боковой и донный нагревате-чающаяся тем, что, с целью повышения интенсивности работы печи.и повышения качества получаемого в печи продукта, донный нагреватель выполнен в форме подвижной металлической пластины, на которой помещены керамическая плитка с нагревательной спиралью, футеровка .и клеммная коробка.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (l9) (! !) 1 А (5!! 4 В 01 J 2/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.f0

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ HOMMTET СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 1120838 (23-26 (22) 19. 12. 66 (46) 30.07.86. Бюл. - 28 (72) Ф.Е.Гуляев, Ю.В.Замятин, Я.А.Захарин и В.С.Кравченко (53) 66.023. 542.231.5(088.8) (54)(57) ПЕЧЬ ДЛЯ ВЫРА!!ЯВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ, содержащая корпус, в котором помещены боковой и донный нагреватели,отличающаяся тем, что, с целью повышения интенсивности работы печи.и повышения качества получаемого в печи продукта, донный нагреватель выполнен в форме подвижной металлической пластины, на которой помещены керамическая плитка с нагревательной спиралью, футеровка .и клеммная коробка.

zzz.

J редактор Q ° 1Оркова Техред И.Попович . Корректор М Демчи

Заказ 4146/3 Тираж 527 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие,г.ужгород,ул.Нроектная, 4

1 27378

Изобретение относится к области химического машиностроения, в част" ности к печам для выращивания монокристаллов °

Известная печь для выращивания кристаллов содержит корпус, в кото-. ром помещены боковой и донный нагреватели. Недостатком известной печи является относительно небольшая интенсивность ее работы и невысокое 10 качество получаемого продукта.

Цель изобретения заключается в том, чтобы повысить интенсивность работы печи и повысить качество получаемого продукта. Для этого донный 15 нагреватель выполнен в форме подвижной металлической пластины, на, которой помещены керамическая плитка с нагревательной спиралью, футеровка и клеммная коробка. 20

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 " донный нагреватель.

Шахтная электрическая печь состоит из корпуса 1, бокового нагрева- 25 теля 2, донного нагревателя 3, смонтированного на металлической пластине 4, легко вводимой в печь через окно 5 в нижней части корпуса печи, регулирующих термопар бокового 6 и 30 донного 7 нагревателей, обеспечивающих надежное в заданных пределах регулирование и стабилизацию темпе

1 .2 ратуры в рабочем объеме печи, теплоизоляции 8, верхней крышки 9 с отверстиями для наблюдения за процессом роста и цельной крышки 10 для печи отжига.

Донный нагреватель выполнен в виде отдельного узла, представляющего собой металлическую пластину 4, на которой смонтированы керамическая плитка 11 с нагревательной спиралью

12, футеровка 13 и к, еммная коробка 14. На донном нагревателе имеется прорезь для подвода термопары 15.

При выходе из .строя донного нагревателя временно на боковом нагревателе повышают напряжение электропитания так, чтобы скомпенсировать теплопотери, подключают запасной (аналогичный) донный нагреватель и через окно в нижней части корпуса печи производят. в течение 3-5 мин замену донных нагревателей. При этом запасной донный нагреватель вводят до упора в печь и закрепляют винтами к корпусу печи.

После замены донного нагревателя вновь устанавливают на нагревательных спиралях необходимое напряжение, восстанавливают тепловой режим печи и продолжают технологический процесс выращивания монокристалла или отжига кристаллов.