Способ автоматического регулирования процесса бвстигельной зонной плавки

Способ автоматического регулирования процесса бвстигельной зонной плавки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2760!6

Союз Советских

Социалистических

Республик (с ь +1(äô„ ф ф

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 24.V.1968 (№ 1244410/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 14.Ч11.1970. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 6.Х.1970

Кл, 12g, 17/08

Комитет по делам

МПК В Olj 17/08

УДК 669.046:621.365. .58(088.8) изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

H. В. Дегтярик, А. М. Киселев, И. И. Лежебоков, С. С. Наройчик, А. А. Николаев, М. О. Осовский, П. Я. Селиванов и В. К, Шкляревский

Заявитель

СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА

БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к процессу получения полупроводниковых материалов »а установках вертикальной бестигельной зонной плавки.

Известен способ автоматического регулирования диаметра слитков при бестигельной зонной плавке при помогци сигнала, получаемого в результате измерения воздействия проекции зоны на фотоприемник контроля диаметра слитка.

Целью изобретения является повышение точности регулирования процесса бестигельной зонной плавки. Это достигается тем, что на фотоприемник контроля диаметра слитка посредством следящей системы за фронтом кристаллизации проектируется профиль зоны, расположенный непосредственно у. фронта кристаллизации.

Предлагаемый способ основан на использовании свечения разогретого слитка, часть которого, около фронта кристаллизации, проектируется оптической системой на фотоприемник. Сущность способа состоит в том, что профиль расплавленной зоны на определенном узком участке около фронта кристаллизации поддерживается системой автоматического регулирования постоянным путем воздействия на механизм сжатия — растяжения зоны или на изменение мощности в зоне по сигналу, получаемому в результате измерения действия проекции зоны на фотоприемннк контроля диаметра слитков.

Иа чертеже псказана структурная схема для реализации способа автоматического регулирования процесса бестигельной зонной плавки.

На чертеже даны следующие обозначения: рàcïëавлсHHàÿ зона 1, часть слитка 2, фронт кристаллизации 3, смотровое окно 4, линзы 5 и 6, зеркала 7 — 9, кинематическая система 10, экран 11, фотоприемники 12 — 16, измерительный прибор 17, регулятор 18, двигатель 19, задатчик 20, усилитель 21, реверсивный двигатель 22 и индуктор 23.

Расплавленная зона 1 создается на неболь5 частке слитка 2 токами высокой частоты. протекающими по индуктору 23. Сжатие — растяжение зоны осуществляется двигателем 19 через кпнематическую систему 10.

Посредством оптической системы, состоящей из линз 5 — 6 и зеркал 7 — 9, через смотрово, стекло 4 на экран 11 проектируется псревер25 нутое двойпос изображение части слитка 2 около фронта кристаллизации 3. 11а фотоприемник 14 контроля диаметра слитка проектируются оба края профиля зоны 1. Изменение профиля зоны регистрируется измерительЗО ным прибором 17 с задатчиком 20.

Составитель H. Абросимов

Редактор Н. Л. Корченко Текр д Л. Я, Левина Корректор Е. В. Фомина

Заказ 2798/2 Тираж 480 Подписное

II,ã1ÈÈÏÈ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, >К-85, Раушская наб., д. 4, 5

Тппогра<1>пн, пр. Сапунова, 2

Выходной сигнал прибора 17 1оступаст па вход регулятора 18, который управляет двигателем 19 сжатия — растяжсн1гя зоны. 1I;I

<ротоприемнпк 18 н 16 проектируется фронт кристаллизации 8. При изменсшш поло>кения фронта кристаллизации изменяется освещенIIocTb этик фотопрпе м пиков. Сигнал с фотоприемников подается на вход усилителя 21 с реверсивным двигателем 22 па входе. Реверспвный двигатель изменяет угол наклона зеркал 8 и 9 в вертикальной плоскости до компенсации рассогласования, т. е. возвращаег проекц1цо фронта кристаллизации в первоначальное положение.

Таким образом, система слежения позьоляет поддерживать проекци10 фронта кристаллизации па фотопрпсмш1ках в неизменном положении.

Фотоприемники 12 и 15 предназначены для уменьшения влпя1шя загрязнения смотрового стекла в схемах контроля диаметра слитка и системы сле>кения.

Предмет изобретения

Способ автоматического регулирования процесса бестигельной зониой плавки путем поддержания диаметра слитка постоянным прн

10 помощи сигнала, получаемого в результате измерения воздействия проекции зоны на фотоприемник контроля диаметра слитка, oTRILиа1оиийся тем, что, с целью повышения точности регулирования, на фотоприемник коп15 троля диаметра слитка посредством следящей системы за фронтом кристаллизации проектируется профиль зоны, расположенный непосредственно у фронта кристаллизации.